脉冲激光沉积PLDeipx.docx

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1、脉冲激光光沉积PPLD 简单来来说,脉脉冲激光光沉积PPLD(Pullsedd Laaserr Deepossitiion)就是脉脉冲激光光光束聚聚焦再固固体靶面面上,激激光超强强的功率率使得靶靶物质快快速等离离子化,然然后溅镀镀到目标标物上。脉冲激光光沉积的的优点有有:1. 由于激光光光子能能量很高高,可溅溅射制备备很多困困难的镀镀层:如如高温超超导薄膜膜,陶瓷瓷氧化物物薄膜,多多层金属属薄膜等等; PPLD可可以用来来合成纳纳米管,纳纳米粉末末等2. PLD可可以非常常容易的的连续融融化多个个材料,实实现多层层膜制备备3. PLD可可以通过过控制激激光能量量和脉冲冲数,精精密的控控制膜厚厚

2、。脉冲激光光沉积对对激光器器的要求求有:1. 尽可能避避免热效效应:激激光波长长越短,越越容易实实现“冷冷加工”所所以1993nmm,2448nmm的准分分子激光光器和2266nnm,3355nnm的高高次谐波波ND:YAGG固态激激光器为为客户所所常用2. 大能量,短短脉冲创创造超过过靶材的的阈值的的功率密密度3. 比较高的的重复频频率,提提升溅射射速度。4. 激光器使使用简单单,寿命命长,易易于维护护(这一一点Ndd:YAAG固态态激光器器要好于于准分子子激光器器)先锋公司司相关产产品激光光源源部分:法国QQuanntell公司的的脉冲NNd:YYAG激激光器, (链接接)推荐型号号: 1. Brilllannt BB 系列列:即插插即用型型3倍频频(3555nmm),44倍频(2266nnm)结结构;用用户使用用方便,也也是商用用PLDD系统OOEM厂厂家的选选择。2. YG9880系列列:高能能量输出出,工作作稳定,维维护方便便。是科科研用PPLD系系统的首首选。测试系统统部分: 1. 等离子体体光谱测测试系统统: 英英国Anndorr公司, 2. 真空腔残残余气体体分析仪仪:美国国SRSS公司 RGAA2000等 3. 红外热像像仪:美美国Ellecttropphyssicss公司 PV3320等等

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