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1、扫描电镜衬度的形成:主要利用样品表面微区特征,如形貌、原子序数、化学成分、晶体结构或位向等的差异，在电子束作用下产生不同强度的物理信号，使阴极射线管荧光屏上不同的区域呈现出不同的亮度，获得具有一定衬度的图象。第六节第六节 扫描电镜衬度像扫描电镜衬度像1.二次电子像形貌衬度的形成：二次电子产额强烈依赖于入射束与试样表面法线间的夹角。如果试样表面是凸凹不平的话，法线与入射束夹角大的面发射的二次电子多；反之则少。(a)=050r1(b)=4550r250r3(c)=65r3r2r1入射电子在试样表层下50深度内所经路程随面法线间夹角的变化 B二次电子产额图象衬度AC形貌衬度形成原理形貌衬度的影响因素
2、电子检测器电子检测器检测器B强度ADABCDIAIBICID2.背散射电子像成分衬度 背散射电子像的形成：样品表面上平均原子序数Z大的部位产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；而平均原子序数较低的部位则产生较少的背散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，这样就形成原子序数衬度（成分衬度）。形貌衬度产额倾斜角背散射电子和二次电子的运动路线背散射电子和二次电子成像对比二次电子像背散射电子像背散射像的获得背散射电子探测器和信号处理a)成分有差别，(b)形貌有差别，(c)成分形貌都有差别 形貌无差别 成分无差别由A和B来的信号分离后的信号铝合金抛光表面的背反射电子像 采用A+B方式获得的成分
3、像采用A-B获得的形貌像3.扫描电镜衬度像的应用扫描电镜衬度像的应用 观察断口形貌 抛光腐蚀后的金相表面的表面分析 烧结样品的表面分析 断裂过程的动态原位观察 纳米材料形貌观察 显微组织分析铝合金韧窝断口形貌断口形貌分析断口形貌分析解理台阶 断口形貌分析碳纤维增强复合材料断口的二次电子像金相表面观察金相样品的二次电子像珠光体组织析出碳化物断裂扩展过程原位观察断裂过程原位观察Al3Ti/(Al-Ti)复合材料断裂过程原位观察纳米材料形貌观察螺旋形碳纳米管粉体形貌观察钛酸铋钠粉体的六面体形貌显微组织分析高镍高铬奥氏体钢的显微组织第七节第七节 扫描电镜晶体学分析扫描电镜晶体学分析1.通道花样形成原理 入射电子被晶体中原子点阵的散射几率并不是各向同性的。当B时，入射电子的前向散射几率大于背向散射几率，意味着这些入射方向是易于进入到晶体中去的通道，这种物理现象称为电子通道效应。111金刚石晶体所获得的电子通道花样 2.通道花样的获得只要采用适当的扫描方式，使入射束相对于晶体表面法线的扫描角连续改变就有可能得到通道花样。-采用角光栅扫描方式可获通道花样。3.通道花样的指标化W/MAC/ML22BWAC样品上图象上4.通道花样的应用获得晶面间距，晶体学位向等信息分析晶体样品的形变程度缺陷检测