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1、洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级ISO等级序数（N）大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（pc/m3空气浓度限值按 3.2 中的公式计算）0.1 m 0.2 m 0.3 m 0.5 m 1m 5m ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100 000 23 700 10 200 3 520 832 29 ISO Class 6 1 000 000 237 000 102 000 3
2、5 200 8 320 293 ISO Class 7 352 000 83 200 2 930 ISO Class 8 3 520 000 832 000 29 300 ISO Class 9 35 200 000 8 320 000 293 000 注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。洁净室的等级划分【提要】洁净室是根据产品制造所在空间的洁净度标准的空气中所要求达到的尘粒浓度来定级的，级别越高尘粒浓度越低。洁净室分级目前可以根据国际标准ISO14644-1（欧盟 1999 年、美国2001 年采用）进行。然而，最早被接受的方法是已经被废弃的美国联邦标准
3、（FED-STD 209）。它仍然被广泛地使用。a.)美国联邦标准（FED-STD 209）美国联邦标准209 首次发表于1963 年，标题为“洁净室及工作区域要求，受控环境”。1992年修订为209E版本，2001 年撤消。洁净室是根据每立方英尺（ft3）空气中的直径0.5 微米(um)微粒个数来定级。名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 1 页，共 3 页 -b.)ISO 标准:ISO(国际标准化组织)制订了洁净室标准系列，其中 ISO14644 标题为“洁净室及其关联的受控环境”。它的第一部分为:空气洁净度的等级分类.它给出了不同标准的洁净室的空气悬浮微粒的限度,同时也给也了
4、测试洁净室确定其级别时测量空气悬浮微粒所用的方法。ISO 14644-1 给出了一种洁净室定级的方法。公式为：其中：Cn：是指等于或大于所关注直径尺寸的空气悬浮微粒的最大允许浓度，且四舍五入最接近的整数，不多于三个有效数字；N：是指 ISO 级别编号，且最大不超过9，N的最小允许增值是0.1;D：是指所关注的微粒直径尺寸,单位 um;0.1 是一个单位为um的长度常数.根据这个公式,空气悬浮微粒的最大允许浓度(级别限定)能够针对任何微粒直径尺寸计算出来。c.)美国联邦标准与ISO 标准的相关性两种标准有一个交叉:ISO 标准的每M3微粒浓度换算成每ft3微粒浓度数需除以35.2，而等同的美国联邦标准FED-STD209 级别基于 0.5um尺寸。例如，ISO级别 Class5 等同于 FED-STD 209 级别 Class 100。等同级别对照表(FED-STD 209 与 ISO 14644-1)名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 2 页，共 3 页 -名师资料总结-精品资料欢迎下载-名师精心整理-第 3 页，共 3 页 -