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3、心整理 - - - - - - - 第 6 页，共 8 页 - - - - - - - - - 电子级多晶硅的生产工艺作者：梁骏吾， Liang Junwu作者单位：中国科学院半导体研究所 ,北京,100083刊名：中国工程科学英文刊名：ENGINEERING SCIENCE年，卷(期)：2000,2(12)被引用次数：29次参考文献(6条)1. 梁骏吾 兴建年产一千吨电子级多晶硅工厂的思考期刊论文-中国工程科学 2000(06)2. Wacher Sitronic A GPolysilicon production 19952003 19953. Rogers L O Handbook of
4、 semiconductor silicon technology 19904. Conventional polysilicon process (Siemens Technology)reportDOE/JPL-954343-21,Nat Tech InformCenter Springfield 19815. Product specification of Wacker-Chemie GmbH,1999,PCA-CH4; 1998,PCA-AE46. Union Carbide CorpFinal reportDOE/JPL-954334-21 1981引证文献(29条)1. 李伟明.
5、 李永峰 . 吴艳光 太阳能级多晶硅制备技术与发展方向期刊论文-现代化工 2010(7)2. 宗文婷. 柯曾鹏 氯硅烷加压多效精馏及过程模拟期刊论文-化工设计 2010(4)3. 郭志鹏. 张云 多晶硅生产中还原工序的节能减排探讨期刊论文-煤 2010(7)4. 侯彦青. 谢刚. 陶东平 . 俞小花 . 田林. 杨妮 太阳能级多晶硅生产工艺期刊论文-材料导报 2010(13)5. 周齐领. 张晓辉 电子级多晶硅生产中氯硅烷精馏工艺的设计和优化期刊论文-化工设计 2010(3)6. 陈涵斌. 李育亮 . 印永祥 . 戴晓雁 等离子体还原四氯化硅生产三氯氢硅试验期刊论文-氯碱工业 2010(1)7
6、. 宋东明. 谢刚. 俞小花 . 李荣兴 . 侯彦青 西门子法生产多晶硅过程中尾气的分离及综合利用期刊论文-化学工业与工程 2010(6)8. 伍继君. 戴永年 . 马文会 . 杨斌. 刘大春 . 王烨. 魏奎先 冶金级硅氧化精炼提纯制备太阳能级硅研究进展期刊论文-真空科学与技术学报 2010(1)9. 黎理. 张发云 . 李玲. 付华华 . 任丽敏 . 周毓刚 . 曾玮 新余市国家硅材料及光伏应用产业化基地建设的研究期刊论文-新余高专学报 2009(6)10.杨志国 多晶硅还原中三氯氢硅几种汽化方式的比较期刊论文-科协论坛（下半月） 2009(7)11.姚敏. 袁强辉 . 刘彦昌. 陈万和
7、多晶硅制备方法及太阳能电池发展现状期刊论文-宁夏工程技术 2009(2)12.杨涛 改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨期刊论文-贵州化工 2009(3)13.陈涵斌 . 李育亮 . 印永祥 四氯化硅转化技术的现状与发展趋势期刊论文-氯碱工业 2009(4)14.廖敏 氢气纯度对多晶硅产品质量的影响及采取的对策期刊论文-四川有色金属 2010(3)15.苗军舰 . 丘克强 . 顾珩. 陈少纯 西门子体系中SiHCl3和SiCl4的热力学行为期刊论文-中国有色金属学报2008(10)16.樊舜尧 . 师文林 多晶硅生产技术及发展现状期刊论文-新材料产业 2008(10)17.龙桂花 . 吴彬. 韩
8、松. 丘克强 太阳能级多晶硅生产技术发展现状及展望期刊论文-中国有色金属学报 2008(z1)18.颜颉颃 . 彭继霆 . 周浪. 周潘兵. 杜国平. 苏文华 冶金级硅中杂质的表面吸附与去吸附除杂期刊论文-南昌大学学名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 7 页，共 8 页 - - - - - - - - - 报（理科版） 2008(2)19.温雅. 胡仰栋 . 单廷亮 改良西门子法多晶硅生产中分离工艺的改进期刊论文-化学工业与工程 2008(2)20.冉祎. 兰天石 . 覃
9、攀. 戴晓雁. 印永祥 等离子体还原SiCl4一步法制备多晶硅实验研究期刊论文-人工晶体学报2007(4)21.马晔风 . 周俊波 多晶硅尾气处理与净化工艺研究进展期刊论文-氯碱工业 2010(9)22.胡蕴成 . 邓良平 . 刘宜家 半导体硅材料与信息化社会的高速发展期刊论文-新材料产业 2007(7)23.李国栋 . 张秀玲 . 胡仰栋 电子级多晶硅生产工艺的热力学分析期刊论文-过程工程学报 2007(3)24.梁骏吾 光伏产业面临多晶硅瓶颈及对策期刊论文-科技导报 2006(6)25.吴亚萍 太阳能级多晶硅的冶金制备研究学位论文硕士 200626.廖勇明 . 董立军 . 韩敬东 . 陈大鹏 . 叶甜春 用SiH2Cl2 沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究期刊论文-电子工业专用设备 2005(1)27.廖勇明 基于多晶硅的红外阵列研制及集成设计学位论文硕士 200528.柯曾鹏 . 杨志国 . 刘欣. 宗文婷 多晶硅还原炉倒棒原因探讨期刊论文-半导体技术 2010(10)29.闫晓英 卧式椭圆形封头贮罐容积的计算期刊论文-青海科技 2010(4)本文链接： http:/ - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 8 页，共 8 页 - - - - - - - - -