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2、i-8 8 1?O?.11.1Silvaco TCAD.11.1.1?O? .11.1.2u?n?O? .11.2Silvaco TCAD.21.2.1?|? .31.2.28(? .61.2.3?a. .71.3DeckBuild-.71.3.1-?“ .81.3.2Go .81.3.3Set .91.3.4Tonyplot . 101.3.5Extract. 121.4S?. 181?. 212.1ATHENA V. 212.2?6. 252.2.1? . 252.2.2?.z. 272.2.3? . 292.2.4?A5 . 292.2.5(? . 292.2.6Tonyplotw. 2

3、92.3?. 302.3.1lf5 . 302.3.2*?. 332.3.3D. 352.3.4?. 37-iii-8 2.3.5?. 432.3.6?1. 442.3.71?. 451.MASK . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 462.ILLUMINATION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 473.PROJECTION . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 474.F

4、ILTER . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 485.LAYOUT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 496.IMAGE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 507.EXPOSE . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 528.BAKE . . . . . . . . .

5、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 539.DEVELOP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5410.?1?6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 552.48?. 572.5z . 602.5.1z? . 602.5.2?z. 622.5.3z8I . 622.5.4z(J . 621n?. 653.1ATLASV. 653.2?6. 683.3(?. 683.3.1-?)(?. 693.3.2De

6、vEdit?6?(? . 723.4?9?. 743.4.1?A5 . 743.4.2?A5 . 753.4.3.A5 . 793.4.4?n?. . 79-iv-8 3.5?O?. 803.6?A5. 823.6.1?6A5 . 823.6.2?6?&?A5 . 843.6.3?A5 . 853.6.4p?A5 . 853.7?(J?. 883.7.1? . 883.7.2F? . 913.7.3DeckBuild? . 923.7.4Tonyplotw. 921o?p?A5. 934.1n?. 934.1.1n? . 934.1.2n? . 934.1.3Tonyplot3D. 964.2

7、C)”? . 97NA?X?. 99A.1?a. 99A.2g? . 100NB?n.103B.1?N?.103B.2?16f?On?.105B.3.?n.108B.4?n?.108-v-8 -vi-? 8 ? 8 1-1Silvaco?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21-2Silvaco?6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31-3ATHENA? . . . . . . . . . . . . .

8、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41-4ATLAS?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51-5DeckBuild. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .71-6Tonyplotw(? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101-7Tonyplotw?. . . . .

9、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101-8Tonyplot Display(2D Mesh) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111-9Tonyplot Cutline . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111-10 Tonyplotw?(?9Cutline?U? . . . . . . . . . . . 122-159?(? . . . . . . . . . .

10、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 242-2?!?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 252-3?!? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 252-4D7?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 262-5initlize?JI? . . . .

11、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 272-6implant?JI?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 302-7?lf5?(TILT)?5(J . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 322-8diffuse?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 332-9gasflow?JI? . . .

12、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 332-10 deposit?JI?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 362-11 rate.deposit?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 362-12 etch?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 372-13

13、 rate.etch?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 392-14 ?J? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 422-15 polish?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 442-16 rate.polish?J . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

14、 . . . . . . 452-17 Maskviews?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 462-18 illumination?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 472-19 projection?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 48-vii-? 8 2-20 filter?JI? . . . . . . .

15、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 482-21 layout?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 492-22 image?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 512-23 expose?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 522-24 bak

16、e?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 532-25 develop?JI? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 542-26 ?1?6?(J . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 562-27 z?Y?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

17、 612-28 ?z? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 622-29 z?8I?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 622-30 z?(J . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 633-1ATLAS-|9?G? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

18、 . . . . . . 683-2eliminatep?CD?J . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 693-3ATLAS-)?(? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 723-4DevEdit)?(? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 723-5?U?(?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 783-6

19、log?csv?“?w? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 924-1DevEdit3D. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 944-2DevEdit3D?(?9?6?n?(?. . . . . . 954-3Tonyplotw?(? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 964-4Tonyplot3D?Cutplane9?A . . . . . .

20、. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 96A-1 g?GaMnAs. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101-viii-L ? 8 L ? 8 2-1Athena Features and Capabilities . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 212-2initialize?9?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 282

21、-3implant?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 312-4diffuse?9?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 342-5deposit?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 352-6etch?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 382-7RIE etch?w

22、et etch?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 382-8plasma etch?9?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 392-9Monte Carlo plasma etch?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . 402-10 epitaxy?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 432-11 polish?9?. . . . . . . . . .

23、. . . . . . . . . . . . . . . . . . 442-12 rate.polish?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 452-13 mask?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 462-14 illumination?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 472-15 pupil.filter?9? . . . . . . . . . . .

24、 . . . . . . . . . . . . . . . 492-16 layout?9?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 502-17 image?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 512-18 expose?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 522-19 bake?9?. . . . . . . . . . . . . . . . . .

25、. . . . . . . . . . . 532-20 develop?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 542-21 rate.develop?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 553-1?A5?9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 76A-1 ATLAS? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

26、. . . . . . . . . . . 99B-1 G? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106B-2 5U? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107B-3 B?C?.9? . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 107B-4 $|?. . . . . . . . . . . . . . .

27、 . . . . . . . . . . . . . . . . . . 108B-5 SRHE?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109B-6 ?E?. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109-ix-L ? 8 -x-1? ?O?1?O?0?TCAD?VgDeckBuild?|?9DeckBuild?-(extract,go,set?tonyplot)Silvaco?S?1.1Silvaco TCAD

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