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1、泓域咨询/安顺刻蚀设备项目可行性研究报告目录第一章 项目总论7一、 项目名称及投资人7二、 编制原则7三、 编制依据8四、 编制范围及内容8五、 项目建设背景8六、 结论分析10主要经济指标一览表12第二章 项目承办单位基本情况14一、 公司基本信息14二、 公司简介14三、 公司竞争优势15四、 公司主要财务数据17公司合并资产负债表主要数据17公司合并利润表主要数据17五、 核心人员介绍18六、 经营宗旨19七、 公司发展规划19第三章 项目建设背景、必要性22一、 离子束刻蚀22二、 反应离子刻蚀22三、 加大招商引资力度23四、 全力培育企业主体23第四章 市场分析25一、 干法刻蚀是
2、芯片制造的主流技术25二、 高密度等离子体刻蚀26第五章 建筑技术分析28一、 项目工程设计总体要求28二、 建设方案28三、 建筑工程建设指标29建筑工程投资一览表29第六章 产品规划方案31一、 建设规模及主要建设内容31二、 产品规划方案及生产纲领31产品规划方案一览表31第七章 项目选址方案33一、 项目选址原则33二、 建设区基本情况33三、 加强创新体系建设34四、 全力构建集聚平台35五、 项目选址综合评价35第八章 运营模式分析36一、 公司经营宗旨36二、 公司的目标、主要职责36三、 各部门职责及权限37四、 财务会计制度40第九章 SWOT分析说明46一、 优势分析（S）
3、46二、 劣势分析（W）48三、 机会分析（O）48四、 威胁分析（T）50第十章 环境影响分析58一、 编制依据58二、 建设期大气环境影响分析58三、 建设期水环境影响分析60四、 建设期固体废弃物环境影响分析60五、 建设期声环境影响分析61六、 环境管理分析62七、 结论64八、 建议64第十一章 进度规划方案66一、 项目进度安排66项目实施进度计划一览表66二、 项目实施保障措施67第十二章 工艺技术方案68一、 企业技术研发分析68二、 项目技术工艺分析70三、 质量管理71四、 设备选型方案72主要设备购置一览表73第十三章 原辅材料供应及成品管理74一、 项目建设期原辅材料供
4、应情况74二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理74第十四章 投资计划方案76一、 投资估算的编制说明76二、 建设投资估算76建设投资估算表78三、 建设期利息78建设期利息估算表78四、 流动资金79流动资金估算表80五、 项目总投资81总投资及构成一览表81六、 资金筹措与投资计划82项目投资计划与资金筹措一览表82第十五章 经济收益分析84一、 经济评价财务测算84营业收入、税金及附加和增值税估算表84综合总成本费用估算表85固定资产折旧费估算表86无形资产和其他资产摊销估算表87利润及利润分配表88二、 项目盈利能力分析89项目投资现金流量表91三、 偿债能力分析92借款还本付息计划
5、表93第十六章 招标、投标95一、 项目招标依据95二、 项目招标范围95三、 招标要求96四、 招标组织方式96五、 招标信息发布98第十七章 项目综合评价说明99第十八章 附表100主要经济指标一览表100建设投资估算表101建设期利息估算表102固定资产投资估算表103流动资金估算表103总投资及构成一览表104项目投资计划与资金筹措一览表105营业收入、税金及附加和增值税估算表106综合总成本费用估算表107固定资产折旧费估算表108无形资产和其他资产摊销估算表108利润及利润分配表109项目投资现金流量表110借款还本付息计划表111建筑工程投资一览表112项目实施进度计划一览表11
6、3主要设备购置一览表114能耗分析一览表114第一章 项目总论一、 项目名称及投资人（一）项目名称安顺刻蚀设备项目（二）项目投资人xx（集团）有限公司（三）建设地点本期项目选址位于xxx（以选址意见书为准）。二、 编制原则1、坚持科学发展观，采用科学规划，合理布局，一次设计，分期实施的建设原则。2、根据行业未来发展趋势，合理制定生产纲领和技术方案。3、坚持市场导向原则，根据行业的现有格局和未来发展方向，优化设备选型和工艺方案，使企业的建设与未来的市场需求相吻合。4、贯彻技术进步原则，产品及工艺设备选型达到目前国内领先水平。同时合理使用项目资金，将先进性与实用性有机结合，做到投入少、产出多，效益
7、最大化。5、严格遵守“三同时”设计原则，对项目可能产生的污染源进行综合治理，使其达到国家规定的排放标准。三、 编制依据1、承办单位关于编制本项目报告的委托；2、国家和地方有关政策、法规、规划；3、现行有关技术规范、标准和规定；4、相关产业发展规划、政策；5、项目承办单位提供的基础资料。四、 编制范围及内容1、确定生产规模、产品方案；2、调研产品市场；3、确定工程技术方案；4、估算项目总投资，提出资金筹措方式及来源；5、测算项目投资效益，分析项目的抗风险能力。五、 项目建设背景随着当前先进芯片关键尺寸的不断减小以及FinFET与3DD等三维结构的出现，不同尺寸的结构在刻蚀中的速率差异将影响刻蚀速
8、率，对于高深宽比的图形窗口来说，化学刻蚀剂难以进入，反应生成物难以排出。另外，薄膜堆栈一般由多层材料组成，不同材料的刻蚀速率不同，很多刻蚀工艺都要求具有极高的选择比。第三个问题在于当达到期望深度之后，等离子体中的高能离子可能会导致硅片表面粗糙或底层材料损伤。当今世界正经历百年未有之大变局，新一轮科技革命和产业变革深入发展，国际力量对比深刻调整，和平与发展仍然是时代主题，同时国际环境日趋复杂，不稳定性不确定性明显增加。我国发展仍然处于重要战略机遇期，我省仍然处于加快发展“黄金期”，但机遇和挑战都有新的发展变化，经济长期向好，继续发展具有多方面的优势和条件。总的来看，大环境对我市发展总体有利，我们
9、有党的坚强领导和中国特色社会主义制度的显著优势，特别是中央构建新发展格局、推进新时代西部大开发、推动共同富裕，为我市后发赶超带来了重大机遇;中央大力推进“一带一路”建设、长江经济带建设、粤港澳大湾区建设、成渝地区双城经济圈建设等国家战略，为我市对外开放提供了有利条件;我省经济增速连续九年位居全国前三，近三年连续位居第一，人流、物流、资金流、信息流加速集聚，贵阳贵安安顺都市圈正在形成，为我市加快发展提供了广阔前景;近年来我市持之以恒抓发展，综合实力不断提升，人民生活日益改善，社会大局和谐稳定，为“十四五”时期发展奠定了坚实基础。同时，也要清醒地看到，我市发展不平衡不充分问题仍然突出，经济总量较小
10、，人均水平较低;产业支撑不够，创新能力不强，人才支撑不足，改革开放任务仍然艰巨;城乡区域发展不平衡，基础设施、民生保障还存在短板弱项;生态环境、安全生产、防灾减灾、社会治理等领域还存在风险隐患;形式主义、官僚主义还不同程度存在，抓落实的能力还需加强，志存高远、敢为人先、永不言难的精神力量还未充分凝聚。我们要深刻认识错综复杂的国际国内环境带来的新矛盾新挑战，强化问题导向、目标导向、结果导向，强化机遇意识、忧患意识、担当意识，充分调动各方面积极性、主动性、创造性，准确识变、科学应变、主动求变，善于在危机中育先机、于变局中开新局，奋力开创“十四五”时期发展新局面。六、 结论分析（一）项目选址本期项目
11、选址位于xxx（以选址意见书为准），占地面积约32.00亩。（二）建设规模与产品方案项目正常运营后，可形成年产xxx套刻蚀设备的生产能力。（三）项目实施进度本期项目建设期限规划24个月。（四）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资14113.03万元，其中：建设投资11119.73万元，占项目总投资的78.79%；建设期利息273.76万元，占项目总投资的1.94%；流动资金2719.54万元，占项目总投资的19.27%。（五）资金筹措项目总投资14113.03万元，根据资金筹措方案，xx（集团）有限公司计划自筹资金（资本金）8526.15万元。
12、根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额5586.88万元。（六）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：24300.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：20895.81万元。3、项目达产年净利润（NP）：2479.06万元。4、财务内部收益率（FIRR）：10.68%。5、全部投资回收期（Pt）：7.38年（含建设期24个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：11477.85万元（产值）。（七）社会效益项目产品应用领域广泛，市场发展空间大。本项目的建立投资合理，回收快，市场销售好，无环境污染，经济效益和社会效益良好，这也奠定了公司可持续发展的基础。本项目实施后，可满足国内市场需
13、求，增加国家及地方财政收入，带动产业升级发展，为社会提供更多的就业机会。另外，由于本项目环保治理手段完善，不会对周边环境产生不利影响。因此，本项目建设具有良好的社会效益。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积21333.00约32.00亩1.1总建筑面积35535.381.2基底面积13226.461.3投资强度万元/亩337.712总投资万元14113.032.1建设投资万元11119.732.1.1工程费用万元9579.092.1.2其他费用万元1316.862.1.3预备费万元223.782.2建设期利息万元273.762.3流动资金万元2719.543资
14、金筹措万元14113.033.1自筹资金万元8526.153.2银行贷款万元5586.884营业收入万元24300.00正常运营年份5总成本费用万元20895.816利润总额万元3305.427净利润万元2479.068所得税万元826.369增值税万元823.1010税金及附加万元98.7711纳税总额万元1748.2312工业增加值万元6276.4813盈亏平衡点万元11477.85产值14回收期年7.3815内部收益率10.68%所得税后16财务净现值万元-1573.44所得税后第二章 项目承办单位基本情况一、 公司基本信息1、公司名称：xx（集团）有限公司2、法定代表人：钟xx3、注册
15、资本：1210万元4、统一社会信用代码：xxxxxxxxxxxxx5、登记机关：xxx市场监督管理局6、成立日期：2013-5-87、营业期限：2013-5-8至无固定期限8、注册地址：xx市xx区xx9、经营范围：从事刻蚀设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）二、 公司简介公司坚持提升企业素质，即“企业管理水平进一步提高，人力资源结构进一步优化，人员素质进一步提升，安全生产意识和社会责任意识进一步增强，诚信经营水平进一步提高”，培育一批具有工匠精神的高素质企业员工，
16、企业品牌影响力不断提升。公司坚持诚信为本、铸就品牌，优质服务、赢得市场的经营理念，秉承以人为本，始终坚持 “服务为先、品质为本、创新为魄、共赢为道”的经营理念，遵循“以客户需求为中心，坚持高端精品战略，提高最高的服务价值”的服务理念，奉行“唯才是用，唯德重用”的人才理念，致力于为客户量身定制出完美解决方案，满足高端市场高品质的需求。三、 公司竞争优势（一）自主研发优势公司在各个细分领域深入研究的同时，通过整合各平台优势，构建全产品系列，并不断进行产品结构升级，顺应行业一体化、集成创新的发展趋势。通过多年积累，公司产品性能处于国内领先水平。公司多年来坚持技术创新，不断改进和优化产品性能，实现产品
17、结构升级。公司结合国内市场客户的个性化需求，不断升级技术，充分体现了公司的持续创新能力。在不断开发新产品的过程中，公司已有多项产品均为国内领先水平。在注重新产品、新技术研发的同时，公司还十分重视自主知识产权的保护。（二）工艺和质量控制优势公司进口大量设备和检测设备，有效提高了精度、生产效率，为产品研发与确保产品质量奠定了坚实的基础。此外，公司是行业内较早通过ISO9001质量体系认证的企业之一，公司产品根据市场及客户需要通过了产品认证，表明公司产品不仅满足国内高端客户的要求，而且部分产品能够与国际标准接轨，能够跻身于国际市场竞争中。在日常生产中，公司严格按照质量体系管理要求，不断完善产品的研发
18、、生产、检验、客户服务等流程，保证公司产品质量的稳定性。（三）产品种类齐全优势公司不仅能满足客户对标准化产品的需求，而且能根据客户的个性化要求，定制生产规格、型号不同的产品。公司齐全的产品系列，完备的产品结构，能够为客户提供一站式服务。对公司来说，实现了对具有多种产品需求客户的资源共享，拓展了销售渠道，增加了客户粘性。公司产品价格与国外同类产品相比有较强性价比优势，在国内市场起到了逐步替代进口产品的作用。（四）营销网络及服务优势根据公司产品服务的特点、客户分布的地域特点，公司营销覆盖了华南、华东、华北及东北等下游客户较为集中的区域，并在欧美、日本、东南亚等国家和地区初步建立经销商网络，及时了解
19、客户需求，为客户提供贴身服务，达到快速响应的效果。公司拥有一支行业经验丰富的销售团队，在各区域配备销售人员，建立从市场调研、产品推广、客户管理、销售管理到客户服务的多维度销售网络体系。公司的服务覆盖产品服务整个生命周期，公司多名销售人员具有研发背景，可引导客户的技术需求并为其提供解决方案，为客户提供及时、深入的专业技术服务与支持。公司与经销商互利共赢，结成了长期战略合作伙伴关系，公司经销网络较为稳定，有利于深耕行业和区域市场，带动经销商共同成长。四、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额5778.204622.564333.65
20、负债总额1972.011577.611479.01股东权益合计3806.193044.952854.64公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入12879.1910303.359659.39营业利润3079.502463.602309.63利润总额2733.732186.982050.30净利润2050.301599.231476.22归属于母公司所有者的净利润2050.301599.231476.22五、 核心人员介绍1、钟xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公
21、司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。2、王xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。3、卢xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。4、林xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。5、任xx，中国国籍，无永
22、久境外居留权，1971年出生，本科学历，中级会计师职称。2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2003年11月至2011年3月任xxx有限责任公司财务经理。2017年3月至今任公司董事、副总经理、财务总监。6、覃xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。7、袁xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018
23、年8月至今任公司独立董事。8、郑xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。六、 经营宗旨依据有关法律、法规，自主开展各项业务，务实创新，开拓进取，不断提高产品质量和服务质量，改善经营管理，促进企业持续、稳定、健康发展，努力实现股东利益的最大化，促进行业的快速发展。七、 公司发展规划（一）战略目标与发展规划公司致力于为多产业的多领域客户提供高质量产品、技术服务与整体解决方案，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。（二）措施及实施效果公司立足于本行业，以先进的技术和高品质的产品满足产品日益提升的质量标
24、准和技术进步要求，为国内外生产商率先提供多种产品，为提升转换率和品质保证以及成本降低持续做出贡献，同时通过与产业链优质客户紧密合作，为公司带来稳定的业务增长和持续的收益。公司通过产品和商业模式的不断创新以及与产业链企业深度融合，建立创新引领、合作共赢的模式，再造行业新格局。（三）未来规划采取的措施公司始终秉持提供性价比最优的产品和技术服务的理念，充分发挥公司在技术以及膜工艺技术的扎实基础及创新能力，为成为百亿级产业领军企业而努力奋斗。在近期的三至五年，公司聚焦于产业的研发、智能制造和销售，在消费升级带来的产业结构调整所需的领域积极布局。致力于为多产业的多领域客户提供中高端技术服务与整体解决方案
25、。在未来的五至十年，以蓬勃发展的中国市场为核心，利用中国“一带一路”发展机遇，利用独立创新、联合开发、并购和收购等多种方法，掌握国际领先的技术，使得公司真正成为国际领先的创新型企业。第三章 项目建设背景、必要性一、 离子束刻蚀离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体腔内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的
26、电极来形成高密度束流。离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。二、 反应离子刻蚀反应离子刻蚀（RIE）是一种采用化学反应和物理离子轰击去除硅片表面材料的技术，是当前常用技术路径，属于物理和化学混合刻蚀。在传统的反应离子刻蚀机中，进入反应室的气体会被分解电离为等离子体，等离子体由反应正离子、自由基、反应原子等组成。反应正离子会轰击硅片表面形成物理刻蚀，同时被轰击的硅片表面化学活性被提高，之后硅片会与自由基和反应原子形成化学刻蚀。这个过程中由于离子轰击带有方向性，RIE技术具有较好的各向异性。三、 加大招商引资力度
27、加快融入国家重大区域战略，积极参与新时代西部大开发和“一带一路”、长江经济带、粤港澳大湾区建设，加强与泛珠三角、成渝地区双城经济圈等协作，主动融入国际国内产业链、供应链、价值链分工体系。探索与贵阳、贵安新区共建产业园区。拓展与青岛市的交流合作，构建更加多元化、深层次的协作体系。深化产业大招商，聚焦重点产业，发挥比较优势，精准有效对接，加大力度引进国内外优强企业，打造西部地区承接产业转移示范区。优化营商环境，实施市场准入负面清单制度，落实“非禁即入”要求，持续提升投资建设便利度，营造“亲商、重商、安商、扶商、护商”良好氛围。四、 全力培育企业主体构建大企业与中小企业协同创新、共享资源、融合发展的
28、产业生态体系。滚动实施“千企改造”工程，积极应用高新技术改造提升传统产业，淘汰落后技术装备，促进企业提质增效，提高企业发展层次和水平。围绕八大重点工业产业，锻造产业链供应链长板，补齐产业链供应链短板，分行业做好供应链战略设计和精准施策，推动全产业链优化升级。强化技术创新引领，增强产业核心竞争力，引导企业加大技术创新、管理创新、产品创新、商业模式创新，推动首位产业自主创新、集成创新。加强质量品牌建设，增强市场主体竞争力，引导企业加强内部管理制度建设，不断提升企业现代化、国际化水平，积极培育和引进一批“隐形冠军”、“单项冠军”、瞪羚企业和独角兽企业，引导中小微企业发挥自身优势，培育打造一批具有潜力
29、的“专精特新”行业领军企业，完善工业品牌建设机制，支持有条件的行业龙头企业采取收购、兼并、控股、联合以及委托加工等方式，创建形成一批国内外具有较强竞争力的“安顺制造”品牌。第四章 市场分析一、 干法刻蚀是芯片制造的主流技术刻蚀设备处于半导体产业链上游环节。半导体产业链的上游由为设计、制造和封测环节提供软件及知识产权、硬件设备、原材料等生产资料的核心产业组成。半导体产业链的中游可以分为半导体芯片设计环节、制造环节和封装测试环节。半导体产业链的下游为半导体终端产品以及其衍生的应用、系统等。刻蚀的基本目标是在涂胶的硅片上正确的复制掩模图形。刻蚀是指使用化学或物理方法有选择地从硅片表面去除不需要的材料
30、的过程，并保证有图形的光刻胶在刻蚀中不受到腐蚀源显著的侵蚀。常用来代表刻蚀效率的参数主要有：刻蚀速率、刻蚀剖面、刻蚀偏差和选择比等。刻蚀速率指刻蚀过程中去除硅片表面材料的速度；刻蚀剖面指的是刻蚀图形的侧壁形状，通常分为各向同性和各向异性剖面；刻蚀偏差指的是线宽或关键尺寸间距的变化，通常由横向钻蚀引起；选择比指的是同一刻蚀条件下两种材料刻蚀速率比，高选择比意味着不需要的材料会被刻除。刻蚀技术按工艺分类可分为湿法刻蚀和干法刻蚀，其中干法刻蚀是最主要的用来去除表面材料的刻蚀方法，湿法刻蚀主要包括化学刻蚀和电解刻蚀。由于在湿法刻蚀技术中使用液体试剂，相对于干法刻蚀，容易导致边侧形成斜坡、要求冲洗或干燥
31、等步骤。因此干法刻蚀被普遍应用于先进制程的小特征尺寸精细刻蚀中，并在刻蚀率、微粒损伤等方面具有较大的优势。目前先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。一个等离子体刻蚀机的基本部件包括发生刻蚀反应的反应腔、产生等离子体气的射频电源、气体流量控制系统、去除生成物的真空系统。刻蚀中会用到大量的化学气体，通常用氟刻蚀二氧化硅，氯和氟刻蚀铝，氯、氟和溴刻蚀硅，氧去除光刻胶。二、 高密度等离子体刻蚀在先进的集成电路制造技术中用于刻蚀关键层最主要的刻蚀方法是单片处理的高密度等离子体刻蚀技术。根据产生等离子体方法的不同，等离子体刻蚀主要分为电容性等离子体刻蚀（
32、CCP）、电感性等离子体刻蚀(ICP)、电子回旋加速震荡（ECR）和双等离子体源。电子回旋加速震荡（ECR）反应器是最早商用化的高密度等离子体反应器之一，它是1984年前后日本日立公司最早研究的，第一次使用是在20世纪80年代初。它在现代硅片制造中仍然用于0.25微米及以下尺寸图形的刻蚀。ECR反应器的一个关键是磁场平行于反应剂的流动方向，这使自由电子由于磁力作用做螺旋形运动。增加了电子碰撞的可能性，从而产生高密度的等离子体。优点在于能产生高的各向异性刻蚀图形，缺点是设备复杂度较高。耦合等离子体刻蚀机包括电容耦合（CCP）与电感耦合（ICP），相比ECR结构简单且成本低。电容耦合等离子体刻蚀机
33、（CCP）通过电容产生等离子体，而电感耦合等离子体刻蚀机（ICP）通过螺旋线圈产生等离子体。硅片基底为加装有低功率射频偏置发生器的电源电极，用来控制轰击硅片表面离子的能量，从而使得整个装置能够分离控制离子的能量与浓度。电容性等离子体刻蚀（CCP）主要是以高能离子在较硬的介质材料上，刻蚀高深宽比的深孔、深沟等微观结构；而电感性等离子体刻蚀（ICP）主要是以较低的离子能量和极均匀的离子浓度刻蚀较软的和较薄的材料。这两种刻蚀设备涵盖了主要的刻蚀应用。双等离子体源刻蚀机主要由源功率单元、上腔体、下腔体和可移动电极四部分组成。这一系统中用到了两个RF功率源。位于上部的射频功率源通过电感线圈将能量传递给等
34、离子体从而增加离子密度，但是离子浓度增加的同时离子能量也随之增加。下部加装的偏置射频电源通过电容结构能够降低轰击在硅表面离子的能量而不影响离子浓度，从而能够更好地控制刻蚀速率与选择比。第五章 建筑技术分析一、 项目工程设计总体要求1、建筑结构设计力求贯彻“经济、实用和兼顾美观”的原则，根据工艺需要，结合当地地质条件及地需条件综合考虑。2、为满足工艺生产的需要，方便操作、检修和管理，尽量采取厂房一体化，充分考虑竖向组合，立求缩短管线，降低能耗，节约用地，减少投资。3、为加快建设速度并为今后的技术改造留下发展空间，主厂房设计成轻钢结构，各层主要设备的悬挂、支撑均采用钢结构，实现轻型化，并满足防腐防
35、爆规范及有关规定。二、 建设方案（一）结构方案1、设计采用的规范（1）由有关主导专业所提供的资料及要求；（2）国家及地方现行的有关建筑结构设计规范、规程及规定；（3）当地地形、地貌等自然条件。2、主要建筑物结构设计（1）车间与仓库：采用现浇钢筋混凝土结构，砖砌外墙作围护结构，基础采用浅基础及地梁拉接，并在适当位置设置伸缩缝。（2）综合楼、办公楼:采用现浇钢筋砼框架结构，（二）建筑立面设计为使建筑物整体风格具有时代特征，更加具有强烈的视觉效果，更加耐人寻味、引人入胜。建筑外形设计时尽可能简洁明了，重点把握个体与部分之间的比例美与逻辑美，并注意各线、面、形之间的相互关系，充分利用方向、形体、质感、
36、虚实等多方位的建筑处理手法。三、 建筑工程建设指标本期项目建筑面积35535.38，其中：生产工程24503.34，仓储工程5383.17，行政办公及生活服务设施3315.73，公共工程2333.14。建筑工程投资一览表单位：、万元序号工程类别占地面积建筑面积投资金额备注1生产工程7803.6124503.342997.321.11#生产车间2341.087351.00899.201.22#生产车间1950.906125.84749.331.33#生产车间1872.875880.80719.361.44#生产车间1638.765145.70629.442仓储工程2909.825383.1764
37、1.312.11#仓库872.951614.95192.392.22#仓库727.461345.79160.332.33#仓库698.361291.96153.912.44#仓库611.061130.47134.683办公生活配套701.003315.73495.523.1行政办公楼455.652155.22322.093.2宿舍及食堂245.351160.51173.434公共工程1851.702333.14187.81辅助用房等5绿化工程3652.2161.93绿化率17.12%6其他工程4454.3317.687合计21333.0035535.384401.57第六章 产品规划方案一、
38、建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积21333.00（折合约32.00亩），预计场区规划总建筑面积35535.38。（二）产能规模根据国内外市场需求和xx（集团）有限公司建设能力分析，建设规模确定达产年产xxx套刻蚀设备，预计年营业收入24300.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本期项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为
39、一致，本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品（服务）名称单位单价（元）年设计产量产值1刻蚀设备套xxx2刻蚀设备套xxx3刻蚀设备套xxx4.套5.套6.套合计xxx24300.00离子束刻蚀（IBE）是具有较强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。他能对小尺寸图型产生各向异性刻蚀，等离子体通常是由电感耦合RF源或微波源产生的。热灯丝发射快速运动的电子。氩原子通过扩散筛进入等离子体腔内。电磁场环绕等离子体腔，磁场使电子在圆形轨道上运动，这种循环运动是的电子与氩原子产生多次碰撞，从而产生大量的正氩离子，正氩离子被从带格栅电极的等离子体源中引出并用一套校准的电极来形成高密度束流。
40、离子束刻蚀主要用于金、铂、铜等较难刻蚀的材料。优势在于硅片可以倾斜以获取不同的侧壁形状。但也面临低选择比和低刻蚀速率的问题。第七章 项目选址方案一、 项目选址原则节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地；应充分利用天然地形，选择土地综合利用率高、征地费用少的场址。二、 建设区基本情况安顺，贵州省地级市。位于贵州省中西部，距贵州省省会贵阳90公里。总面积9267平方公里。地处长江水系乌江流域和珠江水系北盘江流域的分水岭地带，是世界上典型的喀斯特地貌集中地区。根据第七次人口普查数据，截至2020年11月1日零时，安顺市常住人口为2470630人。安顺素有“中国瀑乡”、“
41、屯堡文化之乡”、“蜡染之乡”、“西部之秀”的美誉，是中国优秀旅游城市，全国甲类旅游开放城市，全国唯一的“深化改革，促进多种经济成分共生繁荣，加快发展”改革试验区，民用航空产业国家高技术产业基地，贵州省级历史文化名城，是“贵州加快发展的经济特区”，2009年度中国十大特色休闲城市，世界喀斯特风光旅游优选地区，全国六大黄金旅游热线之一和贵州西部旅游中心。批准的第八个国家级新区贵安新区的主要组成部分。安顺被列为第一批国家新型城镇化综合试点地区。2017年6月，安顺市被命名国家卫生城市。2017年10月，被住建部命名为国家园林城市。2020年10月，被评为全国双拥模范城（县）。“十三五”时期，紧扣建设
42、富美安顺目标，坚持以脱贫攻坚统揽经济社会发展全局，打好三大攻坚战，推进三大战略行动，经济社会发展取得显著成绩，“十三五”规划目标任务即将完成，与全国全省同步全面建成小康社会胜利在望，为开启全面建设社会主义现代化国家新征程奠定了坚实基础。三、 加强创新体系建设深化科技管理体制改革，加大对创新的政策支持力度，不断健全科技基础设施和科技服务平台。强化企业的创新主体地位，实施创新型企业培育行动，推动创新资源向企业集中、创新人才向企业集聚、创新政策向企业集成，加快形成以高新技术企业、科技型企业、创新型领军企业和“科技小巨人”企业为重点的创新型企业集群。推进产学研深度融合，构建产业技术创新联盟，推动各种形
43、式的协同创新、自主创新，加强知识产权保护，提高科技成果转化成效。依托企业、高校、科研院所，建设一批工程(技术)研究中心、重点实验室、企业技术中心，提升创新平台建设水平。发挥西秀区、安顺经开区等双创示范基地带动作用，新建一批双创示范基地。加大科技研发投入，提高R&D经费支出占比。四、 全力构建集聚平台以产业园区为载体，引导高端项目、龙头企业和优质资源向园区集中，提高园区单位面积产出率，形成产业链上下游集群融合发展的新格局。突出地方特色，错位发展首位产业、首位产品，打造最优产业生态，形成产业竞争力。西秀产业园区、安顺民用航空产业国家高技术产业基地、安顺高新区推动以装备制造、电子信息、新型建材、新医
44、药大健康等为优势的产业集群发展;普定循环经济工业基地、镇宁产业园区推动以循环经济、现代化工、特色轻工为优势的产业集群发展;关岭产业园区、紫云产业园区推动以特色食品加工、环保材料为优势的产业集群发展。完善产业园区设施建设，优化功能分区，提升物流畅通水平。健全园区发展考评机制，分类指导园区差异化发展。探索园区市场化发展新路径，推动园区由政府主导向市场主导转型。五、 项目选址综合评价项目选址应符合城乡建设总体规划和项目占地使用规划的要求，同时具备便捷的陆路交通和方便的施工场址，并且与大气污染防治、水资源和自然生态资源保护相一致。第八章 运营模式分析一、 公司经营宗旨依据有关法律、法规，自主开展各项业
45、务，务实创新，开拓进取，不断提高产品质量和服务质量，改善经营管理，促进企业持续、稳定、健康发展，努力实现股东利益的最大化，促进行业的快速发展。二、 公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依