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1、载流子浓度载流子浓度=(状态密度状态密度g(E) 分布函数分布函数f(E)dE)/V*状态密度状态密度=所掺施主杂质的浓度所掺施主杂质的浓度ND(E=ED)*状态密度状态密度=所掺受主杂质的浓度所掺受主杂质的浓度NA(E=EA)重点:重点:n0、p0、EF随掺杂浓度和温度的变化规律随掺杂浓度和温度的变化规律方法:方法: n0、p0、nD、PA + 电中性方程电中性方程温温 区区 低温 中温 高温 费米能级费米能级 载流子浓度载流子浓度)2ln(21210CDDCFNNTkEEETkECDDeNNn021202)ln(0CDCFNNTkEEDNn 0CVVCiFNNTkEEEEln21210Tk
2、EVCigeNNnpn021200(1)n T分析、讨论分析、讨论TkECDDeNNn021202DNn 0TkEVCigeNNn0212(2)EF T(3)EF 掺杂(掺杂(T一定,则一定,则NC也一定)也一定)T一定,ND越大,EF越靠近ECT一定,NA越大,EF越靠近EV。锌锌(Zn)(Zn)在在SiSi中为一双重受主中为一双重受主, ,即每一个即每一个ZnZn原子可在原子可在E EA1A1(E(EA1A1-E-EV V=0.31eV)=0.31eV)能能接收接收1 1个电子个电子, ,在较高能级在较高能级E EA2A2(E(EA2A2-E-EV V=0.55eV)=0.55eV)上接受第上接受第2 2个电子个电子. .为了完全为了完全补补偿偿1 1个个N ND D=1016cm-3=1016cm-3的的n-Sin-Si样品样品, ,需要掺入需要掺入ZnZn的浓度为多少的浓度为多少?(?(设设Eg=1.12eV)Eg=1.12eV)2. .某掺施主杂质的非简并某掺施主杂质的非简并SiSi样品,试求样品,试求E EF F= =(E EC C+E+ED D)/2/2时施主的浓度。时施主的浓度。.