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1、PECVDPECVD生产操作规程生产操作规程1 安全警告安全警告设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、设备带有高压、易燃易爆特种有毒气体、微波辐射等危险微波辐射等危险严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域严禁无关人员和小孩进入机器黄色区域机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严机器运行时，严禁拔出微波铜天线，严禁拆设备任何部件。否则可能带来微波禁拆设备任何部件。否则可能带来微波辐射和高压电击等危险辐射和高压电击等危险未经培训和许可严禁操作设备，不正确未经培训和许可严禁操作设备，不正确操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计操作设备可能损坏设备，严禁乱操作计算机算机2 安全与标识安全与标识威胁人身伤亡或健康威胁人
2、身伤亡或健康微波辐射危险微波辐射危险 微波泄露限制：根据最新微波泄露限制：根据最新科学研究和世界许多国家科学研究和世界许多国家执行规定，距易接近设备执行规定，距易接近设备部件部件5cm处微波泄漏小于处微波泄漏小于5mw/cm2热的表面热的表面 触电危险触电危险戴防护眼镜戴防护眼镜戴防护手套戴防护手套3 开机开机开总电源开总电源启动计算机启动计算机检查冷却水检查冷却水检查气源检查气源启动启动“system”“system”程序程序3.1 3.1 开总电源开总电源检查三检查三 只红色急停只红色急停按钮是否复位，如末按钮是否复位，如末复位拉出复位复位拉出复位 向右转动主电源断向右转动主电源断路器手柄
3、复位，然路器手柄复位，然后向左转动手柄，后向左转动手柄，主电源合闸主电源合闸机器上指示灯、温机器上指示灯、温控仪表点亮控仪表点亮 可确认可确认总电源已开启总电源已开启3.2 3.2 启动计算机启动计算机轻压一下工控机主机上轻压一下工控机主机上“POWER”“POWER”按按钮，计算机启动钮，计算机启动WIN-NTWIN-NT3.3 3.3 检查冷却水检查冷却水冷却水压力应在冷却水压力应在4kg/cm2-6kg/cm24kg/cm2-6kg/cm2范围内范围内先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀先打开冷却水出水阀，然后打开进水阀 检查、调节水流量计，检查、调节水流量计，ww1-4 为为 10L/m
4、in,ww5-6为为 6L/min，ww7-12 为为 2.5L/min(设备人员调节设备人员调节)3.4 3.4 检查气源检查气源打开压缩空气阀，压缩空气为打开压缩空气阀，压缩空气为 5kg/cm2-7 kg/cm25kg/cm2-7 kg/cm2打开氮气阀，氮气压力小于打开氮气阀，氮气压力小于5kg/cm25kg/cm23.5 3.5 启动启动“system”“system”程序程序用鼠标左键双击用鼠标左键双击Win-nt Win-nt 桌面桌面“system”“system”图标图标启动后登入自己使用权启动后登入自己使用权限帐号限帐号4 4 选择工艺单、生产选择工艺单、生产开真空泵，预加
5、热开真空泵，预加热启动指定工艺启动指定工艺检查工艺运行情况检查工艺运行情况放置空石墨框进行传动状态测试放置空石墨框进行传动状态测试工艺调试，生产工艺调试，生产4.1 4.1 开真空泵，预加热开真空泵，预加热检查机器无故障显示后，检查机器无故障显示后，开真空泵开真空泵加热腔和反应腔预加热加热腔和反应腔预加热当反应腔真空压力小于当反应腔真空压力小于1.0e-2mbar,1.0e-2mbar,温度达到预温度达到预设定的值，方可启动工艺设定的值，方可启动工艺4.2 启动指定工艺启动指定工艺打开墙壁气箱中特气阀打开墙壁气箱中特气阀点击点击“control”控制按控制按钮，钮，“technology”框框
6、中选择规定的工艺单后，中选择规定的工艺单后，加载加载“load”,启动工艺启动工艺“start”，在，在“transp-ortation”框启框启动传动动传动4.3 检查工艺运行情况检查工艺运行情况过程状态画面框显示过程执行过程状态画面框显示过程执行“process running”压力控制压力控制微波开启微波开启特气开启特气开启以上条件满足方可启动工艺以上条件满足方可启动工艺4.4 传动状态测试传动状态测试在机器装载口平稳放置空石墨框进在机器装载口平稳放置空石墨框进行传动状态测试行传动状态测试4.5 进行工艺调试，生产进行工艺调试，生产放入装有需加工硅片的石墨放入装有需加工硅片的石墨 框进行
7、工艺框进行工艺调试，生产调试，生产在机器口放置、检查好石墨框后按压黑色在机器口放置、检查好石墨框后按压黑色准备好按钮，机准备好按钮，机 器传动才执行器传动才执行带上高温手套，及时从机器出口平稳拿出带上高温手套，及时从机器出口平稳拿出石墨框石墨框5 停机停机停止工艺运行停止工艺运行关墙壁气箱中特气阀关墙壁气箱中特气阀,特气管路吹扫特气管路吹扫关掉真空泵关掉真空泵,向机器腔体冲入净化向机器腔体冲入净化N2退出控制程序退出控制程序“system”,关主电源关主电源关上压缩空气、氮气、冷却水关上压缩空气、氮气、冷却水5.1 停止工艺运行停止工艺运行鼠标点击鼠标点击“control”按钮，按钮，弹出下拉
8、菜单弹出下拉菜单点击工艺点击工艺“stop”按钮按钮点击传动点击传动“stop”按钮按钮5.2 关墙壁气箱中特气阀，特关墙壁气箱中特气阀，特气管路吹扫气管路吹扫关上位于墙壁气箱中特气阀关上位于墙壁气箱中特气阀通知经过培训的设备人员进行特气通知经过培训的设备人员进行特气管路吹扫管路吹扫5.3 关掉真空泵，向腔体冲入N2进入进入“system”状态画面，点击状态画面，点击“pumps”控制按钮，弹出下拉菜单控制按钮，弹出下拉菜单等待真空泵净化等待真空泵净化N2气阀关闭气阀关闭点击三个真点击三个真 空泵空泵“pump off”控制按钮关控制按钮关掉真空泵掉真空泵点击反应腔点击反应腔“vent”控制按
9、钮控制按钮,向机器腔向机器腔体冲入净化体冲入净化N2，等待冲好指示灯点亮，等待冲好指示灯点亮5.4 退出控制程序，关主电源退出控制程序，关主电源进入进入“service”状态画状态画面，点击系统中面，点击系统中“switch off”控制按钮，计算机显控制按钮，计算机显示回到示回到win-nt 画面画面进行正常关计算机操作进行正常关计算机操作用手按压一下红色急停按用手按压一下红色急停按钮，关闭主电源，拉出红钮，关闭主电源，拉出红色急停按钮复位色急停按钮复位5.5 关上压缩空气、氮气、冷关上压缩空气、氮气、冷却水却水关上压缩空气、氮气阀关上压缩空气、氮气阀等十五分钟后可关闭冷却水，先关等十五分钟后可关闭冷却水，先关进水阀，然后关回水阀进水阀，然后关回水阀Figure 10:Process chamberFigure 12:Gas system PECVD生产操作规程 完完