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1、传感器类型及原理第1页，共74页，编辑于2022年，星期三1.1.传感器定义传感器定义 传感器是能感受规定的被测量并按照一定的规律传感器是能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转转换成可用信号的器件或装置，通常由敏感元件和转换元件组成（换元件组成（GB7665GB76658787）。目前，传感器转换后的信号大多为电信号。因而目前，传感器转换后的信号大多为电信号。因而从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成从狭义上讲，传感器是把外界输入的非电信号转换成电信号的装置。电信号的装置。物理量物理量电参量电参量4.1 4.1 概述概述第四章、传感器类型及工作
2、原理第四章、传感器类型及工作原理第2页，共74页，编辑于2022年，星期三2.2.传感器的构成传感器的构成4.1概述概述 敏感元件敏感元件（或称预变换器，也统称弹性敏感元件）（或称预变换器，也统称弹性敏感元件）在进行由非电量到电量的变换时，有时需利用弹性敏在进行由非电量到电量的变换时，有时需利用弹性敏感元件，先将被测非电量预先变换为另一种易于变换感元件，先将被测非电量预先变换为另一种易于变换成电量的非电量（例如应变或位移），然后再利用传成电量的非电量（例如应变或位移），然后再利用传感元件，将这种非电量变换成电量。感元件，将这种非电量变换成电量。弹性敏感元件是传感器的心脏部分，弹性敏感元件是传感
3、器的心脏部分，在电测技术中占有极为重要的地位。在电测技术中占有极为重要的地位。它常由金属或非金属材料做成，当它常由金属或非金属材料做成，当承受外力作用时，它会产生弹性变承受外力作用时，它会产生弹性变形；当去除外力后，弹性变形消失形；当去除外力后，弹性变形消失并能完全恢复其原来的尺寸和形状。并能完全恢复其原来的尺寸和形状。右图为弹簧管压力计。右图为弹簧管压力计。第3页，共74页，编辑于2022年，星期三 转换元件转换元件 （或称（或称传感传感元件）元件）凡是能将感受到的非电量（如力、压力、温度梯度等）直接凡是能将感受到的非电量（如力、压力、温度梯度等）直接变换为电参量的元件。例如应变计、压电晶体
4、、压磁式器件、变换为电参量的元件。例如应变计、压电晶体、压磁式器件、光电元件及热电偶等。光电元件及热电偶等。它利用各种物理效应或化学效应等原理制成的。它利用各种物理效应或化学效应等原理制成的。说明说明:并不是所有的传感器都包括并不是所有的传感器都包括敏感元件和转换元件敏感元件和转换元件两部分。有时不需两部分。有时不需要进行预变换这一步，例如热敏电阻、光电器件等。另外一些传要进行预变换这一步，例如热敏电阻、光电器件等。另外一些传感器，敏感元件与感器，敏感元件与转换转换元件合二为一，如固态压阻式压力传感器等元件合二为一，如固态压阻式压力传感器等。4.1概述概述第4页，共74页，编辑于2022年，星
5、期三3.3.传感器的分类传感器的分类4.1概述概述1)1)按被测物理量分类按被测物理量分类常见的被测物理量常见的被测物理量机械量机械量:长度长度,厚度厚度,位移位移,速度速度,加速度加速度,旋转角旋转角,转数转数,质量质量,重量重量,力力,力矩力矩;热工量热工量:温度、热量、比热容、热流、温度、热量、比热容、热流、热热分布、压力（压强）、压差、分布、压力（压强）、压差、真空度、真空度、流量、流速、物位、流量、流速、物位、液位、界面。液位、界面。噪声噪声第5页，共74页，编辑于2022年，星期三4.1概述概述电阻式电阻式,电感式电感式,电容式电容式,磁电式磁电式,热电式热电式,光电式等光电式等.
6、2)2)按传感器的工作原理分类按传感器的工作原理分类:能量转换型和能量控制型能量转换型和能量控制型.3)3)按信号变换特征按信号变换特征:能量转换型能量转换型:直接由被测对象输入能量使其工作直接由被测对象输入能量使其工作.例如例如:热电偶温度计热电偶温度计,磁电式位移计磁电式位移计.能量控制型能量控制型:从外部供给能量并由被测量控制外部从外部供给能量并由被测量控制外部 供给能量的变化供给能量的变化.例如例如:电容式声级计电容式声级计.第6页，共74页，编辑于2022年，星期三4.1概述概述4)4)按敏感元件与被测对象之间的能量关系按敏感元件与被测对象之间的能量关系:物性型物性型:依靠敏感元件材
7、料本身物理性质的变化来依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来 实现信号变换实现信号变换.如如:水银温度计水银温度计.结构型结构型:依靠传感器结构参数的变化实现信号转变依靠传感器结构参数的变化实现信号转变.例如例如:电容式和电感式传感器电容式和电感式传感器.第7页，共74页，编辑于2022年，星期三电阻式传感器电阻式传感器是把被测量转换为电阻变化的一种传是把被测量转换为电阻变化的一种传感器感器,按工作的原理可分为按工作的原理可分为:电位计式、电阻应变式、电位计式、电阻应变式、压阻压阻式、热电阻式、湿（气、光）敏电阻式。式、热电阻式、湿（气、光）敏电阻式。1 1 电位计式传感器电位计式传感器第四章、
8、传感器类型及工作原理第四章、传感器类型及工作原理4.2 4.2 电阻式传感器电阻式传感器第8页，共74页，编辑于2022年，星期三4.2电阻式传感器电阻式传感器EE1V VRmRxR-Rx1EE1=xLRmR+Lx()-第9页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：案例：重量的自动检测重量的自动检测-配料设备配料设备 比较比较重量设定原材料原材料4.2电阻式传感器电阻式传感器原理：弹簧原理：弹簧-力力-位移位移 -电位器电位器-电阻电阻第10页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：案例：煤气包储量检测煤气包储量检测煤气包煤气包钢丝钢丝原理：钢丝原理：钢丝-收线圈数收线圈数 -电位器电位器
9、 -电阻电阻4.2电阻式传感器电阻式传感器第11页，共74页，编辑于2022年，星期三 电阻应变片工作原理是基于金属导体的应变效应，即金电阻应变片工作原理是基于金属导体的应变效应，即金属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着所受机属导体在外力作用下发生机械变形时，其电阻值随着所受机械变形械变形(伸长或缩短伸长或缩短)的变化而发生变化。的变化而发生变化。2 2 金属应变式传感器金属应变式传感器4.2电阻式传感器电阻式传感器第12页，共74页，编辑于2022年，星期三1)1)工作原理工作原理上述任何一个参数变换均会引起电阻变化上述任何一个参数变换均会引起电阻变化,求导数求导数金属应变片的电阻
10、金属应变片的电阻R R为为代入代入4.2电阻式传感器电阻式传感器第13页，共74页，编辑于2022年，星期三有：有：金属丝：金属丝：金属丝体积不变：金属丝体积不变：4.2电阻式传感器电阻式传感器第14页，共74页，编辑于2022年，星期三有：有：对金属材料，导电率不变：对金属材料，导电率不变：金属丝应变片：金属丝应变片：4.2电阻式传感器电阻式传感器第15页，共74页，编辑于2022年，星期三应变计金属应变片金属应变片4.2电阻式传感器电阻式传感器第16页，共74页，编辑于2022年，星期三2)2)应变片的主要参数应变片的主要参数 4 4）其它表示应变计性能的参数（工作温度、滞后、蠕）其它表示
11、应变计性能的参数（工作温度、滞后、蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等）。变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等）。1 1）几何参数：表距）几何参数：表距L L和丝栅宽度和丝栅宽度b b，常用，常用bLbL表示。表示。2 2）电阻值：应变计的原始电阻值。）电阻值：应变计的原始电阻值。3 3）灵敏系数：表示应变计变换性能的重要参数。）灵敏系数：表示应变计变换性能的重要参数。4.2电阻式传感器电阻式传感器参数名称电阻值/灵敏度电阻温度系数/（1/C）极限工作温度/C最大工作电流/mAPZ-120型PJ-120型BX-200型BA-120型BB-350型PBD-1K型PBD-120型1201202001
12、203501000+10%120+10%1.92.11.92.11.92.21.92.21.92.2140+5%120+5%2010-62010-60.4%0.2%-1040-1040-3060-30200-30170606020202525251525第17页，共74页，编辑于2022年，星期三3)3)应变片测量电路应变片测量电路VER1R4R2R34.2电阻式传感器电阻式传感器 金属应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表测量金属应变片的电阻变化范围很小，如果直接用欧姆表测量其电阻值的变化将十分困难，且误差很大，一般用电桥。其电阻值的变化将十分困难，且误差很大，一般用电桥。单臂电桥单臂电
13、桥第18页，共74页，编辑于2022年，星期三令：令：金属丝应变片：金属丝应变片：V V与应变成线形关系，可以用电桥测量电压测量应变与应变成线形关系，可以用电桥测量电压测量应变4.2电阻式传感器电阻式传感器第19页，共74页，编辑于2022年，星期三双臂电桥双臂电桥 R1、R2为应变片，为应变片，R3、R4为固定电阻为固定电阻。应变片应变片R1、R2感受到感受到的应变的应变 1 2以及产生以及产生的电阻增量正负号相的电阻增量正负号相间，可以使输出电压间，可以使输出电压Uo成倍地增大。成倍地增大。4.2电阻式传感器电阻式传感器第20页，共74页，编辑于2022年，星期三四臂全桥四臂全桥 全桥的四
14、个桥臂都为应变片，如全桥的四个桥臂都为应变片，如果设法使试件受力后，应变片果设法使试件受力后，应变片R R1 1 R R4 4产生的电阻增量（或感受到的应变产生的电阻增量（或感受到的应变 1 1 4 4）正负号相间，就可以使输）正负号相间，就可以使输出电压出电压U Uo o成倍地增大。上述三种成倍地增大。上述三种工作方式中，全桥四臂工作方式工作方式中，全桥四臂工作方式的灵敏度最高，双臂半桥次之，的灵敏度最高，双臂半桥次之，单臂半桥灵敏度最低。采用全桥单臂半桥灵敏度最低。采用全桥（或双臂半桥）还能实现温度自（或双臂半桥）还能实现温度自补偿。补偿。4.2电阻式传感器电阻式传感器第21页，共74页，
15、编辑于2022年，星期三全桥的温度补偿原理全桥的温度补偿原理 当环境温度升高时，当环境温度升高时，桥臂上的应变片温度同桥臂上的应变片温度同时升高，温度引起的电时升高，温度引起的电阻值漂移数值一致，可阻值漂移数值一致，可以相互抵消，所以全桥以相互抵消，所以全桥的温漂较小；半桥也同的温漂较小；半桥也同样能克服温漂。样能克服温漂。4.2电阻式传感器电阻式传感器第22页，共74页，编辑于2022年，星期三应变效应的应用应变效应的应用 应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变应应变效应的应用十分广泛。它可以测量应变应力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。力、弯矩、扭矩、加速度、位移等物理量。电阻应电阻应变
16、片的应用可分为两大类：变片的应用可分为两大类：第一类是将应变片粘第一类是将应变片粘贴于某些弹性体上，并将其接到测量转换电路，贴于某些弹性体上，并将其接到测量转换电路，这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感这样就构成测量各种物理量的专用应变式传感器。器。应变式传感器应变式传感器中，敏感元件一般为各种弹性体，中，敏感元件一般为各种弹性体，传感元件就是应变片，测量转换电路一般为桥路；传感元件就是应变片，测量转换电路一般为桥路；第二类是将应变片贴于被测试件上，然后将其第二类是将应变片贴于被测试件上，然后将其接到应变仪上就可直接从应变仪上读取被测试接到应变仪上就可直接从应变仪上读取被测试件的应变量。件
17、的应变量。4.2电阻式传感器电阻式传感器第23页，共74页，编辑于2022年，星期三电阻应变式传感器的应用：测力电阻应变式传感器的应用：测力4.2电阻式传感器电阻式传感器第24页，共74页，编辑于2022年，星期三应变片在悬臂梁上的粘贴及变形应变片在悬臂梁上的粘贴及变形4.2电阻式传感器电阻式传感器第25页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：案例：电子称电子称原理将物品重量通过悬臂梁转化结构变形再通过应变片转化为电量输出。4.2电阻式传感器电阻式传感器第26页，共74页，编辑于2022年，星期三人体秤人体秤 4.2电阻式传感器电阻式传感器第27页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：
18、案例：振动式地音入侵探测器振动式地音入侵探测器 适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆适合于金库、仓库、古建筑的防范，挖墙、打洞、爆破等破坏行为均可及时发现。破等破坏行为均可及时发现。4.2电阻式传感器电阻式传感器第28页，共74页，编辑于2022年，星期三应变片的粘贴：应变片的粘贴：1.1.去污：采用手持砂去污：采用手持砂轮工具除去构件表面的轮工具除去构件表面的油污、漆、锈斑等，并油污、漆、锈斑等，并用细纱布交叉打磨出细用细纱布交叉打磨出细纹以增加粘贴力纹以增加粘贴力 ，用，用浸有酒精或丙酮的纱布浸有酒精或丙酮的纱布片或脱脂棉球擦洗。片或脱脂棉球擦洗。4.2电阻式传感器电阻式传感器第
19、29页，共74页，编辑于2022年，星期三 2.2.贴片：在应变片贴片：在应变片的表面和处理过的的表面和处理过的粘贴表面上，各涂粘贴表面上，各涂一层均匀的粘贴胶一层均匀的粘贴胶 ，用镊子将应变片，用镊子将应变片放上去，并调好位放上去，并调好位置，然后盖上塑料置，然后盖上塑料薄膜，用手指揉和薄膜，用手指揉和滚压，排出下面的滚压，排出下面的气泡气泡 。4.2电阻式传感器电阻式传感器第30页，共74页，编辑于2022年，星期三 3.3.测量测量 ：从分开的端：从分开的端子处，预先用万用表测子处，预先用万用表测量应变片的电阻，发现量应变片的电阻，发现端子折断和坏的应变片。端子折断和坏的应变片。4.2电
20、阻式传感器电阻式传感器第31页，共74页，编辑于2022年，星期三4.4.焊接：焊接：将引线和将引线和端子用烙铁焊接起来，端子用烙铁焊接起来，注意不要把端子扯断。注意不要把端子扯断。4.2电阻式传感器电阻式传感器第32页，共74页，编辑于2022年，星期三5.5.固定：固定：焊接后用焊接后用胶布将引线和被测对胶布将引线和被测对象固定在一起，防止象固定在一起，防止损坏引线和应变片。损坏引线和应变片。4.2电阻式传感器电阻式传感器第33页，共74页，编辑于2022年，星期三3 3 半导体压阻式传感器半导体压阻式传感器简化为：简化为：优点：灵敏度大优点：灵敏度大;体积小体积小;固有频率高；固有频率高
21、；缺点：温度稳定性和可重复性不如金属应变片。缺点：温度稳定性和可重复性不如金属应变片。对半导体压阻材料，电阻率变化大：对半导体压阻材料，电阻率变化大：压阻效应压阻效应:固体材料受到应力作用后，电固体材料受到应力作用后，电阻率会发生变化。阻率会发生变化。4.2电阻式传感器电阻式传感器第34页，共74页，编辑于2022年，星期三压阻式压力传感器的隔离、承压膜片压阻式压力传感器的隔离、承压膜片隔离、承压膜片可以将隔离、承压膜片可以将腐蚀性的气体、液体与腐蚀性的气体、液体与硅膜片硅膜片隔离开来。隔离开来。4.2电阻式传感器电阻式传感器第35页，共74页，编辑于2022年，星期三利用扩散工艺制作的四个半
22、导体应变电阻处于同利用扩散工艺制作的四个半导体应变电阻处于同一硅片上，工艺一致性好。一硅片上，工艺一致性好。4.2电阻式传感器电阻式传感器第36页，共74页，编辑于2022年，星期三压阻式压阻式压力传感器压力传感器内部结构内部结构信号处理电路信号处理电路4.2电阻式传感器电阻式传感器第37页，共74页，编辑于2022年，星期三高压进气口高压进气口低压进气口低压进气口4.2电阻式传感器电阻式传感器小型压阻式固态压力传感器小型压阻式固态压力传感器第38页，共74页，编辑于2022年，星期三投入式液位计外形投入式液位计外形压阻式压力压阻式压力传感器传感器 光柱光柱显显示器示器 橡胶橡胶背压管背压管
23、h=h0+h1=h0+p1/（g）4.2电阻式传感器电阻式传感器第39页，共74页，编辑于2022年，星期三4 4 气敏电阻传感器气敏电阻传感器 使用气敏电阻传感器（以下简称气敏电阻），可以把某使用气敏电阻传感器（以下简称气敏电阻），可以把某种气体的成分、浓度等参数转换成电阻变化量，再转换为电种气体的成分、浓度等参数转换成电阻变化量，再转换为电流、电压信号。流、电压信号。还原性气体传感器还原性气体传感器所所谓谓还还原原性性气气体体就就是是在在化化学学反反应应中中能能给给出出电电子子，化化学学价价升升高高的的气气体体。还还原原性性气气体体多多数数属属于于可可燃燃性性气气体体，例例如如石石油油蒸蒸
24、气气、酒酒精精蒸蒸气气、甲甲烷烷、乙乙烷烷、煤煤气气、天天然然气气、氢气等。氢气等。测量还原性气体的气敏电阻一般是用测量还原性气体的气敏电阻一般是用SnO2、ZnO或或Fe2O3等金属氧化物粉料添加少量铂催化剂、激活剂及其它添等金属氧化物粉料添加少量铂催化剂、激活剂及其它添加剂，按一定比例烧结而成的半导体器件。加剂，按一定比例烧结而成的半导体器件。4.2电阻式传感器电阻式传感器第40页，共74页，编辑于2022年，星期三4.2电阻式传感器电阻式传感器a a）气敏）气敏烧结烧结体体 b b）气敏）气敏电电阻外形阻外形 c c）基本基本测测量量转换电转换电路路 11引脚引脚 2 2塑料底座塑料底座
25、 3 3烧结体烧结体 44不锈钢网罩不锈钢网罩 5 5加热电极加热电极6 6工作电极工作电极 7 7加热回路电源加热回路电源 8 8测量回路电源测量回路电源MQN型型气气敏敏半半导导体体器器件件是是由由塑塑料料底底座座、电电极极引引线线、不不锈锈钢钢网网罩罩、气气敏敏烧烧结结体体以以及及包包裹裹在在烧烧结结体体中中的的两两组组铂铂丝丝组组成成。一一组组铂铂丝丝为为工工作作电电极极，另另一一组组（图图中中的的左左边边铂铂丝丝）为为加加热热电电极极兼工作电极。兼工作电极。气敏电阻工作时必须加热到气敏电阻工作时必须加热到200 300，其目的是加速被测气体的化学吸附和电离，其目的是加速被测气体的化学
26、吸附和电离的过程并烧去气敏电阻表面的污物（起清洁作用）。的过程并烧去气敏电阻表面的污物（起清洁作用）。第41页，共74页，编辑于2022年，星期三气敏电阻外形气敏电阻外形 酒精传感器酒精传感器其他可燃性气其他可燃性气体传感器体传感器4.2电阻式传感器电阻式传感器第42页，共74页，编辑于2022年，星期三酒精测试仪酒精测试仪呼气管呼气管4.2电阻式传感器电阻式传感器第43页，共74页，编辑于2022年，星期三家庭用液化气报警器家庭用液化气报警器烟雾报警器烟雾报警器一氧化碳传感器一氧化碳传感器家庭用煤气报警器家庭用煤气报警器4.2电阻式传感器电阻式传感器第44页，共74页，编辑于2022年，星期
27、三4.2电阻式传感器电阻式传感器5 5 湿敏电阻传感器湿敏电阻传感器 绝对湿度：是指大气中水汽的密度，即每一立方米大绝对湿度：是指大气中水汽的密度，即每一立方米大气中所含水汽的质量气中所含水汽的质量(克数克数)。相对湿度：是大气中实有水汽压与当时温度下饱和水相对湿度：是大气中实有水汽压与当时温度下饱和水汽压的百分比，是日常生活中常用来表示湿度大小的方法。汽压的百分比，是日常生活中常用来表示湿度大小的方法。当相对湿度达当相对湿度达100%100%时，称饱和状态。时，称饱和状态。湿敏电阻的原理：水是一种强极性的电解质。水分子湿敏电阻的原理：水是一种强极性的电解质。水分子极易吸附于固体表面并渗透到固
28、体内部，引起半导体的电极易吸附于固体表面并渗透到固体内部，引起半导体的电阻值降低，因此可以利用多孔陶瓷、三氧化二铝等吸湿材阻值降低，因此可以利用多孔陶瓷、三氧化二铝等吸湿材料制作湿敏电阻。料制作湿敏电阻。第45页，共74页，编辑于2022年，星期三湿度传感器的分类湿度传感器的分类 4.2电阻式传感器电阻式传感器第46页，共74页，编辑于2022年，星期三电子电子湿度计模块湿度计模块封装后封装后的外形的外形4.2电阻式传感器电阻式传感器第47页，共74页，编辑于2022年，星期三电子相对湿度仪表的标定仪器电子相对湿度仪表的标定仪器干湿球湿度计外形及原理干湿球湿度计外形及原理干球干球湿球湿球4.2
29、电阻式传感器电阻式传感器第48页，共74页，编辑于2022年，星期三用干湿球湿度计测量相对湿度的原理用干湿球湿度计测量相对湿度的原理 上页中，左边的玻璃温度计（湿球）用湿棉球上页中，左边的玻璃温度计（湿球）用湿棉球包裹，并浸没在水槽里。湿棉球由于水份蒸发，所包裹，并浸没在水槽里。湿棉球由于水份蒸发，所以其温度低于室温，致使湿球的示值低于干球。查以其温度低于室温，致使湿球的示值低于干球。查对应的湿度表就可知道空气的相对湿度。虽然干湿对应的湿度表就可知道空气的相对湿度。虽然干湿球湿度计的历史悠久，但现在还经常用它作为电子球湿度计的历史悠久，但现在还经常用它作为电子相对湿度仪表的标定仪器。相对湿度仪
30、表的标定仪器。风风水槽水槽棉球棉球玻璃酒精温玻璃酒精温度计度计4.2电阻式传感器电阻式传感器第49页，共74页，编辑于2022年，星期三6 6 热电阻传感器热电阻传感器 导体和半导体材料的电阻率与温度有关，金属的电阻随温导体和半导体材料的电阻率与温度有关，金属的电阻随温度升高而变大，而半导体的电阻具有负的温度系数。度升高而变大，而半导体的电阻具有负的温度系数。导体的电阻在一定温度范围内与温度具有线性关系导体的电阻在一定温度范围内与温度具有线性关系 半导体热敏电阻的材料是一种由锰、镍、铜、铁等金属氧半导体热敏电阻的材料是一种由锰、镍、铜、铁等金属氧化物按一定比例混合烧结而成的半导体，它具有负的电
31、阻温度化物按一定比例混合烧结而成的半导体，它具有负的电阻温度系数，随温度上升而阻值下降。系数，随温度上升而阻值下降。RT负温度系数（负温度系数（NTC）4.2电阻式传感器电阻式传感器第50页，共74页，编辑于2022年，星期三热敏电阻外形热敏电阻外形 MF12 MF12型型 NTCNTC热敏电阻热敏电阻聚脂塑料封装热敏聚脂塑料封装热敏电阻电阻4.2电阻式传感器电阻式传感器第51页，共74页，编辑于2022年，星期三温控器温控器应用应用汽车发动机传感器汽车发动机传感器水温感应塞水温感应塞还广泛应用于空调、暖气、电子体温计等还广泛应用于空调、暖气、电子体温计等4.2电阻式传感器电阻式传感器第52页
32、，共74页，编辑于2022年，星期三第四章、传感器类型及工作原理第四章、传感器类型及工作原理4.3 4.3 电感式传感器电感式传感器电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量电感式传感器是基于电磁感应原理，它是把被测量转化为电感量的一种装置。转化为电感量的一种装置。分类分类:电感式传感器电感式传感器自感型自感型可变磁阻型可变磁阻型涡流式涡流式互感型互感型第53页，共74页，编辑于2022年，星期三4.3电感式传感器电感式传感器1 1 自感型自感型-可变磁阻式可变磁阻式可变导磁面积型可变导磁面积型差动型差动型原理原理:电磁感应电磁感应第54页，共74页，编辑于2022年，星期三2 2 涡流式涡
33、流式原理原理:涡流效应涡流效应4.3电感式传感器电感式传感器第55页，共74页，编辑于2022年，星期三原线圈的等效阻抗原线圈的等效阻抗Z Z变化：变化：4.3电感式传感器电感式传感器第56页，共74页，编辑于2022年，星期三4.3电感式传感器电感式传感器第57页，共74页，编辑于2022年，星期三产品：产品：4.3电感式传感器电感式传感器第58页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：连续油管的椭圆度测量案例：连续油管的椭圆度测量Coiled TubeEddy Sensor ReferenceCircle4.3电感式传感器电感式传感器第59页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：无损
34、探伤案例：无损探伤原理裂纹检测，缺陷造成涡流变化。火车轮检测火车轮检测油管检测油管检测4.3电感式传感器电感式传感器第60页，共74页，编辑于2022年，星期三2 2 互感型互感型-差动变压器差动变压器WW1W2Esx-x工作原理工作原理:互感现象互感现象.EwEout4.3电感式传感器电感式传感器第61页，共74页，编辑于2022年，星期三单螺管线圈型单螺管线圈型螺管线圈差动螺管线圈差动双螺管线圈差动型双螺管线圈差动型传感器测量电路传感器测量电路4.3电感式传感器电感式传感器第62页，共74页，编辑于2022年，星期三差动变压器差动变压器测量电路测量电路4.3电感式传感器电感式传感器第63页
35、，共74页，编辑于2022年，星期三差动变压器位移传感器差动变压器位移传感器4.3电感式传感器电感式传感器第64页，共74页，编辑于2022年，星期三案例：案例：板的厚度测量板的厚度测量 4.3电感式传感器电感式传感器第65页，共74页，编辑于2022年，星期三4.4 4.4 电容式传感器电容式传感器变换原理变换原理:将被测量的变化转化为电容量变化将被测量的变化转化为电容量变化两平行极板组成的电容两平行极板组成的电容器器,它的电容量为它的电容量为:+A、A A或或发发生生变变化化时时，都都会会引引起起电电容的变化。容的变化。第四章、传感器类型及工作原理第四章、传感器类型及工作原理第66页，共7
36、4页，编辑于2022年，星期三4.4电容式传感器电容式传感器a)a)极距极距变化型变化型+第67页，共74页，编辑于2022年，星期三驻极体电容传声器驻极体电容传声器 它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经它采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊电处理后，表面永久地驻有极化电荷，取代了电容特殊电处理后，表面永久地驻有极化电荷，取代了电容传声器极板，故名为驻极体电容传声器。特点是体积小、传声器极板，故名为驻极体电容传声器。特点是体积小、性能优越、使用方便。性能优越、使用方便。4.4电容式传感器电容式传感器第68页，共74页，编辑于2022年，星期三b)b)面积变化型面积变化型角位移
37、型角位移型+4.4电容式传感器电容式传感器第69页，共74页，编辑于2022年，星期三平面线位移型平面线位移型4.4电容式传感器电容式传感器第70页，共74页，编辑于2022年，星期三柱面线位移型柱面线位移型.4.4电容式传感器电容式传感器第71页，共74页，编辑于2022年，星期三c)c)介质变化型介质变化型4.4电容式传感器电容式传感器第72页，共74页，编辑于2022年，星期三产品产品.电容式液位传感器（液位计电容式液位传感器（液位计/料位计）料位计）4.4电容式传感器电容式传感器第73页，共74页，编辑于2022年，星期三电容式接近开关电容式接近开关振荡电路振荡电路被测物体被测物体 感应电极感应电极被测电容被测电容测量头构成电容器的一个极板，另一测量头构成电容器的一个极板，另一个极板是物体本身，当物体移向接近个极板是物体本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化状态也随之发生变化.接近开关的检接近开关的检测物体，并不限于金属导体，也可以测物体，并不限于金属导体，也可以是绝缘的液体或粉状物体。是绝缘的液体或粉状物体。4.4电容式传感器电容式传感器第74页，共74页，编辑于2022年，星期三