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1、2-8 小尺寸测量 本节主要内容本节主要内容n一、光衍射法测量金属丝直径n二、激光能量法测量光纤直径 n三、磁头与磁盘间隙的测量方法n四、小球径的测量：原理、特点、精度。一、光衍射法测量金属丝直径一、光衍射法测量金属丝直径细丝直径d为：d=kl/Sk k 细丝直径的极限测量误差 dlimlim为：二、激光能量法测量光纤直径二、激光能量法测量光纤直径 n光纤本身就相当于曲率很大的柱面透镜。n为提高测量的灵敏度，将透过分光镜1后的全部能量充分地用于光纤的光束扩展，透镜2最好将激光束会聚成小于光纤直径的光点照到光纤上，因此它的焦距很短，只有5mm左右，可根据被测光纤的直径大小选取。n n这种方法的测
2、量精这种方法的测量精 度可度可达达 1%1%左右。左右。如图示2-61所示。三、磁头与磁盘间隙的测量方法三、磁头与磁盘间隙的测量方法n磁盘与磁头之间间隙的一般在2-6m之间，比较先进的计算机,头盘间隙已达小于1m的数量级。测量原理如图2-62所示。此法的测量精度较高，此法的测量精度较高，取决于波长的检定精取决于波长的检定精度和的读数瞄准精度。度和的读数瞄准精度。实践证明，其极限测实践证明，其极限测量误差量误差。n 采用两种波长（，）的光源，测出两组干涉条纹 的尾数差m，便可按下式计算出间隙值h。四、小球径的测量四、小球径的测量n特点：非接触测量，精度较高，原理误差为/2。n原理：如图2-63所
3、示。利用测量表面粗糙度的干涉显微镜，将被测球径与量块直接比较，可测高精度的球径d。nN、-两次测量中，零级干涉带在条纹垂直方向上以条纹的整数和小数表示的偏离量；n方法要点：（1）零级干涉带位置的确定；（2）确定上述公式的正负号。正负号。1.1.1.1.用干涉显微镜测球径用干涉显微镜测球径用干涉显微镜测球径用干涉显微镜测球径2 2小内球面半径的测量小内球面半径的测量原理：小内球面（如宝石轴承内半球面）的曲率半径可应用常用的6JA型干涉显微镜测量。在测微目镜中测出第两个（任选）干涉环的半径，则内半球和半径可由下式确定：式中：测量用光波波长。这种方法的相对测量误差不大于0.2-0.3%。测量时，应注意干涉条纹的稳定性（即干涉环始终位于光 轴上）。如有游动，应延长定温时间（至少半小时以上），或对测量数据作均值处理。