无尘室常识以及管理.ppt

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1、DOTDOT关于无尘室常识及管理第一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT一、无尘室常识一、无尘室常识v本节重点：本节重点：1、理解无尘室定义、理解无尘室定义2、熟悉相关术语、熟悉相关术语3、认识洁净度等级标准、认识洁净度等级标准第二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1、无尘室定义、无尘室定义 无尘室也称为洁净室无尘室也称为洁净室(CleanRoom)：是指能将一定空间范围内之空气中的悬浮微粒、细菌等污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、压力、气流速度及静电等影响生产之环境因素控制在某一设计需求范围内，而给予特别设计的房间。重点：重点：不论外面空气条件如何变

2、化，其室内均能具有维不论外面空气条件如何变化，其室内均能具有维持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素持所设定的洁净度、温湿度及压力等生产所需环境因素性能的特性。性能的特性。第三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2、按功能、按功能分类分类：vA.工业洁净室工业洁净室(IndustrialCleanRoom,ICR)以无生命微粒的控制作为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染，内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业（半导体、集成电路等）宇航工业、原子能工业、光磁产品工业（光盘、胶片、磁带生产）LCD（液晶玻璃）、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。vB.

3、生物洁净室生物洁净室(BiologicalCleanRoom,BCR)除ICR的要求外，以过滤或杀菌方式对生物粒子也加以控制的空间。如医学、药物、食品及生物实验等。第四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT3、按空气流向、按空气流向分类分类：v无尘室不同于一般空调房间，其主要目的是无尘室不同于一般空调房间，其主要目的是供给足量的清洁空气，排替、稀释室内所产供给足量的清洁空气，排替、稀释室内所产生的污染物质，使室内洁净度满足要求。按生的污染物质，使室内洁净度满足要求。按空气流向分类：空气流向分类：A.乱流型乱流型B.层流型层流型第五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOT

4、DOTA、乱流无尘室、乱流无尘室第六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT优点：1.构造简单。2.设备费用低。3.隔间的扩充比较容。4.在加用无尘台则可确保高洁净。缺点：1.由于是乱，污染子有可能在室内循环。2.人员及机器的配置及管需注意。3.到稳定态需要一段时间。乱流无尘室的优、缺点乱流无尘室的优、缺点第七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT层式空气气运动成一均匀之直线，空气由覆盖百分之百之过器进入室内。并由高架地板或侧格强板回风，此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1100。此型分为二种：水平层水平层式式垂直层垂直层式式B

5、、层流无尘室、层流无尘室第八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOTB-1、水平层流无尘室、水平层流无尘室第九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOTB-2、垂直层流无尘室、垂直层流无尘室第十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT3、洁净技术的诞生及发展：、洁净技术的诞生及发展：v一切技术的产生与发展，都是出于生产的需要，洁净一切技术的产生与发展，都是出于生产的需要，洁净室技术也不例外。室技术也不例外。在第二次世界大战期间，美国生产的飞机导航用气浮陀罗仪，由于质量不稳定，每10个陀罗仪平均要返工120次。50年代初朝鲜半岛战争期间，美国的16万台电子

6、通讯设备，更换了百万个以上的电子部件，雷达出故障的时间占84%，潜水艇声纳出故障的时间占48%。原因都是电子器件、零部件的可靠性差，质量不稳定。军方与厂商究其原因，最终从多方面判定与生产环境不洁净有关。v到到50年代初，美国原子能委员会为解决对人体有害的放射性尘埃的年代初，美国原子能委员会为解决对人体有害的放射性尘埃的捕集问题，于捕集问题，于1951年研制成功的高效空气过滤器（年研制成功的高效空气过滤器（HEPAHighEfficiencyParticulateAirFilter）应用于生产车间的送风过滤，）应用于生产车间的送风过滤，才真正诞生了具有现代意义的洁净室。才真正诞生了具有现代意义的

7、洁净室。第十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT12 4、相关术语v悬浮微粒悬浮微粒：一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒，其粒径尺寸范围约在其粒径尺寸范围约在0.15m之间。之间。v洁净度洁净度：用以表示单位体积空间内空气中所含微粒大小用以表示单位体积空间内空气中所含微粒大小及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。及数量的多少，是区分空间洁净程度的标准。v气闸室气闸室：设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。气流和压差控制而设置的缓冲间。第十二张，PPT共九十五页，创作于2

8、022年6月DOTDOT13v风淋室：风淋室：气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对气闸室的一种，通过安装风机、过滤网及控制系统等对入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。入室人员进行周身吹扫通道，它是减少外来污染的有效途径之一。v洁净工作服洁净工作服：为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。使用的发尘量少的洁净服装。v高效空气过滤器高效空气过滤器HEPA：在额定风量下，对粒径大于等于在额定风量下，对粒径大于等于0.3m粒子的捕集效率在粒子的捕集效率在99.99%以上及气流阻力在以上及气流阻力在250Pa

9、以下的空气以下的空气过滤器。过滤器。v超高效空气过滤器超高效空气过滤器：在额定风量下，对粒径在额定风量下，对粒径0.10.2m粒粒子的捕集效率在子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在以上及气流阻力在280Pa以下的空气过以下的空气过滤器。滤器。第十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT14v换气次数：换气次数：换气次数换气次数=房间送风量房间送风量/房间体积，单位是次房间体积，单位是次/小时。作为设计洁净室送风量的估算值：小时。作为设计洁净室送风量的估算值：静压差：静压差：为为避免洁净室内的洁净度受邻室的污染，或避免洁净室内的洁净度受邻室的污染，或污染邻室，洁净度不同的

10、洁净室之间，污染邻室，洁净度不同的洁净室之间，洁洁净室与一般房间之间要保持适当的静压差，净室与一般房间之间要保持适当的静压差，静压差不得小于静压差不得小于5Pa。与室外的压差应不小。与室外的压差应不小于于10Pa。第十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT洁净度与换气次数的关系洁净度与换气次数的关系洁净度洁净度换气次数（次换气次数（次/小时）小时）100000252510000353510004040100级级按送风截面风速按送风截面风速0.2-0.45m/s计算送风量计算送风量第十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT16通常无尘通常无尘室均室均需需維持正

11、維持正压压以防止以防止外部外部污染污染流入流入,并有利于内并有利于内部微尘的排出部微尘的排出。正压值一般遵循以下两条设计：正压值一般遵循以下两条设计：1 1、不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压、不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差，应不小于差，应不小于5Pa5Pa；2 2、洁净厂房室内与室外的压差应不小于、洁净厂房室内与室外的压差应不小于10Pa10Pa，一般为，一般为1020Pa1020Pa。(1Pa=1N/m2)正正压压Class1KP1+10PaClass10KP1+5Pa+P1=P+1020PaPCR外界外界第十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDO

12、Tv新风量：新风量：是指不从空调系统进入的，而是从门窗进入的是指不从空调系统进入的，而是从门窗进入的空气总量。新风量是衡量室内空气质量的一个重要标准。空气总量。新风量是衡量室内空气质量的一个重要标准。v新风量不足的危害：新风量不足的危害：长期处于新风量不足的室内易患长期处于新风量不足的室内易患“室内综合症室内综合症”，出现头痛、胸闷、易疲劳的症状，出现头痛、胸闷、易疲劳的症状，还容易引发呼吸系统和神经系统等疾病还容易引发呼吸系统和神经系统等疾病。我国国家标。我国国家标准准GB/T18883-2002规定，新风量不应小于规定，新风量不应小于30m3/h.人。人。v中国是在中国是在2003年发生非

13、典时才开始真正关注新风量的。年发生非典时才开始真正关注新风量的。北京市卫生局对北京北京市卫生局对北京80家公共场所的空气质量进行抽查，家公共场所的空气质量进行抽查，检查结果检查结果90%属于严重污染。属于严重污染。第十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT18v洁净室的新风量应取以下两项中的最大值洁净室的新风量应取以下两项中的最大值:va.补偿室内排气量和保证室内正压值所需空补偿室内排气量和保证室内正压值所需空气量之和。气量之和。vb.保证洁净室工作人员所需的新鲜空气。保证洁净室工作人员所需的新鲜空气。v依据依据每人每小时新风量每人每小时新风量不小于不小于40m3。第十八张，

14、PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT民用建筑新风量标准民用建筑新风量标准第十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT5、空气洁净度标准、空气洁净度标准第二十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOTv以直径以直径0.5微米的尘微米的尘作为比较标作为比较标准，在准，在1方英方英尺尺的空间中的空间中：v大于大于0.5微米的尘微米的尘少于一个，就少于一个，就称为称为Class1。v大于大于0.5微米的尘微米的尘少于十个，就称少于十个，就称为为Class10。v大于大于0.5微米的尘微米的尘少于少于1000个，个，就称为就称为Class1000。v依次类推，依

15、次类推，10000，100000，一般，一般区。区。v1米米=3.28英尺英尺1米米3=35.29英尺英尺35-1、洁净度等级概念、洁净度等级概念1立方英尺立方英尺(0.0283立方米立方米)1英英尺尺(0.3048米米)直径直径0.5um的尘粒最大不超的尘粒最大不超过过10000个个.第二十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT5-2、洁净室分级的意义、洁净室分级的意义Class 1：主要用于制造集成电路的微电子工业，对集成电路的的精度要求为亚微米。Class 10：主要用于带宽小于2微米的半导体工业。Class 100：可用于医药工业的无菌制造工艺；外科手术，包括植入手术

16、；集成电路的制造；对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗，比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗。第二十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOTClass 1000：主要用于高质量光学产品的生产，还用于测试、装配飞机蛇螺仪，装配高质微型轴承等。Class 10000：主要用于液压设备或气压设备的装配；食品饮料工业；医药工业；电子工业。Class 100000：适用于很多工业部门，比如光学产品的制造用较小元器件制造大型的电子系统；液压或气压系统的制造、食品饮料的生产；医药工业也常使用这一级别的洁净室。第二十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT5-3、洁净度等级标准洁净度

17、等级标准1、美国空军技术条令、美国空军技术条令世界上第一个洁净度标准。世界上第一个洁净度标准。1961年年3月问世。月问世。美国联邦标准的基石。美国联邦标准的基石。2、美国联邦标准、美国联邦标准2091963年年12月问世。月问世。0.5m5.0m3、现在标准、现在标准美国联邦标准美国联邦标准FS209E第二十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT洁净度级别Cleanclass粒径ParticlesSize(um)0.10.20.30.55.0135.07.503.001.001035075.030.010.0100750300100100010007.01000010000

18、70.3100000100000700美国联邦标准美国联邦标准209E（1992年）年）第二十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT5-4、中国洁净度等级标准、中国洁净度等级标准中国国家标准中国国家标准GB50073-2001（等同采用国际标准（等同采用国际标准ISO14644-1）特特点点：与与旧旧规规范范相相比比，控控制制粒粒径径2种种增增加加到到6种种；4个个级级别别增增加加到到9个个级级别别。另另，允允许许采采用用整数间的中间级别。整数间的中间级别。第二十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT中国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级中国洁净室及洁净

19、区空气中悬浮粒子洁净度等级空气洁净度等级(N)大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um11022100241043100023710235841000023701020352835100000237001020035208322961000000237000102000352008320293735200083200293083520000832000293009352000008320000293000第二十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT个/M30.5umISO14644-1(1999)US209E(1992

20、)US209D(1988)FRANCEAFNOR(1981)GERMANYVDI2083(1990)JAPANJAOA(1989)1-3.52-0210.0-M1-35.33M1.51-13100-M2-3534M2.510-241,000-M3-3,5305M3.51004,0003510,000-M4-35,3006M4.51,000-46100,000-M5-353,0007M5.510,000400,000571,000,000-M6-3,530,0008M6.5100,0004,000,0006810,000,000-M7-5-5、基于、基于0.5um粒径的各国洁净度等级近似对照表粒

21、径的各国洁净度等级近似对照表第二十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT二二、微粒剖析v本节重点：1、人类生活方面的背景2、PM2.5相关知识3、微粒剖析第二十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1、人类生活方面的背景、人类生活方面的背景v人类发展至今，技术进步、设备进步、知识水平人类发展至今，技术进步、设备进步、知识水平提高，但空气质量却退步了。提高，但空气质量却退步了。v人一生约吸入人一生约吸入27万万M3空气，空气，70%90%90%时间在时间在室内度过。室内度过。v微小颗粒被人体吸入，沉积于呼吸系统。微小颗粒被人体吸入，沉积于呼吸系统。5 530u

22、m30um的颗粒沉积于鼻咽部位，的颗粒沉积于鼻咽部位，1 15um5um的的 颗颗粒沉积于气管及支气管，粒沉积于气管及支气管，1um1um以下沉积于肺泡壁。以下沉积于肺泡壁。第三十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2、什么是、什么是PM2.5？vPM2.5：也称为可入肺颗粒物。也称为可入肺颗粒物。是指大气中直径小于或是指大气中直径小于或等于等于2.5微米的颗粒物，微米的颗粒物，英文全称为英文全称为particulatematter(颗粒颗粒物物)。科学家用。科学家用PM2.5表示每立方米空气中这种颗粒的含量，这个表示每立方米空气中这种颗粒的含量，这个值越高，就代表空气污染越

23、严重值越高，就代表空气污染越严重。在城市空气质量日报或周报在城市空气质量日报或周报中的可吸入颗粒物和总悬浮颗粒物是人们较为熟悉的两种大中的可吸入颗粒物和总悬浮颗粒物是人们较为熟悉的两种大气污染物气污染物。vPM10：可吸入颗粒物可吸入颗粒物，指直径大于指直径大于2.5微米、等于或小于微米、等于或小于10微米，可以进入人的呼吸系统的颗粒物。微米，可以进入人的呼吸系统的颗粒物。vPM100：总悬浮颗粒物：总悬浮颗粒物，即直径小于或等于即直径小于或等于100微米的微米的颗粒物。颗粒物。第三十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-1、PM2.5颗粒颗粒大小大小v 第三十二张，PP

24、T共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-2、PM2.5的来源的来源vPM2.5产生的主要来源，是日常发电、工产生的主要来源，是日常发电、工业生产、汽车尾气排放等过程中经过燃烧而业生产、汽车尾气排放等过程中经过燃烧而排放的残留物，大多含有重金属等有毒物质。排放的残留物，大多含有重金属等有毒物质。一般而言，粒径一般而言，粒径2.5微米至微米至10微米的粗颗粒微米的粗颗粒物主要来自道路扬尘等物主要来自道路扬尘等;2.5微米以下的细颗微米以下的细颗粒物粒物(PM2.5)则主要来自化石燃料的燃烧则主要来自化石燃料的燃烧(如机动车尾气、燃煤如机动车尾气、燃煤)、挥发性有机物等。、挥发性有机物等。

25、第三十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-3、PM2.5的危害的危害1、气象专家和医学专家认为，由细颗粒物造成、气象专家和医学专家认为，由细颗粒物造成的灰霾天气对人体健康的危害甚至要比沙尘暴的灰霾天气对人体健康的危害甚至要比沙尘暴更大。更大。2、粒径在、粒径在2.5微米以下的细颗粒物，被吸入人微米以下的细颗粒物，被吸入人体后会直接进入支气管，干扰肺部的气体体后会直接进入支气管，干扰肺部的气体交换，引发包括哮喘、支气管炎和心血管交换，引发包括哮喘、支气管炎和心血管病等方面的疾病。病等方面的疾病。第三十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-4、PM2.

26、5在国内的发展第三十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-5、PM2.5的防治措施的防治措施vvpm2.5的主要来源为机动车尾气的排放，的主要来源为机动车尾气的排放，对个人来说主要以佩戴真正防对个人来说主要以佩戴真正防pm2.5的口的口罩为有效手段。罩为有效手段。v尽量减少吸烟甚至不吸烟，烟雾中有大量的尽量减少吸烟甚至不吸烟，烟雾中有大量的pm2.5，会对人体有着直接和间接的危害。，会对人体有着直接和间接的危害。v大雾天不能晨练。大雾天不能晨练。第三十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT第三十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT第三

27、十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2 2、微粒剖析微粒剖析第三十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1 1、按来源分类按来源分类无机性微粒、有机性微粒、有生命微粒无机性微粒、有机性微粒、有生命微粒 2 2、微粒的危害微粒的危害对对人人体体，易易引引起起呼呼吸吸道道和和肺肺部部的的疾疾病病，同同时时也也会会使使人人过过敏敏，病病毒毒感感染染；对对硅硅芯芯片片而而言言，微微尘尘粒粒子子之之附附着着将将造造成成集集成成电电路路线线路路的的变变形形或或短短路路，使使芯芯片片失失去去运运作作功功能能，因因此微污染源的控制已成为无尘室管理的重要环节。此微污染源的

28、控制已成为无尘室管理的重要环节。2-12-1、微粒剖析、微粒剖析第四十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT41一般微粒粒径对比一般微粒粒径对比0.30.3m m 微尘粒径微尘粒径人类头发人类头发 (25(25100100m)m)肉眼可视肉眼可视 (5(5m)m)感性认知感性认知第四十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT大于0um小于0.1um做扩散运动微粒大小不同微粒大小不同 运动行为不同运动行为不同第四十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2-12-1、颗粒大小的概念、颗粒大小的概念头发直径头发直径25100m酵母菌酵母菌510m水蒸

29、气水蒸气0.11m细菌细菌0.051m滤过性病毒滤过性病毒0.0010.01m第四十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT活动状态产生微粒大小(um)磨擦普通之涂装表面时没有润滑之两种金属互相磨擦时将纸弄皱或折叠时摩擦环氧树脂表面时锁螺丝时皮带驱动时用原子笔在普通纸上写字时操作金属板时摩擦皮肤时907565403020 10430第四十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT动作衣着一般作业服两载式无尘服全覆盖型无尘服粒径0.3m0.5m0.3m0.5m0.3m0.5m静止状态立姿543339151113196坐次448302142112157动作状态手 腕

30、上 下 运动445029804623004919手自由运动347022405702895221上体前屈392022407755403924头上下左右12306311871512211脱帽26201310转身22408503902673215蹲姿4160312011106056437踏步42402300120086011545步行5360292012851010157562-4、一个人一分钟产生之粒子数、一个人一分钟产生之粒子数(1000个个/分分/人人)第四十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT461,00010,000外大气外大气层大气大气层田园地田园地带街市区街市区10

31、,000,0001,000,000100,000工工业地地带2-5、一般自然界、一般自然界气体等级气体等级第四十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT3、无尘室常见形式、无尘室常见形式v本节重点：v1、介绍无尘室常见形式v2、结合实物图片说明，加深印象。第四十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室常见形式之一无尘室常见形式之一高效过滤器无尘室空调机房通道上夹层1、上送侧回、无架空地板、温湿度控制通过空调机实现；造价低、噪音小但灵活性差第四十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室常见形式之二无尘室常见形式之二高效过滤器无尘室空调机

32、房通道上夹层在方式一的基础上增加了下夹层，主要考虑设备配管配线的便利性和整体美观。第四十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室常见形式之三无尘室常见形式之三高效过滤器无尘室空调机房通道上夹层上送上回，节约了回风夹道所占面积，主要实用于低级别的洁净室，自净时间会延长第五十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室常见形式之四无尘室常见形式之四FFU层特点：1、双技术下夹层；FFU+CLEANBOOTH+SMIF方式2、设备主体与辅助设备垂直放置3、作业层是大开间、增加设备布局变化的灵活性第五十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室

33、无尘室-100级无尘室级无尘室第五十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT送风过滤单元送风过滤单元FFU第五十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT第五十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1000级无尘室级无尘室第五十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT高架地板高架地板第五十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室无尘室10000级级第五十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT风淋室（风淋室（AirShower）第五十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT风淋

34、室内部风淋室内部第五十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT传递窗传递窗第六十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT洁净棚洁净棚第六十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT无尘室天花上部无尘室天花上部第六十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT温湿度计和粒子计数器温湿度计和粒子计数器第六十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT压差表1.对车间或房间加正微压对车间或房间加正微压(5-10Pa)，选用，选用0-60Pa微差压计。微差压计。2.检查粗、中、高效空气过滤器的过滤效检查粗、中、高效空气过滤器的过滤效果

35、，选用果，选用2000-125、250Pa、500Pa或或1Kpa等差压计，随时观测过滤网的压差，等差压计，随时观测过滤网的压差，以便更换过滤器。以便更换过滤器。常用量程：常用量程：060Pa0250Pa0500Pa0750Pa-60060Pa-1250125Pa01kPa02kPa第六十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT泄压风门泄压风门第六十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT检漏实验检漏实验第六十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT静电测试静电测试第六十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT风速测试风速测试风罩

36、风罩风罩风罩顶棚顶棚顶棚顶棚测口测口测口测口仪器：仪器：仪器：仪器：热球风速仪热球风速仪精度精度0.01m/s3%,量程量程030m/s，集风罩。，集风罩。方法方法方法方法用集风罩住送风口，用集风罩住送风口，测出风口平均风速测出风口平均风速第六十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT洁净室噪音标准洁净室噪音标准v标准的洁净室内噪声应符合下列要求：v一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超 过70分贝。v二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜 大于60分贝；层流洁净室的噪声级不应大于 65分贝A。第六十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT取取15分钟内测量的风

37、速平均值，分钟内测量的风速平均值，按不同位置编记录测定值，计算平均风速。按不同位置编记录测定值，计算平均风速。评估标准评估标准评估标准评估标准 垂直单向流面风速垂直单向流面风速v0.35m/s水平单向流面风速水平单向流面风速v0.45m/s注注:仅当单向空气流微粒数目符合仅当单向空气流微粒数目符合100级的洁净度要求，级的洁净度要求，同时风速达到上述数值，才可判断该装置达到同时风速达到上述数值，才可判断该装置达到100级。级。数据处理数据处理第七十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT四、空调送风箱（四、空调送风箱（AHU)v本节重点：本节重点：v1、介绍空调箱内部构造、介绍空

38、调箱内部构造v2、空气过滤器的分类。、空气过滤器的分类。第七十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT第七十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT4-1、空调箱内部构造（Air Handing Unit）第七十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT744-2、无尘室、无尘室各各种种空气过滤器的分类空气过滤器的分类类别过滤灰尘直径(m)过滤网材质用途初效过滤网5合成纤维玻璃纤维外气处理，空调箱前段处理中效过滤网1合成纤维玻璃纤维循环空气前端处理高效HEPA0.3玻璃纸Class1001000洁净室最终过滤网ULPA0.10.3特殊玻璃纸洁净度1

39、100级超ULPA0.10.05特殊玻璃纸洁净度1级第七十四张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT高效过滤器袋式中效过滤器纸框处效过滤器第七十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT高效过滤器送风口第七十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT五、无尘室管理五、无尘室管理v本节重点：本节重点：v1、无尘室运行阶段管理、无尘室运行阶段管理v2、无尘室施工阶段管理、无尘室施工阶段管理v3、无尘室检测项目、无尘室检测项目v4、无尘室异常原因分析、无尘室异常原因分析第七十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT维维持持无无尘尘室室清清净净

40、度度四大原则四大原则不产生不产生立刻排除立刻排除不能堆积不能堆积不可带入不可带入1 1、无尘室运行管理四大原则、无尘室运行管理四大原则 第七十八张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1-1.1-1.不可带入不可带入HEPAHEPA过滤器的骨架不能漏气。过滤器的骨架不能漏气。室内必须维持设计之压力。室内必须维持设计之压力。作作 业业 人人 员员 必必 须须 更更 衣衣，经经 过过Air Air ShowerShower后进入无尘室。后进入无尘室。所所有有使使用用材材料料、设设备备、工工具具必必须须清清扫扫干净后始可带进。干净后始可带进。第七十九张，PPT共九十五页，创作于2022

41、年6月DOTDOT高高效效滤滤网网口口密密封封SILICONSILICON胶胶老化，需定期检查修补。老化，需定期检查修补。无尘室正压标识无尘室正压标识第八十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT 无尘室及更衣室内不得使用纸箱、铅笔、擦胶、涂无尘室及更衣室内不得使用纸箱、铅笔、擦胶、涂改液、砂纸、被剪开或撕开的无尘纸等物品改液、砂纸、被剪开或撕开的无尘纸等物品。纸箱纸箱铅笔铅笔擦胶擦胶涂改液涂改液砂纸砂纸被剪开或被剪开或撕开的无尘纸撕开的无尘纸第八十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT进入进入AIR SHOWER AIR SHOWER 动作规范化动作规范化AI

42、R AIR SHOWERSHOWER底底部部所所设设粘粘粘粘纸纸要及时更换要及时更换第八十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT人员必须穿着无尘服。人员必须穿着无尘服。减少不必要之动作。减少不必要之动作。不可使用容易发尘的材料。不可使用容易发尘的材料。没有必要的物品不可带入。没有必要的物品不可带入。1-1-2.2.不产生不产生第八十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT1 1、对于高科技工业，比如半导体，电子及生化工、对于高科技工业，比如半导体，电子及生化工厂来说，飞扬在车间里的浮尘（肉眼所看不到的）厂来说，飞扬在车间里的浮尘（肉眼所看不到的）对生产效率和产

43、品品质都产生了重大的影响。对生产效率和产品品质都产生了重大的影响。2 2、当一个穿着常服的员工站立不动时，每分钟他、当一个穿着常服的员工站立不动时，每分钟他将产生大约将产生大约3434万粒万粒 0.5m0.5m的微尘；如果他在走的微尘；如果他在走动的话那么他将产生大约动的话那么他将产生大约280280万粒。万粒。3 3、微尘污染严重影响了洁净室的净化，而人体又、微尘污染严重影响了洁净室的净化，而人体又是对洁净室产生影响的重要污染来源。因此，人是对洁净室产生影响的重要污染来源。因此，人体防护对洁净室是相当重要的。体防护对洁净室是相当重要的。人体防护对洁净室的重要性人体防护对洁净室的重要性第八十四

44、张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT 大大褂褂衣衣v 大褂：大褂：v大褂衣单独使用，大褂衣单独使用，可与帽子、靴套配合使可与帽子、靴套配合使用。用。v适合用于适合用于CLASS10000100000的洁净室，适合洁净要的洁净室，适合洁净要求求.第八十五张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT 分分体体服服上下装分开的设计使穿上下装分开的设计使穿着更舒适，工效更高。着更舒适，工效更高。适用于的洁净室：适用于的洁净室：CLASS1000-10000第八十六张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT 防静电连体服防静电连体服v 有更好的防尘效果，可有更好的

45、防尘效果，可防止微尘从身体部位逸出。防止微尘从身体部位逸出。连帽带鞋型的连体服可用于连帽带鞋型的连体服可用于更高的洁净等级，可配合口更高的洁净等级，可配合口罩使用。罩使用。v适合用于适合用于CLASS101000的洁净室，适合洁净要的洁净室，适合洁净要求。求。第八十七张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT不不能能有有不不易易清清洁洁、清清扫扫之之角角落落及及机机器周边。器周边。尽尽量量减减少少外外露露在在室室内内之之风风管管、水水管管等。等。必必须须按按照照标标准准方方法法与与规规定定时时间间实实施施清洁。清洁。1-3.1-3.不能堆积不能堆积第八十八张，PPT共九十五页，创作

46、于2022年6月DOTDOT纸箱不能进入防尘室纸箱不能进入防尘室普通棉手工艺拖把不能进入普通棉手工艺拖把不能进入防尘室使用，当然也不能存防尘室使用，当然也不能存搭防尘室。搭防尘室。第八十九张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOTAIRSHOWER维护维护v人员用AIR SHOWER：为防止尘埃进入应确实维护，每周应做外部的擦拭，与内部的擦拭除尘，并且于半年后每月打开下面回风处检查滤网，并于一年后视检查状况更换初级滤网或HEPA(如果需要的话)。第九十张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT增加换气次数。增加换气次数。在发尘部位附近排气。在发尘部位附近排气。改改善善气

47、气流流形形状状以以免免尘尘埃埃附附着着于产品上。于产品上。1-4.1-4.立刻排除立刻排除第九十一张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT2、施工阶段的、施工阶段的5级管控：级管控：阶段操作过程时间净化程序规范要求1级不清洁阶段工程施工和初期环境准备在隔间吊顶、地坪安装之前a.每日清除垃圾；b.每日打扫工作区；c.每日检查材料储存，清理垃圾并转到废品储存点；a.禁止在现场吸烟吃、喝、玩。b.必须在指定的区域进行焊接，管道的切割或其它的生产操作，且必须放置灭火器。c.操作过程中所有的钻孔，切割要使用真空技术。2级清洁阶段隔间、粉刷、吊顶、地坪处理，吊顶施工结束后用彩条布加以维护空调

48、机试车之前a.每日清除垃圾；b.每日检查材料储存，清理垃圾并转到废品储存点；a.洁净室入口进行管制,强制性保安,2-3个入口；b.所有的材料要先解开原来的外包装，再换用木制或纸制的包装材料；c.清净室内地面每天都要使用吸尘器吸尘，拖把擦拭，墙壁、天花吊顶都要使用抹布擦拭。3级非常清洁阶段空调机试车高效过滤器安装之前a.要运到工作区的材料，地板和表面用真空吸尘器清洗；b.入口处每日用真空吸尘器清洗打扫；c.洁净室的入口，要放置粘尘地垫。a.仅设一个出入口点,强制保安升级；b.不允许纸制和木制材料进入净化室；c.施工区域进行地面保护；d.现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以进行:钻孔，磨削，打

49、磨；锉/切割，管子套丝；焊接；喷涂；4级超级清洁阶段安装高效过滤器检查之前a.每日至少进行三次真空吸尘器打扫和水洗；b.进入净化室前，所有工具和设备要进行无尘，无油渍清洗；所有的电线要完好无损；a.仅设一个入口点/出口点；b.必须签入，签出登记；c.入口的配备要符合入口规范d.不允许纸制和木制产品进入净化室；e.工作区域进行地板保护；5级持续清洁阶段洁净室完成前试运行阶段呈交业主之前a.每天做顺擦清洁；b.每日至少进行三次真空吸尘器打扫和水洗；c.没有遮盖的地板每日用真空吸尘器打扫；a.仅设一个入口点/出口点；c.必须签入，签出登记；d.配备的入口要符合入口规范；e.纸板和木制产品不许进入洁净

50、室；f.现场如果做以下工作，需要有特别批准才可以进行:钻孔，磨削，打磨；锉/切割，管子套丝；焊接；喷涂；第九十二张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT3、无尘室检测项目、无尘室检测项目v中间测试：管道打压、风管捡漏、过滤器捡漏v最终测试：v温度：v湿度：v照度：v噪音：v洁净度：静态、动态v风速：v地面导电性能：v特殊：分子污染、微振动、第九十三张，PPT共九十五页，创作于2022年6月DOTDOT4、无尘室常见异常状况原因、无尘室常见异常状况原因一、洁净室温、湿度异常升高或降低？一、洁净室温、湿度异常升高或降低？v空调箱停止运转或风管上的防火风阀关闭。空调箱停止运转或风管上的