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1、超纯水制备的工艺比拟电子工业用超纯水概述半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电 器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用 大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高, 对水质的要求也越高。目前我们国家电子工业部把电子级水质技术分 为五个行业标准，分别为 18M。. cm 15M。. cm 10M。. cm、2M。. cm 0. 5MQ . cm,以区分不同水质。制备电子工业用超纯水的工艺流程电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：1、采纳离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工 艺流程为：原水一沙炭过滤器一精密过滤器一原水箱一阳床一
2、阴床一 混床（复床）一纯水箱一纯水泵一后置精密过滤器一用水点2、采纳反渗透水处理设施与离子交换设施进行组合的方式，其 基本工艺流程为：原水一沙炭过滤器一精密过滤器一原水箱一反渗透 设施一混床（复床）一纯水箱一纯水泵一后置精密过滤器一用水点3、采纳反渗透水处理设施与电去离子（EDI）设施进行搭配的的方 式，这是一种制取超纯水的最新工艺，也是一种环保，经济，进展潜 力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水一沙炭过滤器一精密过滤器一原水箱一反渗透设施一电去离子(EDI) 一纯水箱一纯水 泵一后置精密过滤器一用水点三种制备电子工业用超纯水的工艺比拟：大连超纯水设施，大连 EDI超纯水设施，大连电
3、子行业超纯水设施目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工 艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配 衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：1、第一种采纳离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方 少，但缺点就是需要常常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境 有肯定的破坏。2、其次种采纳反渗透作为预处理再配上离子交换设施，其特点 为初投次比采纳离子交换树脂方式要高，但离子设施再生周期相对要 长，耗费的酸碱比单纯采纳离子树脂的方式要少许多。但对环境还是 有肯定的破坏性。3、第三种采纳反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是 目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸 碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于 初投资相对以上两种方式过于昂贵。