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1、TFT显示面板制造工程简介,2,目录,一、液晶显示器(LCD)的基础 1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义 1.2液晶显示器的基础及原理 二、 TFT-LCD制造基本流程及设备 2.1 制造流程概要 2.2 ARRAY工艺流程及设备 2.3 CELL工艺流程及设备 2.4 Module工艺流程及设备,3,一、液晶显示器(LCD)的基础,1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义,液晶的发现 1888年,奥地利植物学家F. Reinitzer在测量某些有机物熔点时发现: 1889年,德国物理学家O. Lehmann发现: 这类不透明的物体外观上属液体,但具有晶体特有的双折射性质,于是将其命名为“液态晶
2、体”,4,一、液晶显示器(LCD)的基础,液晶 : 一种液体状结晶性物质,介于固体(结晶)以及液体(非结晶)之间的第四状态(中间状态),具有流动性以及各向异性(光学各向异性,如双折射效应). 液晶显示器 : 利用外加电压以及液晶材料本身光学各向异性(如双折射效应以及旋光特性),进而显示所需要的数字、文字、图形以及影像等功能的一种人机界面的信息、通讯、网络的系统。,1.1液晶材料及液晶显示器的基本定义,5,一、液晶显示器(LCD)的基础,液晶显示器的构造模式断面图,1.2液晶显示器的基础及原理,6,一、液晶显示器(LCD)的基础,液晶面板的构造平面图(TFT型 ),1.2液晶显示器的基础及原理,
3、7,一、液晶显示器(LCD)的基础,液晶面板的构造断面图(TN型 ),1.2液晶显示器的基础及原理,8,一、液晶显示器(LCD)的基础,彩膜空间混色法实现TFTLCD彩色化,TFT基板,彩膜的结构,偏光板,TFT,背光源,偏光板,液晶,黑色矩阵,提高对比度 降低Ioff,1.2液晶显示器的基础及原理,9,二、 TFT-LCD制造基本流程及设备,CELL工程,MODULE工程,基板,玻璃基板 11001300,成膜光刻 (反复),基板,贴合,彩膜,取向液晶滴下贴合切断(15型16片),面板,端子接续,电路基板安装,背光源,面板,外框组装,液晶面板完成,2.1 制造流程概要,10,二、 TFT-LCD制造基本流程及设备,2.2 ARRAY工艺流程及设备,工程,Active 缺陷分析,71,2.4 Module工艺流程及设备,Aging老化炉,功能:动态/静态下的产品老化,72,2.4 Module工艺流程及设备,Thank you !,