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1、基本光学量的测试技基本光学量的测试技术术第一页，讲稿共九十七页哦1.概述第二页，讲稿共九十七页哦第三页，讲稿共九十七页哦第四页，讲稿共九十七页哦第五页，讲稿共九十七页哦tan200fytan2 fy2200fyfy00yyff第六页，讲稿共九十七页哦DCDykff000 1111222202222000kyDffkyDff 第七页，讲稿共九十七页哦/00ff0yDkkB/%15.0001.06003.024005.0001.02222ff%24.0ff第八页，讲稿共九十七页哦pNfyyf12 第九页，讲稿共九十七页哦tan0yf 第十页，讲稿共九十七页哦第十一页，讲稿共九十七页哦第十二页，讲稿
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4、的分辨率线条；相邻两号分辨率图案之间有一部分单元是彼此重复的；同一宽度的分辨率线条又按四个不同的方向排列构成一个“单元”第二十九页，讲稿共九十七页哦cf)(2062652cfPa第三十页，讲稿共九十七页哦)(mm /-10ffNNc第三十一页，讲稿共九十七页哦1cos1fx第三十二页，讲稿共九十七页哦2cos12cos1cos2cttffPafP220coscos21NffNPNctt第三十三页，讲稿共九十七页哦2cos12cos1cos2cttffPafP220coscos21NffNPNcttcoscos210NffNPNcss第三十四页，讲稿共九十七页哦第三十五页，讲稿共九十七页哦第三十
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12、MTFIui第八十四页，讲稿共九十七页哦 光学传递函数测试技术2.光学传递函数测试原理及方法 )5()(52cos)5(451)3()(32cos)3(431)(2cos)(41)(0rPTFtrrMTFrPTFtrrMTFrPTFt rrMTFItitttVtu rVrt第八十五页，讲稿共九十七页哦)(2cos)(4)(0rPTFt rrMTFItit第八十六页，讲稿共九十七页哦第八十七页，讲稿共九十七页哦cos0rr 第八十八页，讲稿共九十七页哦第八十九页，讲稿共九十七页哦第九十页，讲稿共九十七页哦第九十一页，讲稿共九十七页哦第九十二页，讲稿共九十七页哦第九十三页，讲稿共九十七页哦yxsyrxWyxWiCsxOTFGdd),(),(2exp),(第九十四页，讲稿共九十七页哦第九十五页，讲稿共九十七页哦uMCsin61.0cosDPPDcos/ff22coscos1sin61.0261.0sin61.0ufDu3coscost33coscos11NNtt第九十六页，讲稿共九十七页哦cos/ffcoscos1sin61.0uscoscos11NNss第九十七页，讲稿共九十七页哦