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1、MKS Confidential 1ReferenceSideMeasurementSideTo ElectronicsElectrodeAssemblyDiaphragmBaffle现代电容式薄膜差压式压力传感器原理至电子部件隔膜电子组件测量面参考面第1页/共11页MKS Confidential 2温度控制的薄膜压力传感器 范围及输出10-710-610-510-410-310-210-11101001000ZeroingPressureControlRangeReading Range10V1.00.1.011mVPressure (Torr)Example: 1 Torr Full S
2、caleCapacitance ManometerResolutionPressure零点压力读数范围可控范围可控范围压力分辨率压力分辨率举例：举例：1Torr 满量程满量程压力传感器压力传感器第2页/共11页MKS Confidential 3温度控制的薄膜压力传感器温度控制的薄膜压力传感器系列系列第3页/共11页MKS Confidential 4零点、满量程及线性Full ScaleZeroProperlyAdjustedNotZeroedSpanOut ofAdjust.LinearityOut ofAdjust.ControlRangeReading Range10V1.00.1.0
3、11mVActualPressureOutputIndicated Pressure 显示压力 输出零点零点失调满量程失调线性失调调整的比例真实压力满量程第4页/共11页MKS Confidential 5IndicatedPressureTrue PressureFullScaleFull Scale% of Reading ErrorBand% of Full Scale ErrorBandNon-LinearityHysteresisNon RepeatabilitySpan Temp CoefficientResolutionZero Temp Coefficient00误差满量满量程
4、程显示压力显示压力读数值的%误差带满量程的%误差带满量程满量程真实压力真实压力解决方法降低温度依赖非线性滞后非重复性满量程温度系数第5页/共11页MKS Confidential 6零点调整输出信号用螺丝刀进行零点调整或在显示/控制仪上实施零点修正真空条件下真空条件下第6页/共11页MKS Confidential 7600系列系列Baratron 电容式薄膜电容式薄膜压力传感器压力传感器满量程范围满量程范围: 20mT 25kT精度精度: 读数值的读数值的 0.12% 分辨率分辨率: 满量程的满量程的 0.001%温度控制温度控制: 环境温度环境温度, 45or 100 温度系数温度系数 零
5、点: 0.002% 满量程./C增益: 0.02% 读数值 /C两个继电器控制点可选两个继电器控制点可选电源电压电源电压: 15VDC输出信号输出信号: 0 10V第7页/共11页MKS Confidential 8631B 高温 Baratron700 系列系列 Baratron 电电容式容式薄膜压力传感器薄膜压力传感器中等性能中等性能价格便宜价格便宜紧凑型尺寸紧凑型尺寸满量程范围满量程范围: 1T 1000T精度精度: 读数值的读数值的 0.5% 温度控制温度控制: 环境温度环境温度, 45or 100 电源电压电源电压: 15VDC 或或 +24VDC输出信号输出信号: 0 10V 或或 05V890/892 压力压力传感器传感器满量程范围满量程范围: 20 3000PSI精度精度: 读数值的读数值的 1% 电源电压电源电压: +13VDC +32VDC输出信号输出信号: 0 10V 0 5V 4 20mA基于以太网通讯的基于以太网通讯的e-Baratron第8页/共11页MKS Confidential 9第9页/共11页MKS Confidential 10第10页/共11页感谢您的观看！第11页/共11页