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1、第2章集成电路中的晶体管及其寄生效应1第1页，共138页，编辑于2022年，星期一2.1 BJT的模型的模型器件模型把器件的物理参数与器件的端特性相联系数学描述器件模型把器件的物理参数与器件的端特性相联系数学描述设计器件设计器件设计电路设计电路BJT模型分类模型分类模型的精度和复杂度模型的精度和复杂度直流模型（大信号）直流模型（大信号）交流模型（小信号）交流模型（小信号）瞬态模型（突变信号）瞬态模型（突变信号）EM模型模型（Ebers-Moll model)GP模型模型 （CummelPoon model）电荷控制模型电荷控制模型2第2页，共138页，编辑于2022年，星期一 p-n结二极管的
2、分析和模拟是双极结型晶体管（BJT）原理和模拟的基础。BJT是由两个背靠背的p-n结，并由一个半导体薄区串联而成的。在发射结处于正向偏压（低阻抗），而集电极处于反向偏压（高阻抗）下，由发射结注入的少子电流几乎全部输运到集电结，使器件具有放大作用。当器件状态处于有源区时，就有功率增益。NPN双极型晶体管示意图3第3页，共138页，编辑于2022年，星期一 NPN BJT是两个半导体晶体的n型区由中间的p型区耦合起来的；而PNP BJT是两个p型区由中间的n型区耦合起来的。实际上，所有三个区域都是半导体单晶的一部分。在这种器件中，电流的描述涉及空穴和电子的运动，所以称作为双极型晶体管。4第4页，共
3、138页，编辑于2022年，星期一2.1.1 集成集成NPNNPN晶体管的结构晶体管的结构E(N+)B(P)C(N)NPNS(P)PNP平平面面图图P-SubN-epiP+P+PN+N+CEB剖剖面面图图EBCSN+PNP等等效效结结构构图图等等效效电电路路图图5第5页，共138页，编辑于2022年，星期一Ebers and Moll 晶体管方程晶体管方程 为了更容易地分析含有BJT的电子电路，通常将BJT模拟为二端电路元件。用二个电流和二个电压足以能分析BJT的工作原理，这里将BJT模拟为黑匣子（black box）。NPN晶体管的共基极连接如图所示，图中表示输入电流IE和电压VBE，以及输
4、出电流IC和电压VBC。BJT可以看作二个耦合的二极管，其电流-电压方程与二极管的电流-电压方程相类似。事实上，这些方程可为：NPN晶体管的共基极连接，晶体管的共基极连接，晶体管表示黑匣子晶体管表示黑匣子式中Aij为晶体管内部设计系数（耦合系数）。这里输入电流IE和输出电流IC用输入电压VBE和输出电压VBC表征。6第6页，共138页，编辑于2022年，星期一 加上Kirchoff定律规定的二个方程：构成四个方程。假如Aij确定的话，四个方程中还有6个未知的电流和电压参数。如果给出二个电流或电压值，其它四个电流与电压值就可确定。这四个公式对于晶体管模拟是非常有用的，尤其是在计算机辅助电路分析中
5、，而且并不仅仅限制在低水平注入条件。这些方程通常称为Ebers-Moll方程。7第7页，共138页，编辑于2022年，星期一 EM模型模型（Ebers and Moll，1954）最简单的模型最简单的模型1、基本模型、基本模型由两个背靠背的二极管和两个电流源组成由两个背靠背的二极管和两个电流源组成假设正反向电流相互独立，在大注入时不适用假设正反向电流相互独立，在大注入时不适用模型参数：模型参数：IFO，IRO四个参数中只有三个是独四个参数中只有三个是独立变量立变量8第8页，共138页，编辑于2022年，星期一2、改进的、改进的EM模型模型计入了串联电阻、耗尽电容、并用电流源描述计入了串联电阻、
6、耗尽电容、并用电流源描述early效应效应9第9页，共138页，编辑于2022年，星期一10第10页，共138页，编辑于2022年，星期一11第11页，共138页，编辑于2022年，星期一2.2 集成双极晶体管的有源寄生效应集成双极晶体管的有源寄生效应 双极型逻辑双极型逻辑IC中，广泛使用的有源器件是中，广泛使用的有源器件是NPN管，二极管可利用不同的晶体管或单独的管，二极管可利用不同的晶体管或单独的pn结制得，设计时要考虑：结制得，设计时要考虑：芯片利用率和寄生芯片利用率和寄生效应。效应。有源寄生效应影响集成电路的直流特性和瞬态有源寄生效应影响集成电路的直流特性和瞬态特性，是极其有害的；而无
7、源寄生仅影响电路的瞬特性，是极其有害的；而无源寄生仅影响电路的瞬态特性。态特性。12第12页，共138页，编辑于2022年，星期一分离双极型分离双极型NPN晶体管（晶体管（BJT）的结构）的结构低阻衬底低阻衬底N+外延层外延层(集电区)EBBC基基区区发发射射区区CPn+Nepi双极晶体管包括双极晶体管包括NPN管和管和PNP管，而集成双极晶体管是以管，而集成双极晶体管是以NPN管为主。管为主。13第13页，共138页，编辑于2022年，星期一 集成电路中的元件都做在同一衬底上，因此，集成电路中的元件都做在同一衬底上，因此，其结构与分离器件有很大的不同。所谓其结构与分离器件有很大的不同。所谓理
8、想本理想本征集成征集成双极型双极型晶体管晶体管，是指在对其进行分析时，是指在对其进行分析时，不考虑寄生效应不考虑寄生效应。实际实际IC中的晶体管结构，具有系列多维效应。中的晶体管结构，具有系列多维效应。但在近似分析其直流特性时，可简化为一维结构。但在近似分析其直流特性时，可简化为一维结构。14第14页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPN的结构与寄生效应的结构与寄生效应 为了在一个基片上制造出多个器件，为了在一个基片上制造出多个器件，必须采用隔离措施，必须采用隔离措施，pn结隔离是一种常用结隔离是一种常用的工艺。在的工艺。在pn结隔离工艺中，典型结隔离工艺中，典型NPN集集成晶体
9、管的结构是四层三结构，即成晶体管的结构是四层三结构，即NPN管管的高浓度的高浓度n型扩散发射区型扩散发射区-NPN管的管的p型扩散型扩散基区基区-n型外延层（型外延层（NPN管的集电区）管的集电区）-p型型衬底四层，以及四层之间的三个衬底四层，以及四层之间的三个pn结这样结这样的工艺结构。的工艺结构。15第15页，共138页，编辑于2022年，星期一 图图2.1 NPN晶体管的晶体管的结结构示意构示意图图IEIBICI1I2I3IS16第16页，共138页，编辑于2022年，星期一 由于存在寄生由于存在寄生PNP晶体管，因此与分立晶体管有很晶体管，因此与分立晶体管有很大的差别。实际的集成电路中
10、，大的差别。实际的集成电路中，衬底始终结最负电位衬底始终结最负电位，以保证各隔离岛之间的电绝缘，所以寄生以保证各隔离岛之间的电绝缘，所以寄生PNP不会严不会严重影响集成电路的正常工作。重影响集成电路的正常工作。模拟模拟IC中，中，NPN:截止区和正向工作区截止区和正向工作区寄生寄生PNP发发射结是反偏的；射结是反偏的；数字数字IC中，中，NPN:饱和或反向工作状态饱和或反向工作状态寄生寄生PNP处于正向工作区。所以处于正向工作区。所以对数字集成电路来说，对数字集成电路来说，减小寄生减小寄生PNP管的影响显得特别重要管的影响显得特别重要。17第17页，共138页，编辑于2022年，星期一 集成集
11、成NPN管的寄生效应管的寄生效应Ccsrcs寄生寄生PNP管管BC结结rcsCcs寄生寄生PNP管管EB结结18第18页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPN管的管的有源寄生效应有源寄生效应 四层三结结构四层三结结构：典型集成晶体管的四层三结结构：典型集成晶体管的四层三结结构-指指NPN管的高浓度管的高浓度n型扩散发射区型扩散发射区N+-NPN管的管的p型扩散基区型扩散基区-n型外型外延层（延层（NPN管的集电区）管的集电区）nepi（epitaxial 外延的）外延的）-p型型衬底四层衬底四层p-Si，以及四层之间的三个，以及四层之间的三个pn结这样的工艺结结这样的工艺结构构E
12、B（EmitterBase）结）结、BC（Base-Collector）结、）结、CS结（结（Collector-Substrate）。寄生寄生PNP管处于放大区的三个条件：管处于放大区的三个条件：(1)EB结正偏（即结正偏（即NPN管的管的BC 结正偏）结正偏）(2)BC结反偏（即结反偏（即NPN管的管的CS 结反偏）结反偏）(3)具有一定的电流放大能力（一般具有一定的电流放大能力（一般 pnp=13）其中，条件其中，条件(2)永远成立，因为永远成立，因为pn结隔离就是要求衬底结隔离就是要求衬底P+隔离环接到最低电位。条件隔离环接到最低电位。条件(3)一般也很容易达到。条件一般也很容易达到。
13、条件(1)能否满足则取决于能否满足则取决于NPN管的工作状态。管的工作状态。19第19页，共138页，编辑于2022年，星期一20第20页，共138页，编辑于2022年，星期一NPN管工作于截止区管工作于截止区VBE(npn)0VBC(npn)0 VEB(pnp)0 VBC(pnp)0寄生PNP 管截止NPN管工作于放大区管工作于放大区VBE(npn)0VBC(npn)0 VEB(pnp)0 VBC(pnp)0寄生PNP管截止21第21页，共138页，编辑于2022年，星期一NPN管工作于饱和区管工作于饱和区VBE(npn)0VBC(npn)0 VEB(pnp)0VCS(npn)0 VBC(p
14、np)0寄生寄生PNP管处于管处于 放大区放大区NPN管工作于反向工作区管工作于反向工作区VBE(npn)0 VEB(pnp)0VCS(npn)0 VBC(pnp)0寄生寄生PNP管处于管处于放大区放大区22第22页，共138页，编辑于2022年，星期一基本概念 1 埋层的上反扩散埋层的上反扩散-在工艺制造过程中的各高温条件下，在浓度梯度的作用下，高浓度的n型埋层向低浓度的n型外延层的扩散。2 埋层的下反扩散埋层的下反扩散-在工艺制造过程中的各高温条件下，在浓度梯度的作用下，高浓度的n型埋层向低浓度的p型衬底的扩散。3 典型集成电阻的三层二结结构集成电阻的三层二结结构-指p型扩散电阻区-n型外
15、延层-p型衬底三层，以及三层之间的两个pn结这样的工艺结构。4典型集成晶体管的四层三结结构集成晶体管的四层三结结构-指npn管的高浓度n型扩散发射区-npn管的p型扩散基区-n型外延层（npn管的集电区）-p型衬底四层，以及四层之间的三个pn结这样的工艺结构。5 有源寄生有源寄生-存在寄生晶体管的现象，可为寄生pnp管（衬底参与构成的pnp管），也可为寄生npn管（多发射极输入晶体管各发射区与基区构成的npn管）。6无源寄生-存在寄生元件的现象，可为寄生电容，也可为寄生电阻。23第23页，共138页，编辑于2022年，星期一寄生PNP工作状态与NPN工作状态的关系24第24页，共138页，编辑
16、于2022年，星期一 抑制有源寄生效应的措施：抑制有源寄生效应的措施：（1）在）在NPN集电区下加设集电区下加设n+埋层埋层，埋层的作用有两个，埋层的作用有两个，其一，其一，埋层的下反扩散导致埋层的下反扩散导致增加寄生增加寄生PNP管的基区宽度，管的基区宽度，使使非平衡少数载流子非平衡少数载流子在基区的复合电流增加，降低基区电在基区的复合电流增加，降低基区电流放大系数流放大系数 pnp；其二其二，埋层的，埋层的n+上反扩散导致上反扩散导致寄生寄生 PNP管基区掺杂浓度增大，基区方块电阻减小，由晶体管原管基区掺杂浓度增大，基区方块电阻减小，由晶体管原理可知，这将导致发射效率下降从而使理可知，这将
17、导致发射效率下降从而使寄生寄生 PNP管电流放管电流放大系数降低，还可降低大系数降低，还可降低rcs。综上所述，各作用的结果使。综上所述，各作用的结果使寄生寄生PNP管的电流放大系数降至管的电流放大系数降至0.01以下，则有源寄生以下，则有源寄生转变为无源寄生，仅体现为势垒电容的性质。转变为无源寄生，仅体现为势垒电容的性质。25第25页，共138页，编辑于2022年，星期一（2）可采用外延层掺金工艺，引入深能级）可采用外延层掺金工艺，引入深能级杂质，降低少子寿命，从而降低杂质，降低少子寿命，从而降低 。掺金工艺是在掺金工艺是在NPN管集电区掺金（相当于管集电区掺金（相当于在在PNP管基区掺金）
18、。掺金的作用，使管基区掺金）。掺金的作用，使PNP管基区中高复合中心数增加，少数载管基区中高复合中心数增加，少数载流子在基区复合加剧，由于非平衡少数载流子在基区复合加剧，由于非平衡少数载流子不可能到达集电区从而使寄生流子不可能到达集电区从而使寄生PNP管管电流放大系数大大降低。电流放大系数大大降低。（3）还应注意，）还应注意，NPN管基区侧壁到管基区侧壁到P+隔离隔离环之间也会形成横向环之间也会形成横向PNP管，必须使管，必须使NPN管基区外侧和隔离框保持足够距离。管基区外侧和隔离框保持足够距离。26第26页，共138页，编辑于2022年，星期一27第27页，共138页，编辑于2022年，星期
19、一由图由图2-3可归纳出集成可归纳出集成NPN管的无源寄生效应包括管的无源寄生效应包括寄生电阻寄生电阻 res（13），），rcs（加埋层，磷穿透工艺），（加埋层，磷穿透工艺），rb和寄和寄生电容：生电容：CD 扩散电容，扩散电容，CJ 势垒电容（势垒电容（CBE，CBC，CCS），），Cpad 焊盘电容焊盘电容 2.3 集成双极晶体管的无源寄生效应集成双极晶体管的无源寄生效应CCS2CCS22-328第28页，共138页，编辑于2022年，星期一集成双极晶体管的无源寄生效应集成双极晶体管的无源寄生效应电电荷存荷存储储效效应应无源寄生效无源寄生效应应 欧姆体电阻欧姆体电阻C CjcjcC Cj
20、cjc电电荷存荷存储储效效应应29第29页，共138页，编辑于2022年，星期一2.3.1集成NPN晶体管中的寄生电阻1发射极串联电阻rES发射极串联电阻由发射极金属和硅的接触电阻rE,c与发射区的体电阻rE,b两部分组成：rES rE,c rE,b rE,c=SE为发射极接触孔的面积；RC为硅与发射极金属的欧姆接触系数。30第30页，共138页，编辑于2022年，星期一2集电极串联电阻rcs 因为集成晶体管的集电极是从表面引出的，所以集成晶体管的集电极串联电阻rcs大于分立晶体管的集电极串联电阻。由图2.3可见，如果忽略引出端N接触区的接触电阻和体电阻，则 rcs rc1 rc2 rc3 3
21、1第31页，共138页，编辑于2022年，星期一32第32页，共138页，编辑于2022年，星期一rC2的计算：rC3的计算：33第33页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管的无源寄生效应晶体管的无源寄生效应 集电极集电极寄生电阻寄生电阻增加增加n+埋埋层、穿透层、穿透磷扩散、磷扩散、薄外延等薄外延等措施可有措施可有效地减小效地减小集电极串集电极串联电阻联电阻 R1=epi*hclc*wc R5=epi*hble*we R2=wclc*R BL*13 R4=wele*R BL*13 R3=R BL*dce(lc+le)/234第34页，共138页，编辑于2022年，
22、星期一 附：拐角薄层电阻的计算公式推导附：拐角薄层电阻的计算公式推导 dV(X)=I(X)*R*dxWWLII(X)X0ILx I(X)=IL*XReff=R*13LW P=I(X)*dV(X)0L=R *()2*X2*0LILdxW =R *I213LW=Reff*I235第35页，共138页，编辑于2022年，星期一减小rcs的方法在工艺设计上，采用加埋层的方法以减小rcs，在满足工作电压的要求情况下减小外延层电阻率和厚度，采用深N+集电扩散。在版图设计上，电极顺序采用BEC排列来减小LE-C，以减小rc2，采用双集电极或马蹄形集电极减小rc2，但芯片面积及寄生电容增大了。采用磷穿采用磷穿
23、透工艺可透工艺可进一步降进一步降低低 rcs36第36页，共138页，编辑于2022年，星期一双基极双集电极形双基极双集电极形与双基极条形相比：与双基极条形相比：集电极串联电阻小集电极串联电阻小面积大面积大寄生电容大寄生电容大N-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+N+C37第37页，共138页，编辑于2022年，星期一马蹄形马蹄形电流容量大电流容量大集电极串联电阻小集电极串联电阻小基极串联电阻小基极串联电阻小面积大面积大寄生电容大寄生电容大38第38页，共138页，编辑于2022年，星期一集成电路中的无源寄生将影响集成电路的瞬态特性，而无源寄生元件主要是寄生结电容；寄生电容的分类：
24、与PN结有关的耗尽层势垒电容Cj；与可动载流子在中性区的存储电荷有关的扩散电容CD；电极引线的延伸电极电容Cpad。2.3.2 集成集成NPN晶体管中的寄生电容晶体管中的寄生电容39第39页，共138页，编辑于2022年，星期一pn结电容的大小的影响因素：与pn结的结构和所处的状态有关，即与pn结上所加的偏压有关；与pn结的面积有关；与pn结面是侧面还是底面有关；在计算pn结的面积时，注意其侧面积为四分之一圆柱面积，由于扩散形成电性区时存在横向扩散所致；因此，在考虑计算寄生结电容时，必须和pn 结的实际结构结合起来，还必须和pn 结在某个瞬态过程中实际电性状态变化结合起来。40第40页，共13
25、8页，编辑于2022年，星期一 杂质横向扩散示意图杂质横向扩散示意图柱面柱面平面平面球面球面xJxJScSc横向扩展宽度横向扩展宽度=0.8xj立体图立体图剖面图剖面图势垒41第41页，共138页，编辑于2022年，星期一2.3.3 集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶体管常用图形及特点（1）单基极条形）单基极条形结构简单、面积小结构简单、面积小寄生电容小寄生电容小电流容量小电流容量小基极串联电阻大基极串联电阻大集电极串联电阻大集电极串联电阻大P-SubN-epiP+P+PN+N+CEB42第42页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶体管常用图
26、形及特点（2）双基极条形）双基极条形与单基极条形相比：与单基极条形相比：基极串联电阻小基极串联电阻小电流容量大电流容量大面积大面积大寄生电容大寄生电容大N-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+43第43页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶体管常用图形及特点（3）双基极双集电极形）双基极双集电极形与双基极条形相比：与双基极条形相比：集电极串联电阻小集电极串联电阻小面积大面积大寄生电容大寄生电容大N-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+N+C44第44页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶
27、体管常用图形及特点（4）双射极双集电极形）双射极双集电极形与双基极双与双基极双集电极集电极形形相比：相比：集电极串联电阻小集电极串联电阻小面积大面积大寄生电容大寄生电容大N-epiP+PN+N+CP-SubP+N+N+CBN+EE45第45页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶体管常用图形及特点（5）马蹄形）马蹄形电流容量大电流容量大集电极串联电阻小集电极串联电阻小基极串联电阻小基极串联电阻小面积大面积大寄生电容大寄生电容大46第46页，共138页，编辑于2022年，星期一集成集成NPNNPN晶体管常用图形及特点晶体管常用图形及特点（6）梳状）梳状4
28、7第47页，共138页，编辑于2022年，星期一2.4 集成电路中的集成电路中的PNP管管横向横向PNP管、纵向管、纵向PNP管的结构与特点管的结构与特点横向横向PNP管管多集电极横向PNP管衬底衬底PNP管管48第48页，共138页，编辑于2022年，星期一一、横向一、横向PNP管、纵向管、纵向PNP管的结构与特点管的结构与特点 由于模拟集成电路中要应用NPN-PNP互补设计以及某些偏置电路极性的要求，需要引入PNP结构的晶体管。1、结构：图A 示出集成电路中的两种PNP型管。其中，横向PNP管广泛应用于有源负载、电平位移等电路中。2、特点：制作可与普通的 NPN管同时进行，不需附加工序；中
29、心 p型发射区和外围 p型区是与普通NPN管基区淡硼扩散同时完成的，而基区即为外延层；在横向PNP管中，发射区注入的少子（空穴）在基区中流动的方向与衬底平行，故称为横向 PNP管。49第49页，共138页，编辑于2022年，星期一图图A 集成电路中的PNP型晶体管50第50页，共138页，编辑于2022年，星期一二、横向二、横向PNP管管 Lateral PNP transistor 小小 BVEBO高高频频率响率响应应差差临临界界电电流流小小51第51页，共138页，编辑于2022年，星期一7452第52页，共138页，编辑于2022年，星期一+-53第53页，共138页，编辑于2022年，
30、星期一54第54页，共138页，编辑于2022年，星期一横向横向PNP晶体管的晶体管的主要特点：主要特点：BVEBO高高，主要是由于xjc深，epi高之故。电流放大系数电流放大系数 小小，主要原因：由于工艺限制，基区宽度不可能太小；纵向寄生PNP管将分掉部分的发射区注入电流，只有侧壁注入的载流子才对横向PNP管的 有贡献；基区均匀掺杂，无内建加速电场，主要是扩散运动；基区的表面复合作用。55第55页，共138页，编辑于2022年，星期一 频率响应差频率响应差 平均有效基区宽度大，基区渡越时间长；空穴的扩散系数仅为电子的1/3；发生大注入时的发生大注入时的临界电流小临界电流小 横向PNP的基区宽
31、度大，外延层Nepi低，空穴扩散系数低。56第56页，共138页，编辑于2022年，星期一三、多集电极横向PNP管57第57页，共138页，编辑于2022年，星期一公共的公共的基极基极BC58第58页，共138页，编辑于2022年，星期一 四、衬底四、衬底PNP管管Substrate PNP transistor (纵向纵向PNP管管)纵向PNP管其结构如图2.18所示。它以P型衬底作集电区，集电极从浓硼隔离槽引出。N型外延层作基区，用硼扩散作发射区。由于其集电极与衬底相通，在电路中总是接在最低电位处，这使它的使用场合受到了限制，在运放中通常只能作为输出级或输出缓冲级使用。59第59页，共13
32、8页，编辑于2022年，星期一图图2.18 纵向纵向PNP管（衬底管（衬底PNP晶体管）晶体管）60第60页，共138页，编辑于2022年，星期一衬底衬底 PNP此图有误，不应有埋层此图有误，不应有埋层61第61页，共138页，编辑于2022年，星期一 纵向纵向PNPPNP管主要特点：管主要特点：纵向PNP管的C区为整个电路的公共衬底，直接最负电位，交流接地。使用范围有限，只能用作集电极接最负电位的射极跟随器；晶体管作用发生在纵向，各结面较平坦，发射区面积可以做得较大，工作电流比横向PNP大；因为衬底作集电区，所以不存在有源寄生效应，故可以不用埋层。62第62页，共138页，编辑于2022年，
33、星期一外延层作基区，基区宽度较大，且硼扩散p型发射区的方块电阻较大，因此基区输运系数和发射效率较低，电流增益较低。由于一般外延层电阻率epi较大，使基区串联电阻较大。可采取E、B短接的方式，使外基区电阻=0，同时减小了自偏置效应，抑制趋边效应，改善电流特性；E、B短接还有助于减少表面复合的影响，提高电流增益。63第63页，共138页，编辑于2022年，星期一 提高衬底提高衬底PNP管电流增益的措施管电流增益的措施 降低基区材料的缺陷，减少复合中心数目，提高基区少子提高基区少子 寿寿命命；适当减薄基区宽度，采用薄外延材料适当减薄基区宽度，采用薄外延材料。但同时应注意注意注意注意，一 般衬底PNP
34、管与普通的NPN管做在同一芯片上，PNP基区对应NPN管的集电区，外延过薄，将导致NPN管集电区在较低反向集电结偏压下完全耗尽而穿通；适当提高外延层电阻率，降低发射区硼扩散薄层电阻适当提高外延层电阻率，降低发射区硼扩散薄层电阻，以 提高发射结注入效率；在衬底和外延层之间加在衬底和外延层之间加p+埋层，形成少子加速场埋层，形成少子加速场，增加 值。注意在纵向PNP管中不能加n+埋层，这样将形成少子 减速场，降低值；64第64页，共138页，编辑于2022年，星期一衬底衬底 PNP埋层埋层外延外延P型基区型基区65第65页，共138页，编辑于2022年，星期一 2.5 集成二极管集成二极管 在IC
35、中，集成二极管的结构除单独的BC结外，通常由晶体管的不同连接方式而构成多种形式，并不增加IC工序，而且可以使二极管的特性多样化，以满足不同电路的需要。集成二极管可采用的几种常见版图结构，即基极集电极短路二极管结构、集电极发射极短路二极管结构、基极发射极短路二极管结构、集电极悬空二极管结构、发射极悬空二极管结构和单独二极管结构 66第66页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 1.B-C短接短接VF=VBEFBV=BVBECj=Ce Cp=Cc无寄生无寄生PNP管效应管效应P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC67第67页，共138页，编辑于2022
36、年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 2.B-E短接短接VF=VBCFBV=BVBCCj=Cc Cp=Cs有寄生有寄生PNP管效应管效应P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC68第68页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 3.C-E短接短接VF=VBCFBV=BVBECj=Cc+Ce Cp=Cs有寄生有寄生PNP管效应管效应P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC69第69页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 4.C开路开路VF=VBEFBV=BVBECj=Ce Cp=Cc*Cs/(Cc+
37、Cs）有寄生有寄生PNP管管P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC70第70页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 5.E开路开路VF=VBCFBV=BVBCCj=Cc Cp=Cs有寄生有寄生PNP管管P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC71第71页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管 6.单独单独BC结结VF=VBCFBV=BVBCCj=Cc Cp=Cs有寄生有寄生PNP管管P-SubN-epiP+P+PN+BC72第72页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.1一般集成二极管一般集成二极管
38、 7.单独单独SC结结VF=VSCFBV=BVSCCj=Cs Cp=0无寄生无寄生PNP管管N-epiP+P+N+CP-Sub73第73页，共138页，编辑于2022年，星期一 表表2.2 六种集成二极管的特性比较六种集成二极管的特性比较74第74页，共138页，编辑于2022年，星期一最重要的两类集成二极管BC短接二极管，因为没有寄生PNP效应，且存储时间最短，正向压降低，常用于DTL电路的输入端门二极管，还用于输入端的保护二极管；单独BC结二极管，因为不需要发射结，所以面积可以做得很小，结电容小，开关时间短，正向压降也低，且击穿电压高。75第75页，共138页，编辑于2022年，星期一B-
39、C短接短接VF=VBEFBV=BVBECj=Ce Cp=Cc无寄生无寄生PNP管效应管效应P-SubN-epiP+P+PN+N+EBC76第76页，共138页，编辑于2022年，星期一单独单独BC结结VF=VBCFBV=BVBCCj=Cc Cp=Cs有寄生有寄生PNP管管P-SubN-epiP+P+PN+BC77第77页，共138页，编辑于2022年，星期一2.5.2 集成齐纳二极管集成齐纳二极管1.集成齐纳二极管 集成电路巾的齐纳二极管一般是反向工作的BC短接二极管，因此与制作一般NPN管的工艺兼容。利用一般工艺可获得的VzBVEBO约为69V。这种结构的齐纳二极管有以下一些缺点：具有较大的
40、正温度系数，热稳定性差；内阻较大，因而其两端的电压Vz 随电源电压和负载电流的变化也大；Vz 的离散性大，由于Vz 由多次扩散决定，所以Vz的精确控制较困难，一般NPN管的BVEBO 的容差在土200mV；输出噪声电压较大。因为击穿主要发生在Si表面，所以受表面的影响大。78第78页，共138页，编辑于2022年，星期一 2.6 肖特基势垒二极管（肖特基势垒二极管（SBD Schottky-Barrier-Diode)和肖特基箝位晶体管和肖特基箝位晶体管（SCT Schottky clamp transistor）79第79页，共138页，编辑于2022年，星期一 肖特基势垒肖特基势垒 Sch
41、ottkybarrier 金属和半导体接触，也和PN结一样在接触处的半导体表面层内，自然地形成了由半导体中的杂质离子组成的空间电荷层或耗尽层。其中存在的电子或空穴的势垒，叫做肖特基势垒。以金属与N型硅接触为例。N型硅的功函数一般比金属的功函数小。金属与N型硅接触时，电子由硅流入金属，在硅表面层内出现由带正电的杂质离子组成的空间电荷层。其中存在由硅指向金属的电场及电子势垒。在平衡时，势垒高度大到足以阻止电子进一步流向金属，也就是说，越过势垒流入金属的电子流与由金属流入半导体的电子流相等。这个势垒就是肖特基势垒。80第80页，共138页，编辑于2022年，星期一 肖特基势垒和PN结势垒样，也具有随
42、外加电压改变的势垒电容及整流作用。加上正向电压(金属接正)时，耗尽层中电场减小，势垒降低，结果出现了由硅流向金属的净电子流。外加电压反向时，耗尽层中的电场及势垒高度和宽度增加，结果出现了由金属流向硅的很小的电子流。所以，肖特基势垒具有整流作用。若硅掺杂很重，则势垒很薄，通过接触的电流主要是隧道电流。这时接触没有整流作用。通过接触的电流基本上是多数载流子电流。81第81页，共138页，编辑于2022年，星期一 PN结导通时，都是少子注入结导通时，都是少子注入 积累积累扩散形成电流，是一扩散形成电流，是一种电荷存贮效应，严重影响了种电荷存贮效应，严重影响了PN结的高频特性。结的高频特性。而而SBD
43、导通时，导通时，主要靠半导体多子，是多子器件，高频特性好。主要靠半导体多子，是多子器件，高频特性好。对于相同的势垒高度，对于相同的势垒高度，SBD的的JSD（扩散理论饱和电流密度）（扩散理论饱和电流密度）或或JST（热电子发射理论饱和电流密度）要比（热电子发射理论饱和电流密度）要比PN结的反向饱结的反向饱和电流和电流密度密度JS大得多，即：对于相同的正向电流，大得多，即：对于相同的正向电流，SBD的正向的正向导通压降较低，一般导通压降较低，一般Si为为0.3V，Ge为为 0.2V。SBD与与PN结二极管的比较结二极管的比较82第82页，共138页，编辑于2022年，星期一根据根据M-S接触理论
44、，理想情况下接触理论，理想情况下 WMWS，金属与，金属与n型半导体接触形成阻挡层。型半导体接触形成阻挡层。WMWS，金属与，金属与n型半导体接触形成反阻挡层。型半导体接触形成反阻挡层。WMWS，金属与，金属与p型半导体接触形成反阻挡层。型半导体接触形成反阻挡层。M-S整流接触与欧姆接触的区别整流接触与欧姆接触的区别83第83页，共138页，编辑于2022年，星期一 但实际情况，由于但实际情况，由于Si，Ge，GaAs等常用半导体材料等常用半导体材料都有很高的表面态密度，不管都有很高的表面态密度，不管n型还是型还是p型都形成阻挡层。型都形成阻挡层。所以，实际的欧姆接触是所以，实际的欧姆接触是利
45、用隧道效应制成利用隧道效应制成的。的。对半导体进行重掺杂，势垒宽度很薄，载流子对半导体进行重掺杂，势垒宽度很薄，载流子可以通过隧穿效应贯穿势垒形成大的隧道电流，当可以通过隧穿效应贯穿势垒形成大的隧道电流，当其超过热电子发射电流成为主导时，接触电阻很小其超过热电子发射电流成为主导时，接触电阻很小 欧姆接触。欧姆接触。84第84页，共138页，编辑于2022年，星期一SBD在在TTL中起到的嵌位作用中起到的嵌位作用 肖特基势垒二极管（SBD）具有可用于改善集成电路三个特点，即正向压降低、开关时间短和反向击穿电压高。由于TTL集成电路在提高电路速度时存在矛盾，即要想减少电路导通延迟时间，可以通过加大
46、输出管的基极驱动电流来实现，这势必使输出管在电路导通态的饱和深度增加，输出管的基区和集电区的超量存储电荷增加，在电路截止是加大了截止延迟时间；肖特基势垒二极管与可能饱和的晶体管集电结正向并接，由于SBD正向压降低的特点，是晶体管的饱和深度不能太深，从而有效的提高了电路速度。85第85页，共138页，编辑于2022年，星期一一般采用一般采用PtSi-Ti/W-Al多层金属薄膜系统。其中：多层金属薄膜系统。其中：Pt-Si构成构成SBD Ti/W阻止阻止Al与与Si相互扩散相互扩散 Ti(10%)改善了金属对改善了金属对SiO2的粘附性和的粘附性和抗腐蚀性。抗腐蚀性。SBD的金属化系统的金属化系统
47、86第86页，共138页，编辑于2022年，星期一87第87页，共138页，编辑于2022年，星期一2.6.2 肖特基箝位晶体管肖特基箝位晶体管 88第88页，共138页，编辑于2022年，星期一PtSi89第89页，共138页，编辑于2022年，星期一90第90页，共138页，编辑于2022年，星期一2.6.3 SBD和和SCT的设计的设计 91第91页，共138页，编辑于2022年，星期一2.7 MOS集成电路中的有源寄生效应集成电路中的有源寄生效应2.7.1 场区寄生场区寄生MOSFET 由图可见，当互连铝线跨过场氧区B、C两个扩散区时，如果互连铝线电位足够高，可能使场区表面反型，形成寄
48、生沟道，使本不应连通的有源区导通，造成工作电流泄漏，使器件电路性能变差，乃至失效。寄生沟道形成示意图寄生沟道形成示意图 92第92页，共138页，编辑于2022年，星期一 在硅栅MOS电路中，若多晶硅连线设计不当，或由于光刻对准偏差，使多晶硅跨接两个扩散区，而形成以扩散区为源、漏，以多晶硅为栅的另一种场区寄生MOSFET，如图2.26所示。由于铝线下的场氧化层要比多晶硅下的场氧化层厚(因为在多晶硅光刻后还要生长一层氧化层)，所以以多晶硅为栅的场区寄生MOSFET更不能忽视。图图2.2693第93页，共138页，编辑于2022年，星期一 预防措施：预防措施：（1）增厚场氧厚度tOX，使VTH，但
49、需要增长场氧时间，对前部工序有影响，并将造成台阶陡峭，不利于布线。采用等平面工艺可以改善这些影响。（2）对场区进行同型注入，提高衬底浓 度，使VTH。但注意注入剂量不宜过高，以防止某些寄生电容增大，和击穿电压的下降。94第94页，共138页，编辑于2022年，星期一2.7.2 寄生双极型晶体管寄生双极型晶体管 95第95页，共138页，编辑于2022年，星期一2.7.3 寄生寄生PNPN效应效应 闩锁闩锁（Latch-up）效应）效应 寄生寄生PNPN效应又称效应又称 闩锁（闩锁（Latch-up）效应或寄生可控硅（）效应或寄生可控硅（SCR）效应。）效应。补充：补充：什么是晶闸管什么是晶闸管
50、晶体闸流管晶体闸流管（Thyristor），别名：可控硅整流器），别名：可控硅整流器（Silicon Controlled RectifierSCR）96第96页，共138页，编辑于2022年，星期一 1956年美国贝尔实验室（Bell Lab）发明了晶闸管1957年美国通用电气公司（GE）开发出第一只晶闸管产品1958年商业化开辟了电力电子技术迅速发展和广泛应用的崭新时代，它的出现使半导体器件由弱电领域扩展到强电领域。20世纪80年代以来，开始被性能更好的全控型器件取代能承受的电压和电流容量最高，工作可靠，在大容量的场合具有重要地位晶闸管往往专指晶闸管的一种基本类型普通晶闸管广义上讲，晶闸管