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1、洁净厂房洁净室建筑装饰施工验收规范第2.1.1条 洁净室建筑装饰施工应于屋面防水工程和外围护结构完成，外门、外窗安装完毕，主体结构验收后进行，其内容包括室内装饰工程，门窗安装，缝隙密封，以及各种管线、照明灯具、净化空调设备、工艺设备等与建筑的结合部位缝隙的密封作业。第2.1.2条 洁净室建筑装饰施工进度安排应与其他专业工种制订明确的施工协作计划，按程序施工，互相配合。施工只要程序见附录二。第2.1.3条 洁净室建筑装饰施工除应符合现行国家标准装饰工程施工及验收规范GBJ 210和地面与楼面工程施工及验收规范GBJ 209的要求外，还应保证施工的气密性，减少施工作业的发尘量和保持施工现场的清洁。
2、有防腐蚀要求时，还应符合现行国家标准建筑防腐蚀工程施工及验收规范TJ 212的规定。第2.1.4条 洁净室建筑装饰施工现场的环境温度应不低于10，但按装饰材料说明书要求的温度施工。第二节 材料 要 求第2.2.1条 用于洁净室嵌缝的弹性密封材料及防尘涂料必须有注明成份、品种、出厂日期、贮存有效期和施工方法的说明书以及产品合格证书。不得使用过期产品和未经鉴定的产品。第2.2.2条 洁净室涂料地面水泥砂浆基底的水泥标号不得低于425号，水磨石地面应现浇，所用小石子直径为615mm，水磨石细磨后，宜用不挥发的护面材料打涂。第2.2.3条 洁净室墙面和吊顶的抹灰，应为高级抹灰，养护时间应充分。不得采用
3、受热、湿影响产生变形、霉变、粉化的材料。第2.2.4条 洁净室使用的木材的含水率不应大于16%，并且不得外露使用，石膏板、胶合板和木龙骨应做防潮处理，或采用防水石膏板，生物洁净室不应使用木材和石膏板作表面装饰材料。第三节 构造与装饰要求第2.3.1条 预埋在钢筋混凝土构件和墙体上的铁件、木框等应牢固，木砖和木框应做防腐处理，预埋铁件外露部分和吊杆支架应做防锈或防腐处理。第2.3.2条 不同材料相接处采用弹性材料密封时，应预留适当宽度和深度的槽口或缝隙，见图2.3.2。第2.3.3条 所有建筑构配件、隔墙、吊顶的固定和吊挂件，应与主体结构相联，不应与设备支架(如传送带吊杆、风管吊杆以及有振动的设
4、备)和管线支架相联接。第2.3.4条 建筑装饰及门窗的缝隙应在正压面密封.第2.3.5条 改建工程在隔墙拆移、打洞、管线穿墙和穿楼板等施工后，应修补牢固，表面进行相应装饰，防止积尘掉灰。第2.3.6条 管线隐藏工程应在管线施工完成并进行试压验收后进行。管线穿墙、穿吊顶处的洞口周围应修补平齐，严密，清洁，并用密封材料嵌缝。隐藏工程的检修口周边应粘贴气密性密封垫。第2.3.7条 洁净室地面垫层下应铺设0.40.6mm厚的防水薄膜作防潮层，接头处搭接50mm，用胶带粘牢；混凝土浇筑时分仓线不宜通过洁净室。施工卷材和涂料的基底含水率不应大于68%。第2.3.8条 踢脚板部分施工时应与墙面平齐或略缩进2
5、3mm。当踢脚板与地面材料相同时可做成小圆角，其圆角半径R应大于等于50mm，当踢脚板与地面材料不同时，应用弹性材料嵌固。见图2.3.8。第2.3.9条 洁净室的装饰表面质量应符合表2.3.9的规定。 第四节 施工要求第2.4.1条 建筑装饰工程必须与各专业工种间制定严格的施工程序，一般依次为：留洞打底、各专业安装、内门窗安装、修补洞口及周边、基层打底、饰面抹灰和罩面板工程、嵌缝处理、油漆刷浆工程和裱糊工程。第2.4.2条 在洁净室建筑装饰施工过程中，必须随时清扫灰尘，对隐藏空间（如吊顶和夹墙内部等）还应做好清扫记录。第2.4.3条 应保护已完成的装饰工程表面，不得因撞击、敲打、踩踏、多水作业
6、等造成板材凹陷、暗裂和表面装饰的污染。第2.4.4条 对已安装高效过滤器的房间，不得进行有粉尘的作业。第2.4.5条 塑料板材或卷材面层铺贴前应预先按规格大小、厚薄分类，板材或卷材与地面之间应满涂粘接剂、表面赶平，不得漏涂或残存空气。第2.4.6条 密封胶嵌固前，应将基槽内的杂质、油污剔除干净，并保持表面干燥。第2.4.7条 洁净室临时设置的设备入口不用时应封闭，防止尘土杂物进入。第2.4.8条 施工现场应保证良好的通风和照明。对于改建工程，应查明和切断原有电源及易燃、易爆和有毒气体管线后方可施工。对工艺生产过程中使用的腐蚀性液体应有安全防护措施。第五节 装配式洁净室的安装第2.5.1条 装配
7、式洁净室的安装，应在装饰工程完成后的室内进行。室内空间必须清洁、无积尘，并在施工安装过程中对零件和场地随时清扫、擦净。第2.5.2条 施工安装时，应首先进行吊挂、锚固件等与主体结构和楼面、地面的联结件的固定。第2.5.3条 地面面层必须平整，其不平整度不应大于0.1%。在做卷材面层或涂料面层时应考虑与垂直壁板交接处的密封。第2.5.4条 壁板安装前必须严格放线，墙角应垂直交接，防止累积误差造成壁板倾斜扭曲，壁板的垂直度偏差不应大于0.2%。第2.5.5条 吊顶应按房间宽度方向起拱，使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整。吊顶周边应与墙体交接严密。第2.5.6条 安装过程中不得撕下壁板表面塑料保护
8、膜，禁止撞击和踩踏板面。第2.5.7条 各种构配件和材料应存放在有围护结构的清洁、干燥的环境中，平整地放置在防潮膜上。第2.5.8条 构配件和材料的开箱启封应在清洁环境中进行，应严格检查其规格性能和完好程度，不合格或已损坏的构配件严禁安装。第2.5.9条 需要粘贴面层的材料、嵌贴密封胶的表面和沟槽必须严格清扫清洗，除去杂质和油污，确保粘贴密实，防止脱落和积灰。第2.5.10条 装配式洁净室的安装缝隙，必须用密封胶密封。第三章 净化空调系统第一节一般规定第3.1.1条 净化空调系统的一般要求和风管、部件的具体制作验评方法，应分别符合现行国家标准通风与空调工程施工及验收规范GBJ 243和通风与空
9、调工程质量检验评定标准GBJ 304的有关规定。第3.1.2条 净化空调系统的施工安装应根据“洁净室主要施工程序”（见附录二）制订协作进度计划，严格按计划进行。第二节 风管及其部件的制作第3.2.1条 风管和部件的板材应按设计要求选用，设计无要求时应采用冷轧钢板或优质镀锌钢板。第3.2.2条 风管不得有横向拼接缝，尽量减少纵向拼接缝。矩形风管底边宽度等于或小于800mm时，其底边不得有纵向拼接缝。第3.2.3条 风管板材的拼接采用单咬口；圆形风管的闭合缝采用单咬口，弯管的横向缝采用立咬口；矩形风管转角缝采用转角咬口、联合角咬口或按扣式咬口。上述咬口缝处都必须涂密封胶或贴密封胶带。第3.2.4条
10、 风管内表面必须平整光滑，不得在风管内设加固框及加固筋。第3.2.5条 风管应按设计要求刷涂涂料。当设计无要求时，可按表3.2.5要求刷涂。刷涂前必须除去钢板表面油污和铁锈，干燥后再刷涂。涂层应无漏涂、起泡、露底现象。 风管刷涂涂料的要求 表3.2.5风管材料系统部位涂料类别刷涂遍数冷轧钢板全部内表面：醇酸类底漆 醇酸类磁漆22外表面：有保温：铁红底漆 无保温：铁红底漆 磁漆或调和漆212镀锌钢板回风管，高效过滤器前送风管内表面：一般不刷涂 当镀锌钢板表面有明 显氧化层，有针孔、麻点、起皮和镀层脱落等缺陷时，按下列要求刷涂： 磷化底漆 锌黄醇酸类底漆 面漆(磁漆或调和漆等)外表面：不刷涂高效过
11、滤器后送风管内表面：磷化底漆 锌黄醇酸类底漆 面漆(磁漆或调和漆等)122外表面：不刷涂第3.2.6条 加工镀锌钢板风管应避免损坏镀锌层，损坏处(如咬口、折边、铆接处等)应刷涂优质涂料两遍。第3.2.7条 柔性短管应选用柔性好、表面光滑、不产尘、不透气和不产生静电的材料制做(如光面人造革、软橡胶板等)，光面向里。接缝应严密不漏风，其长度一般取150250mm，安装完毕后不得有开裂或扭曲现象。第3.2.8条 金属风管与法兰连接时，风管翻边应平整并紧贴法兰，宽度不应小于7mm，翻边处裂缝和孔洞应涂密封胶。第3.2.9条 法兰螺丝孔和铆钉孔间距不应大于100mm。矩形法兰四角应设螺丝孔。螺钉、螺母、
12、垫片和铆钉应镀锌。不得选用空心铆钉。第3.2.10条 中效过滤器后的送风管法兰铆钉缝处应涂密封胶，或采用其他密封措施。涂密封胶前应清除表面尘土和油污。第3.2.11条 风管、静压箱和部件必须保持清洁。制作完毕用无腐蚀性清洗液将内表面油膜和污物清洗干净，干燥后经检查达到要求即用塑料薄膜及胶带封口，清洗后立即安装的可不封口。第3.2.12条 净化空调系统管径大于500mm的风管应设清扫孔及风量、风压测定孔，过滤器前后应设测尘、测压孔，孔口安装时应除去尘土和油污，安装后必须将孔口封闭。第3.2.13条 风管及其部件不得在没有做好墙壁、地面、门窗的房间内制作和存放，制作场所应经常清扫并保持清洁。第三节
13、 系 统 安 装第3.3.1条 法兰密封垫应选用弹性好、不透气、不产尘的材料，严禁采用乳胶海绵、泡沫塑料、厚纸板、石棉绳、铅油、麻丝以及油毡纸等含开孔孔隙和易产尘的材料。密封垫厚度根据材料弹性大小决定，一般为46mm。一对法兰的密封垫规格、性能及厚度应相同。严禁在密封垫上刷涂涂料。第3.3.2条 法兰密封垫应尽量减少接头。接头采用阶梯形或企口形，并涂密封胶，如图3.3.2所示。密封垫应擦拭干净后，涂胶粘牢在法兰上，不得有隆起或虚脱现象。法兰均匀压紧后，密封垫内侧应与风管内壁相平。第3.3.3条 风管上成对法兰的拧紧力矩要大小一致，安装后不应有松紧不匀的现象。第3.3.4条 经清洗干净包装密封的
14、风管及其部件，安装前不得拆卸。安装时拆开端口封膜后，随即连接好接头；如安装中间停顿，应将端口重新封好。第3.3.5条 风阀、消声器等部件安装时必须清除内表面的油污和尘土。第3.3.6条 风阀的轴和阀体连接处缝隙应有密封措施，阀的各部分(包括外框、活动件、固定件及连接螺钉、螺帽、垫片等)表面应做镀 、铬、镀锌或喷塑处理，叶片及密封件表面应平整、光滑，叶片开启角度应有明显标志。第3.3.7条 净化空调系统风管安装之后，在保温之前应进行漏风检查。当设计对漏风检查和评定标准有具体要求时，应按设计要求进行。无具体要求时，应根据洁净度级别的高低按表3.3.7的规定进行。具体检查试验方法见附录三。 漏风检查
15、方法和评定标准 表3.3.7洁净度风 管 部 位检查方法漏风指标任意级别低于1000级1000级到低于100级等于或高于100级 送、回风支管 送、回风管 送、回风总管和支干管 送、回风总管和支干管漏 光 法漏 光 法漏 光 法漏 光 法无 漏 光无 漏 光 2% 1%第3.3.8条 擦拭净化空调系统内表面应采用不易掉纤维的材料。第3.3.9条 保温层外表面应平整、密封、无胀裂和松弛现象。洁净室内的风管有保温要求时，保温层外应做金属保护壳。保护壳的外表面年应光滑不积尘，便于擦拭，接缝必须密封。 保温施工时不得在风管上开孔和上螺钉，不得破坏系统的密封性。 风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开
16、启。第3.3.10条 高效过滤器送风口尺寸必须符合设计要求，安装前应清洗干净。需在洁净室内安装和更换高效过滤器的送风口，风口翻边和吊顶板之间的接缝应加密封垫。在技术夹层内安装和更换高效过滤器的风口，安装前应配合土建施工预埋短管，短管和吊顶板之间如有裂缝必须封堵好。详见图3.3.10。风口表面涂层破损的不得安装。风口安装完毕随即和风管连接好，开口端用塑料薄膜和胶带密封。第四节 高效过滤器安装第3.4.1条 高效过滤器安装前，必须对洁净室进行清扫、擦拭、净化空调系统内部如有积尘，应再次清扫、擦拭，达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装高效过滤器，则技术夹层或吊顶内也应进行全面清扫、擦拭。第3.4.
17、2条 洁净室及净化空调系统达到清洁要求后，净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上，再次清扫、擦拭洁净室后立即安装高效过滤器。第3.4.3条 高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿轻放，防止剧烈振动和碰撞第3.4.4条 高效过滤器安装前，必须在安装现场拆开包装进行外观检查，内容包括滤纸、密封胶和框架有无毛刺和锈斑(金属框)：有无产品合格证，技术性能是否符合设计要求。然后进行捡漏。（见附录六、一）经检查和捡漏合格的应立即安装。安装时应根据各台过滤器的阻力大小进行合理调配，对于单向流，同一风口或送风面上的各过滤器之间，每台额定阻力和各台平均阻力相差应小于5%。 洁净度
18、级别等于和高于100级洁净室的高效过滤器，安装前应按附录六、一规定的方法捡漏，并符合第5.4.1条规定的要求。第3.4.5条 安装高效过滤器的框架应平整。每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm。第3.4.6条 高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫、不干胶、负压密封、液槽密封和双环密封等方法时，都必须把填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。第3.4.7条 采用密封垫时，垫的厚度不宜超过8mm，压缩率为25%30%。其接头形式和材质应符合设计要求，框架各接缝处不得有渗漏现象。采用双环密封条时，粘贴密封时不要把环腔上的孔眼堵住；双环密封和负压密封都必须保持负压管道畅通。第3.
19、4.8条 安装高效过滤器时，外框上箭头应和气流方向一致。当其垂直安装时，滤纸折痕应垂直于地面。第五节 空 调 器 安 装第3.5.1条 安装空调器时应对设备内部进行清洗、擦拭，除去尘土、杂物和油污。第3.5.2条 设备检查门的门框应该平整，密封垫应符合本规范第3.3.1条和第3.3.2条对法兰密封垫的要求。第3.5.3条 净化空调系统的空调器接缝应做密封处理，安装后应进行密封检查，其方法按附录四“空调器漏风率检测法”进行检漏、堵漏，测量其漏风率。测量漏风率时，空调器内静压保持1000Pa。洁净度等于或高于1000级的系统，空调器漏风率不应大于1%；洁净度低于1000级的系统，空调器漏风率不应大
20、于2%。第3.5.4条 过滤器前后必须装压差计，压差测定管应畅通、严密、无变形和裂缝。第3.5.5条 表冷器冷凝水排出管上应设水封装置和阀门，在无冷凝水排出季节应关闭阀门，保证空调器密闭不漏风。第六节空气净化设备和装置的安装第3.6.1条 本节适用于空气吹淋室、气闸室、传递窗、余压阀、层流罩、洁净工作台、洁净烘箱、空气自净器、新风净化机组、净化空调器、生物安全柜等设备。 本节未包括的或有特殊要求的设备，其安装施工及验收 的技术要求，应按设备的技术文件(如说明书、装配图、技术要求等)的规定执行。第3.6.2条 集中式真空吸尘器及其系统的安装施工及验收应符合现行国家标准通风与空调工程施工及验收规范
21、GBJ 243的有关规定。第3.6.3条 设备应按出厂时外包装标志的方向装车、放置、运输过程防止剧烈振动和碰撞。对于风机底座与箱体软连接的设备，搬运时应将底座架起固定，就位后放下。第3.6.4条 设备运到现场开箱之前，应在较清洁的房间内存放，并应注意防潮。当现场一时不具备室内存放条件时，允许短时间在室外存放，但应有防雨、防潮措施。第3.6.5条 设备应有合格证，开箱应在较干净的环境下进行，开箱后应擦去设备内外表面的尘土和油垢，设备开箱检查合格后应立即进行安装。第3.6.6条 设备应按装箱单进行检查，并应符合下列要求：一、 设备无缺件，表面无损坏和锈蚀等情况；二、 内部各部分连接牢固。第3.6.
22、7条 设备安装一般情况下应在建筑内部装饰和净化空调系统施工安装完成，并进行全面清扫、擦拭干净之后进行。但与洁净室围护结构相连的设备(如新风净化机组、余压阀、传递窗、空气吹淋室、气闸室等)或其排风、排水(如排风洁净工作台、生物安全柜、洁净工作台和净化空调器的地漏等)管道在必须与围护结构同时施工安装时，与围护结构连接的接缝应采取密封措施，做到严密而清洁；设备或其管道的送、回、排风(水)口应暂时封闭，每台设备安装完毕后，洁净室投入运行前，均应将设备的送、回、排风口封闭。第3.6.8条 安装设备的地面应水平、平整，设备在安装就位后应保持其纵轴垂直、横轴水平。第3.6.9条 带风机的气闸室或空气吹淋室与
23、地面之间应垫隔振层。第3.6.10条 凡有机械连锁的设备或电气连锁的设备(如传递窗、空气吹淋室、气闸室、排风洁净工作台、生物安全柜等)，安装调试后应保证联锁处于正常状态。第3.6.11条 凡有风机的设备，安装完毕后风机应进行试运转，试运转时叶轮旋转方向必须正确；试运转时间按设备的技术文件要求确定；当无规定时，则不应少于2h。第3.6.12条设备的验收标准应符合该设备的技术文件要求。第3.6.13条安装生物安全柜时应负荷下列规定：一、 生物安全柜在安装搬运过程中，严禁将其横倒放置和拆卸，宜在搬入安装现场后拆开包装；二、 生物安全柜安装位置在设计未指明时应避开人流频繁处，并应避免房间气流对操作口空
24、气幕的干扰；三、 安装的生物安全柜的背面、侧面离墙壁距离应保持在80300mm之间。对于底面和底边紧贴地面的安全柜，所有沿地边缝应加以密封。四、 生物安全柜的排风管道的连接方式，必须以更换排风过滤器方便确定。第3.6.14条 生物安全柜在每次安装、移动之后，必须进行现场试验，并符合设计要求；当设计无规定时，级生物安全柜的试验应符合下列规定：一、 压力渗漏试验，应确认所有接缝的气密性及整个设备没有漏气；二、 高效空气过滤器的渗漏试验，应确认高效空气过滤器本身及其安装接缝处没有渗漏；三、 操作区气流速度试验，应确认整个操作区的气流速度均满足固定的要求；四、 操作口气流速度试验，应确认整个操作口的气
25、流速度均满足规定要求；五、 操作口负压试验，应确认通过整个操作口的气流流向均指向柜内；六、 洗涤盆漏水程度试验，应确认盛满水的洗涤盆经过1h后无漏水现象；七、 接地装置的接地线路电阻试验，应确认接地的分支线路在接线及插座处的电阻不超过规定值。第四章 水、气、电系统第一节 一 般 规 定第4.1.1条 洁净室内的给水排水、消防设施、气体动力、电器照明等施工，除应符合本规定外，尚应符合现行国家标准采暖与卫生工程施工及验收规范GBJ 242、工业管道工程施工及验收规范GBJ 235、现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范GBJ 232工业自动化仪表工程施工及验收规范GBJ 93的有关规定。第4.1
26、.2条 给水排水管道和气体动力管道穿过洁净室的的墙壁和楼板应设套管，套管内的管段不得有接头，管子与套管之间必须用不燃和不产尘的密封材料封闭。第4.1.3条 明装或暗装的电器线管，其管材应采用不燃材料，洁净室内线管的管口应用不产尘的密封材料封闭。第4.1.4条 洁净室内的管道外表面的保温层，应采用不产尘的不燃或难燃的保温材料，保护层应采用金属保护壳，对于生物洁净室，管道保护壳缝隙应作防水密封处理，保护壳材质应能抗消毒剂的侵蚀。第4.1.5条 给水排水管道和气体动力管道的强度试验、气密性试验、真空度试验和泄漏量试验，当设计无要求时，应按有关规定执行。第4.1.6条 水、气、电系统安装应与其他工程密
27、切配合，严格按程序施工，并符合附录二的要求。第二节 给水 排 水第4.2.1条 洁净室内的给水管道的材质必须符合设计要求。设计无要求时，各类给水管道的材质宜符合下列规定：一、 给水管道、工艺设备的冷却循环水管道宜为镀锌钢管；二、 纯水、高纯水管道为不锈钢(SUS)管、硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管等；三、 管道的配件应采用与管道相应的材质。第4.2.2条 纯水和高纯水采用不锈钢(SUS)管、硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管，其化学成分及物理性能应符合设计要求。第4.2.3条 纯水和高纯水管道、管件、阀门安装前必须清除油污和进行脱脂处
28、理。第4.2.4条 纯水、高纯水采用硬聚氯乙烯(PVC)管、聚丙烯(PP)管和工程塑料(ABS)管时，其管道安装应符合下列要求：一、管道安装必须在环境清洁，室温在5以上，相对湿度在85%以下的条件下进行；二、管道的连接宜采用粘接、焊接、平焊法兰连接及活接头连接；三、管道或管件的承口不得歪斜和厚度不匀。管端不得有裂缝。管道的承插间隙不得大于0.150.3mm；四、管道在粘接前，应对表面进行砂磨处理和清洁处理，不得沾污，粘接时必须保证插入承口的深度；五、法兰面应平整光滑，密封面应与管道中心线垂直；六、活接头的接管与管道应采用粘接、焊接或螺纹连接；七、埋地敷设时，必须对垫层进行处理或设简易管沟；安装
29、在地面上时，应设防护罩；八、管道采用焊接或平焊法兰连接时，管道或法兰应根据不同厚度加工坡口，焊缝及坡口形式应符合表4.2.4的规定，焊缝应填满，不得有焦黄、段裂、虚焊等现象，焊缝强度不得低于母材的60%，焊条材质应与管材相同。焊接和坡口形式 表4.2.4焊缝形式焊缝名称图 形板材厚度d(mm)焊接张角a()应用说明对接焊缝单面焊、V形560707090用于管道对接焊管板焊缝双面焊、T形67如左图所示用于管道与法兰焊接第4.2.5条 纯水、高纯水管道采用不锈钢(SUS) 管时，其管道安装应符合下列要求：一、 管道连接宜采用焊接、焊环活套法兰和凹凸法兰等连接方式；二、 焊接应采用钨极氩弧焊打底，手
30、工电弧焊盖面工艺；三、 采用分段组装工艺的翻边管、三通、弯头等部件焊接时，管内应充氩气保护，使焊接表面光滑无氧化现象；四、 管道部件的点固焊应与焊接相同，必须采取措施，防止焊缝氧化；五、 管道部件焊接后应将管内焊缝氧化物清刷冲洗掉，再用四氯化碳脱脂，然后封闭管口；六、 设计无要求时，法兰垫片宜采用聚四氟乙烯或软质聚氯乙烯扳。第4.2.6条 纯水、高纯水管道系统强度试验合格后，在系统运转前必须进行清洗，清洗后的水质应符合设计要求。第4.2.7条 洁净室内的地漏或排水漏斗安装后必须封闭。第4.2.8条 与设备连接的排水管，当采用螺纹连接时，不得使用铅油麻丝。第三节 消防 设 施第4.3.1条 暗装
31、消火栓的立管，安装位置必须与土建施工密切配合，不得外露。第4.3.2条 安装在洁净室内的消火栓，其水龙带和消火栓箱内外必须擦洗干净，第4.3.3条 明装的消火栓箱的箱背应紧贴墙面，并将缝隙用密封胶密封。第4.3.4条 自动灭火系统的喷头短管穿过吊顶处，必须封闭严密。第4.3.5条 火灾探测器应安装在靠近回风口处，距墙面或梁的距离应大于0.5m，距送风口的距离应大于0.5m。第4.3.6条 在卤代烷灭火系统的灭火瓶站的集流管上应连接通至室外的泄压管，并在泄压管上安装截止阀。第四节气 体 管 道第4.4.1条 本节适用于洁净室内压力小于等于0.8Mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、煤气等一般气体和
32、高纯气体管道及真空管道的安装。第4.4.2条 气体管道管材的型号、规格、化学成份及物理性能应符合设计要求。管道的表面无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点等缺陷。第4.4.3条 气体管道的福建应符合下列要求：一、 阀门与氧气接触部分不得用可燃材料，其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯；二、 气体管道的法兰垫片应符合设计要求，材质柔软、无老化编制和分层现象，边面不应有折损和皱纹等缺陷；三、 氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等，其材质、型号和规定应符合设计要求，并有符合该介质条件的出厂合格证书。第4.4.4条 气体管道安装应符合下列要求：一、 管道
33、敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装；输送潮湿气体的管道应安装成有不小于0.003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器；二、 管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施；三、 气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜；四、 通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净；五、 气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并载8h内分段组合安装，充入压力不小于0.2MPa的氮气保护；六、 有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导
34、电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。第4.4.5条 高纯气体管道的安装，除应符合第4.4.4条有关要求外，还应符合下列要求：一、 经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前必须采取保护措施，严防二次污染；二、 管口切割后，应进行清洗，再进行分段组装焊接；三、 管道预制、分段组装作业，必须在环境清洁的条件下进行，严禁在室外露天作业；四、 分段预制或组装的管段两端应用塑料布或盲板封闭，不得污染。第4.4.6条 无缝钢管的处理应符合下列要求：一、 无缝钢管安装前应清除管内外表面的铁锈、污物。管道内壁除锈应根据设计要求进行，当设计无要求时，可按其管内锈蚀情况采用一般除锈、喷砂除
35、锈和酸洗、钝化处理；二、 氢、氧管道安装前，必须对油渍、铁锈进行除锈或酸洗后再进行脱脂处理；三、 钢管酸洗、钝化或脱脂后，应清除管内残留的溶液，并将处理合格的管道及时封闭管口；四、 脱脂后的管道、管件和垫片，安装前应必须严格检查，用清洁、干燥的白色滤纸擦拭，不出现油迹位合格。第4.4.7条 气体管道各项试验合格后，必须用经过滤器去除尘埃后的无油压缩空气或高纯氮气吹扫，流速大于20m/s，并以木在管道各处轻轻敲击，直至末端无水迹、脏物位合格。 过滤器的过滤效率应满足气体管道系统工艺对尘埃的要求。第4.4.8条 气体管道吹扫合格后，应再以实际输送的气体和压力，对管道系统进行吹扫，在进行条件下无异常声音和振动位合格。气体管道输送可燃性气体之前，应用惰性气体置换。第五节 电气 装 置第4.5.1条 洁净室内的配电