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1、半导体材料 二元二元-族化合物的制备及其特征族化合物的制备及其特征6-16-1 -族化合物半导体的特性族化合物半导体的特性 回忆回忆: :硅的晶体结构硅的晶体结构; ;如何形成如何形成6-1-1 -6-1-1 -族化合物半导体的晶体结构族化合物半导体的晶体结构v-族化合物半导体族化合物半导体: : 闪锌矿结构闪锌矿结构v两套两套面心立方格子面心立方格子沿体对角线移动沿体对角线移动1/4长度套长度套构而成构而成.闪锌矿结构闪锌矿结构立方晶系立方晶系面心立方格子面心立方格子GaAsGaAs纤锌矿晶体结构纤锌矿晶体结构六方晶系六方晶系简单六方格子简单六方格子GaN,InN,BNGaN,InN,BN6
2、-1-26-1-2 -族化合物半导体的能带结构族化合物半导体的能带结构Ge 0.67 eVSi 1.12 eV1.GaAs1.GaAs的能带结构的能带结构vIII-V族化合物半导体族化合物半导体GaAs 1.43 eVGaAsGaAs 能带结构与能带结构与SiSi、 GeGe 能带结构相比，特点如下：能带结构相比，特点如下： 1. 1. GaAsGaAs 的导带极小值与价带极大值都在的导带极小值与价带极大值都在K K0 0，这种，这种能带结构叫做能带结构叫做直接跃迁型直接跃迁型；而；而SiSi、 GeGe 的极大和极小的极大和极小值所在的值所在的K K值不同，这种能带结构叫做值不同，这种能带结
3、构叫做间接跃迁型间接跃迁型。 2. 2. GaAsGaAs 在在方向上具有双能谷能带结构，即除方向上具有双能谷能带结构，即除k k0 0处有极小值外，在处有极小值外，在方向边缘上存在另一个导方向边缘上存在另一个导带极小值，比中心极小值仅高带极小值，比中心极小值仅高0.36eV0.36eV。因此电子具有。因此电子具有主次两个能谷。主次两个能谷。 3. 3. GaAsGaAs的最高工作温度的最高工作温度450.450.硅硅:250 :250 锗锗:100:100 GaPGaP间接跃迁型材料间接跃迁型材料 发光效率比直接跃迁型材料低发光效率比直接跃迁型材料低 但是如果但是如果某些杂质某些杂质在在Ga
4、PGaP中可形成发光的辐射中可形成发光的辐射复合中心复合中心, ,使使GaPGaP从间接跃迁到直接跃迁转化从间接跃迁到直接跃迁转化, ,发光效率会提高发光效率会提高. . 2.GaP2.GaP的能带结构的能带结构 在半导体中，电子和空穴可以是自由运动的，在半导体中，电子和空穴可以是自由运动的，也可以是被束缚的。也可以是被束缚的。 电子由价带激发到导带，就形成自由的电子和空电子由价带激发到导带，就形成自由的电子和空穴穴 电子电子由价带激发由价带激发到导带下面的一个激发态到导带下面的一个激发态而未到而未到达导带的时候，达导带的时候，电子将被束缚在空穴的库仑场中电子将被束缚在空穴的库仑场中，又不与空
5、穴复合而形成激子。，又不与空穴复合而形成激子。 激子：电子与空穴间的库伦引力使两者处于束缚激子：电子与空穴间的库伦引力使两者处于束缚状态，这种被束缚的电子空穴对就叫激子。状态，这种被束缚的电子空穴对就叫激子。 ( (补充补充) )等电子杂质等电子杂质指与指与点阵点阵中被替代的原子处于周期中被替代的原子处于周期表中同一族的其他原子。例如表中同一族的其他原子。例如 GaPGaP中取代中取代P P位的位的N N或或BiBi原子。原子。 等电子杂质本身是电中性的等电子杂质本身是电中性的, ,但由于它与被替代的原子但由于它与被替代的原子有不同的电负性和原子半径，这些差异会产生以短程有不同的电负性和原子半
6、径，这些差异会产生以短程作用为主的杂质势，作用为主的杂质势，可以俘获电子可以俘获电子( (或空穴或空穴),),称为等电称为等电子陷阱子陷阱。 通常电负性大的等电子杂质形成电子束缚态，反之形通常电负性大的等电子杂质形成电子束缚态，反之形成空穴束缚态。成空穴束缚态。 电子俘获中心也可称为电子俘获中心也可称为“电子陷阱电子陷阱”, ,空穴俘获中心空穴俘获中心可称为可称为“空穴陷阱空穴陷阱”. .它们都应是禁带中的深能级它们都应是禁带中的深能级。 半导体中某些处于最近邻的施主受主对，例如半导体中某些处于最近邻的施主受主对，例如GaPGaP中中的的Zn-OZn-O对及对及CdCdO O对对( (尽管这些
7、不是等电子杂质尽管这些不是等电子杂质) )，实际，实际上类似于晶体中的中性分子。它们也以短程作用束缚上类似于晶体中的中性分子。它们也以短程作用束缚电电子，构成等电子陷阱。子，构成等电子陷阱。 等电子陷阱通过短程势俘获电子等电子陷阱通过短程势俘获电子( (或空穴或空穴) )之后，成之后，成为为负电（或正电）中心，可以借助长程库仑作用吸负电（或正电）中心，可以借助长程库仑作用吸引一个空穴（或电子），引一个空穴（或电子），于是于是形成形成了了等电子陷阱上等电子陷阱上的束缚激子。的束缚激子。 目前目前GaPGaP中能形成电子陷阱束缚激子的杂质有中能形成电子陷阱束缚激子的杂质有N(N(绿绿光光) )，B
8、iBi（橙光），（橙光），ZnZnO O（红光），（红光），CdCdO O（红光（红光）等）等6 61 13 3 III-VIII-V族化合物族化合物的极性的极性 1.1.非中心对称性非中心对称性 III-VIII-V族化合物族化合物半导体半导体大多数是大多数是闪锌矿结构闪锌矿结构，这种结，这种结构构是非中心对称的是非中心对称的，它不具有反映中心。，它不具有反映中心。GaAsGaAs是一系是一系列列GaGa原子和原子和AsAs原子组成的双原子层，因此晶体在原子组成的双原子层，因此晶体在对称对称晶面上的性质不同。如晶面上的性质不同。如111111和和 是不同的。是不同的。 把这种不对称性叫做把这
9、种不对称性叫做极性极性 IIIIII族原子称为族原子称为A A原子，对应的原子，对应的111111面称为面称为A A面，面， V V族原子称为族原子称为B B原子，对应的原子，对应的111111面称为面称为B B面面111极性（闪锌矿是非中心对称的） 2.2.极性对解理性的影响极性对解理性的影响 硅锗硅锗金刚石结构中，（金刚石结构中，（111111）面）面间距最大，间距最大，是解理面。是解理面。闪锌矿晶体的解理面是（闪锌矿晶体的解理面是（110110）面）面 3.3.极性对表面腐蚀和晶体生长的影响极性对表面腐蚀和晶体生长的影响 GaAsGaAs单晶的（单晶的（111111）A A面和（面和（1
10、11111）B B面有不同的腐蚀性面有不同的腐蚀性。这种差异与。这种差异与III-VIII-V族化合物族化合物的极性有关。的极性有关。B B面腐蚀速面腐蚀速度比度比A A面快面快. .但是当把腐蚀液的温度升高但是当把腐蚀液的温度升高,A,B,A,B面之间的面之间的差异就看不出来了差异就看不出来了. . 6-2-1 6-2-1 二元系相图简介二元系相图简介一、二元相图的一般介绍一、二元相图的一般介绍 所谓平衡图（相图），是指物质（多相体系）的各种状态（固相或液相等）在平衡时组分与温度（或压力）之间变化关系的一种图像。 二元系相图的形状与两组元之间的相互作用有着密切的关系二元系相图的形状与两组元之
11、间的相互作用有着密切的关系 。例如，两组元在熔制成固熔体材料（合金或复盐）时，从宏观角度看，彼此之间可能发生不同的作用，一般在熔制时，若忽视气相得作用，则把两种组元按一定的配比加热至液态，并使之充分化合，然后冷凝到固态，使之得到所需的固熔体材料（合金）。 在上述熔制过程中，在液态时，两组元之间的相互作用可能有下列两类： 一类是经过熔制后，可以形成两组元以任何配比混溶的均匀一致的液态溶液，即属于第一类溶液。绝大多数的组元混熔时，彼此都能形成均匀一致的溶液， 一、二元相图的一般介绍一、二元相图的一般介绍 少数组元，当某一组元的百分数大于在另一组元内的极限溶解度时（可把某一组元看着溶质，另一组元看着
12、溶剂），就形成两种溶液的混合物，这种溶液属于第二类溶液。在第二类溶液中，还有还有极少数的组元对（如铁-铅、水-油等），由于在液态时不混合，而形成两组元完全分离的液层，这属于第二类中的极限情况。当固熔体（合金）从均匀一致的液态溶液冷却成为固态晶体时，组元之间的的相互作用可分为三种类型：1.形成能以任何配比溶合的均匀一致的固溶体材料（即液态和固态两组元都能以任意比例相互容积的材料，或固态两组元无限互溶的材料）。其代表性的相图如图6-10（周永溶，P149，图6-10）所示。例如Cu-Ni、Au-Pt、Ge-Si等。 一、二元相图的一般介绍一、二元相图的一般介绍2.2.两组元各具有限溶解度，当组分浓
13、度大于该溶解度极限两组元各具有限溶解度，当组分浓度大于该溶解度极限时，就形成两种固溶体的混合物（即液态时两组元能完时，就形成两种固溶体的混合物（即液态时两组元能完全互溶，固态时只能部分互溶的固溶体材料，亦即溶解全互溶，固态时只能部分互溶的固溶体材料，亦即溶解度有限固溶体材料）。其代表的相图如图度有限固溶体材料）。其代表的相图如图6-116-11（周永溶（周永溶，P149P149，图，图6-116-11）所示。例如）所示。例如Sn-PbSn-Pb、Au-NiAu-Ni、SiSi、AlAl等等。 此类型中，在特殊情况下，当组元之间的溶解度很此类型中，在特殊情况下，当组元之间的溶解度很小时，小时，和
14、和固溶体变得很窄，以致在一般尺度下，从固溶体变得很窄，以致在一般尺度下，从相图很难表示出来，于是上图变成图相图很难表示出来，于是上图变成图6-126-12（周永溶，（周永溶，P149P149，图，图6-126-12）所示的形状。该相图称为：两组元在液）所示的形状。该相图称为：两组元在液态互相溶解，在固态互相不溶解的材料的相图。态互相溶解，在固态互相不溶解的材料的相图。一、二元相图的一般介绍一、二元相图的一般介绍3.3.两组元之间能形成化合物材料（即两组元在液态互相溶两组元之间能形成化合物材料（即两组元在液态互相溶解，在固态形成化合物材料）的相图。一般地说，两组解，在固态形成化合物材料）的相图。
15、一般地说，两组元形成化合物又可分为两类情形，一类是在一定温度下元形成化合物又可分为两类情形，一类是在一定温度下熔化，且在熔化的过程中，固液两项具有相同的成分，熔化，且在熔化的过程中，固液两项具有相同的成分，此类化合物代表相图如图此类化合物代表相图如图6-136-13（周永溶，（周永溶，P149P149，图，图6-136-13）所示。由于中间相出现时的组分范围非常狭窄尖锐。）所示。由于中间相出现时的组分范围非常狭窄尖锐。在这个意义上很像化合物（可看着是稳定的一个组元）在这个意义上很像化合物（可看着是稳定的一个组元）。故称金属间化物。例如。故称金属间化物。例如III-VIII-V族和族和II-VI
16、II-VI族化合物，它族化合物，它们都显示出重要的半导体性质；另外一类则是在一定温们都显示出重要的半导体性质；另外一类则是在一定温度范围内熔化，熔化过程中，原先的固相分解成分彼此度范围内熔化，熔化过程中，原先的固相分解成分彼此不同，且与原先固相成分也不同的固相和液相。此类型不同，且与原先固相成分也不同的固相和液相。此类型的相图较复杂，且不属于我们要讨论的范围。而第一类的相图较复杂，且不属于我们要讨论的范围。而第一类型的金属间化物的相图，是我们重点关注的。因型的金属间化物的相图，是我们重点关注的。因III-VIII-V族化合物的相图多属此类型。族化合物的相图多属此类型。二、二元间能形成化合物的相
17、图二、二元间能形成化合物的相图 两组元在液态互相溶解，在固态形成化合物的相图。这类两组元在液态互相溶解，在固态形成化合物的相图。这类化合物材料的特点是，在一定的温度下熔化，在熔化过程中，固化合物材料的特点是，在一定的温度下熔化，在熔化过程中，固液两相的成分相同。大多数液两相的成分相同。大多数III-VIII-V族化合物都属此类，其代表性族化合物都属此类，其代表性的相图如图的相图如图6-146-14（周永溶，（周永溶，P150P150，图，图6-146-14）所示。）所示。 图中，纵坐标表示温度，横坐标表示组元的组分（原子百分图中，纵坐标表示温度，横坐标表示组元的组分（原子百分比或重量百分比）。
18、左边为纯比或重量百分比）。左边为纯A A元素，右边为纯元素，右边为纯B B元素，元素，A A和和B B二组二组元当它们的组分比为元当它们的组分比为x:yx:y时，便便形成了化合物以时，便便形成了化合物以AxByAxBy表示。表示。 ac1dc2b线表示二元化合物开始凝固的温度线，即结晶开始温度与组分的关系线，称为液相线（也称熔点曲线或熔化终了曲线）。 ec1f和hc2g线表示化合物凝固终了线（或开始熔化的温度线）故称固相线。 二、二元间能形成化合物的相图二、二元间能形成化合物的相图la、b、d各点对应的温度分别为纯组分A、纯组分B和相同成分的AxBy化合物的熔点。l曲线ac1代表在不同温度下与
19、固相组分A（固）平衡的AxBy溶液所组成的混合物（即A（固）+AxBy（液）组成的混合物）。 l曲线bc2表示与固相组分B（固）平衡的AxBy溶液所组成的混合物（即B（固）+AxBy(液)组成的混合物）。lC1和C2各为低共熔粘聚物A（晶）+AxBy（晶）和B（晶）+AxBy（晶）各与确定组分的溶液接触平衡共存的“低共熔点”。有人把A（晶）+AxBy（晶）或B（晶）+AxBy（晶）称为“共晶体”。因此称C1和C2对应的温度称“共晶温度”。lm1、m2、m3、m4、m5分别代表液态化合物降温过程分析点。 二、二元间能形成化合物的相图二、二元间能形成化合物的相图相图6-14中各区的组成如下：（1）
20、区：液态合金溶液（A+ AxBy）区（2）区：A（晶）+液态合金溶液L（AxBy）共存区。（3）区：AxBy（晶）+液态合金溶液（AxBy）共存区。（4）区：A（晶）+共晶体IA（晶）+ AxBy（晶）。（5）区：AxBy（晶）+共晶体IA（晶）+ AxBy（晶）。（6）区：液态合金溶液（AxBy+B）。（7）区：AxBy（晶）+液态合金溶液L（AxBy）共存区。（8）区：B（晶）+液态合金溶液L（AxBy）共存区。（9）区：AxBy（晶）+共晶体IIB(晶)+ AxBy（晶）。（10）区：B（晶）+共晶体IIB(晶)+ AxBy（晶）。三、三、III-VIII-V族化合物相图简介族化合物相图
21、简介 常见常见III-VIII-V族化合物的相图归纳在图族化合物的相图归纳在图6-156-15（周永溶，（周永溶，P152P152，图，图6-156-15）中。）中。 （1）液相部分。III族和V族元素在液相时可以在任何组分下无限溶成为均匀的液态溶液，它们在III族与V族原子比1:1处生成一个固液同组分的化合物，且该化合物在冷却过程中组分不变。因此，要制备这些化合物的晶体时，可先制备组分为1:1的液态溶液，然后再结晶（即所谓直接按化学计量比的合成法制取III-V族化合物晶体材料）。（2）固相部分。它们都只存在三种固相状态，即是III族纯元素，V族纯元素和III-V族化合物（其中III族元素与V
22、族元素的原子百分比为1:1，或与1:1有很小的偏离）。三者之间的互溶度是很小的（图6-15中所示的相图中表示不出来）； III-V族化合物除InSb外，其熔点都比纯元素高（即所有系统，各自都有一个最高熔点，它高于任一纯组元的熔点，而且是各系统中的唯一的化合物）。三、三、III-VIII-V族化合物相图简介族化合物相图简介（3）固液相之间的转变对化合物加热升高温度，到熔化前不发生其它的相变，熔化后的液相组分与固相化合物的组分相同；反之，由III族元素和V族元素以1:1的比例（或各占50%原子百分比）熔制的液相溶液凝固时，产生同组分的化合物固相。因此，为得到化合物晶体，便可先制备组分为1:1的液相
23、溶液，然后结晶。组分不是刚好1:1的液相溶液从高温冷却时情况，以In-Sb相图为例，见图6-16（周永溶，P153，图6-16）。如果溶液中含有大于50%比如是60%的Sb，当温度下降到液线的D点，便开始凝结出InSb晶体，但注意此时固相InSb的组分E点与液相InSb的组分不同，固相InSb的组分不是含60%的Sb，而是含50%的Sb的固相InSb化合物。当温度继续下降，凝固出的InSb晶体逐渐增多，其组分都为含50%的Sb，而液相InSb的组分却不断变化，相应于图中的D点延液相变到共晶点C，到达C点（即对应494）后，凝固出的固体除InSb晶体外还有Sb元素的固相（一般称共晶体），在此温度
24、下，剩下来的液体将全部转变为共晶体（InSb（晶）+Sb（晶）。 在左半部不存在共晶点（这是因为靠近纯In的组分，即在左边轴上），图上已看不出来，这种不存在共晶点的现象或其共晶点消失的现象称为共晶点的退化。有些相图如AlSb、AlAs、GaAs、GaP等化合物的左右两边均发生其晶点的退化。 三、三、III-VIII-V族化合物相图简介族化合物相图简介 由上述对相图的分析，可以预见到制备化合物的方法，例如由上述对相图的分析，可以预见到制备化合物的方法，例如，从，从50%50%（原子百分数）的溶液冷却可得到组分为（原子百分数）的溶液冷却可得到组分为1:11:1的的InSbInSb晶体晶体；从；从5
25、0507070的的SbSb溶液冷却可得到溶液冷却可得到 InSbInSb( (晶晶)+)+共晶体共晶体 InSb+SbInSb+Sb( (晶晶) 若从若从0 050%Sb50%Sb的溶液冷却可得到的溶液冷却可得到InSbInSb( (晶晶)+In()+In(晶晶) )组成的共组成的共晶体等等。因此我们若设法用腐蚀等办法去除生成物的共晶体或晶体等等。因此我们若设法用腐蚀等办法去除生成物的共晶体或多余的多余的InIn或或SbSb，那么，我们便可得到化合物，那么，我们便可得到化合物InSbInSb晶体，在某种意晶体，在某种意义上讲，这也是一种制备化合物的途径。义上讲，这也是一种制备化合物的途径。 四
26、、蒸汽压问题四、蒸汽压问题 在制备在制备III-VIII-V族化合物的升温过程中，化合物将会发生不族化合物的升温过程中，化合物将会发生不同程度的解离，这是因为组成化合物的各组元元素有不同的蒸气同程度的解离，这是因为组成化合物的各组元元素有不同的蒸气压。因此，在讨论它们的化合物的制备时，还必须考虑各种元素压。因此，在讨论它们的化合物的制备时，还必须考虑各种元素以及它们的化合物的蒸气压问题。以及它们的化合物的蒸气压问题。III-VIII-V族体系的固族体系的固- -液液- -气三相气三相共存的相图可以用实验方法测出，讲义表共存的相图可以用实验方法测出，讲义表6-16-1列出了列出了GaGa-As-
27、As体系的体系的p-T-xp-T-x数据。数据。 根据表根据表6-16-1的数据可分别作出的数据可分别作出GaGa-As-As体系的体系的T-xT-x，p-xp-x，p-Tp-T图。图。图图6-106-10是是GaAsGaAs的的p-T-xp-T-x立体图中立体图中p-T-xp-T-x关系曲线在关系曲线在T-T-x,p-T,p-xx,p-T,p-x面面上的投影。上的投影。四、蒸汽压问题四、蒸汽压问题 根据化合物的根据化合物的p-t-xp-t-x图，就可以选择合成化合物和进行晶体生长图，就可以选择合成化合物和进行晶体生长的条件。的条件。 对于不同的对于不同的III-VIII-V族化合物，族化合物
28、，T-xT-x图，图，p-Tp-T图，图，p-xp-x图情况是不同的图情况是不同的。 后来经深入研究，对后来经深入研究，对GaAsGaAs体系的相图作了一些修正体系的相图作了一些修正 。6-26-2砷化镓单晶的生长方法砷化镓单晶的生长方法 III-VIII-V族化合物族化合物体单晶体单晶主要从主要从熔体中生长熔体中生长 方法有方法有水平布里奇曼法水平布里奇曼法 液态封存法液态封存法1.1.水平布里奇曼法水平布里奇曼法（horizontal horizontal bridgmanbridgman technique technique） 水平布里奇曼法水平布里奇曼法又叫又叫横拉法横拉法。与水平区
29、熔法与水平区熔法相似相似 两温区两温区HBHB法生长法生长GaAsGaAs设备图设备图6 61515 步骤步骤P145-146P145-1461.1.水平布里奇曼法水平布里奇曼法生长生长GaAsGaAs HB HB法步骤法步骤(1)(1)合成前的准备合成前的准备将将AsAs和和GaGa分别装入石英舟中。装分别装入石英舟中。装GaGa的石英舟用金刚砂打毛。装的石英舟用金刚砂打毛。装AsAs量要比按化学计量比的量多一些。量要比按化学计量比的量多一些。将装将装AsAs、GaGa的石英舟放入两端开口的石英管中，该石英管中间的石英舟放入两端开口的石英管中，该石英管中间有一隔窗，以隔开分别装有一隔窗，以隔
30、开分别装AsAs、GaGa的石英舟。的石英舟。(2)(2)高真空中除氧化膜高真空中除氧化膜GaGa除氧化膜。除氧化膜。P=1.3P=1.310-3Pa10-3Pa，T=700,t=2T=700,t=2小时小时AsAs除氧化膜。除氧化膜。P=1.3P=1.310-3Pa10-3Pa，T=280T=280，t=2t=2小时小时(3)(3)封闭石英管。在真空中用氢氧焰封闭。用石英撞针或固体砷打封闭石英管。在真空中用氢氧焰封闭。用石英撞针或固体砷打通石英隔窗。通石英隔窗。1.1.水平布里奇曼法水平布里奇曼法(4)(4)将石英管放入双温区炉中（将石英管放入双温区炉中（GaGa处于高温区炉，处于高温区炉，
31、AsAs处于低温区炉处于低温区炉）(5)(5)升温升温高低温区都升至高低温区都升至610610低温区恒温于低温区恒温于610610，高温区升到，高温区升到12501250(6) (6) GaAsGaAs合成合成 开动区熔机，使熔区锭由锭的一端移到另一端，得到合成好的开动区熔机，使熔区锭由锭的一端移到另一端，得到合成好的GaAsGaAs(7)(7)区熔区熔 GaAsGaAs合成后，将保温区退回锭的前端进行区熔，生长晶体。横合成后，将保温区退回锭的前端进行区熔，生长晶体。横拉法中可以放入籽晶，也可以不放籽晶。用降温法或慢速熔区拉法中可以放入籽晶，也可以不放籽晶。用降温法或慢速熔区法，使锭首熔体均匀
32、成核。法，使锭首熔体均匀成核。 1.1.水平布里奇曼法水平布里奇曼法 问题：粘舟问题：粘舟解决办法：解决办法： 将石英舟喷砂打毛将石英舟喷砂打毛 将喷砂舟盛将喷砂舟盛GaGa后，在后，在1000100011001100高温下热处理高温下热处理1010小时，生成一小时，生成一层高熔点的球状石英。层高熔点的球状石英。2.2.液态密封法液态密封法 液态密封法也称液态密封法也称LEPLEP（liquid encapsulation pulling techniqueliquid encapsulation pulling technique）法）法或称或称LEC( liquid encapsulati
33、on LEC( liquid encapsulation czochralskiczochralski method) method)法法 它是目前拉制它是目前拉制大直径大直径III-VIII-V族化合物晶体的最重要的族化合物晶体的最重要的方法。方法。 用这种方法可以拉制用这种方法可以拉制GaAsGaAs，GaPGaP, , InPInP等的大直径单晶等的大直径单晶6 63 3砷化镓单晶中杂质的控制砷化镓单晶中杂质的控制 6 63 31 1砷化镓单晶中杂质的性质砷化镓单晶中杂质的性质v砷化镓中杂质有砷化镓中杂质有族元素族元素BeBe，MgMg，ZnZn，CdCd，HgHg，它们一般是它们一般是
34、浅受主，浅受主，P P型掺杂剂型掺杂剂；但是它们也会与晶格缺陷结合生成复合体而呈现深受主能级。但是它们也会与晶格缺陷结合生成复合体而呈现深受主能级。族元素族元素S,Se,TeS,Se,Te在砷化镓中均为在砷化镓中均为浅施主杂质，浅施主杂质，N N型掺杂剂型掺杂剂。O O元元素在素在GaAsGaAs中的行为比较复杂。有浅施主和深施主能级中的行为比较复杂。有浅施主和深施主能级族元素（族元素（Si,Ge,SnSi,Ge,Sn）等在等在III-VIII-V族化合物半导体中族化合物半导体中呈现两性掺呈现两性掺杂特性。杂特性。 族原子在族原子在IIIIII族原子晶格点上时是施主，在族原子晶格点上时是施主，
35、在V V族原族原子晶格点上是受主。子晶格点上是受主。过渡元素过渡元素Cr,Mn,Co,Ni,Fe,VCr,Mn,Co,Ni,Fe,V, ,其中其中V V是施主杂质，其他都是深受主是施主杂质，其他都是深受主632砷化镓单晶的掺杂 GaAsGaAs常用的掺杂剂常用的掺杂剂 N N型掺杂剂型掺杂剂Te,Sn,SiTe,Sn,Si P P型是型是Zn Zn 高阻是高阻是CrCr，FeFe和和O O 掺杂的方法掺杂的方法可将杂质直接加入可将杂质直接加入GaGa中，也可以将易中，也可以将易挥发的杂质（如挥发的杂质（如TeTe）与砷放在一起，加热后通过）与砷放在一起，加热后通过气相溶入气相溶入GaAsGaA
36、s中掺杂中掺杂 砷化镓单晶中砷化镓单晶中SiSi沾污主要来源于沾污主要来源于GaAsGaAs熔体侵蚀石英熔体侵蚀石英器皿的结果器皿的结果. . 减少减少SiSi的沾污的沾污, ,主要措施是主要措施是: : 1. 1.采用三温区横拉单晶炉改变炉温分布采用三温区横拉单晶炉改变炉温分布, ,温度升高温度升高可以抑制可以抑制SiSi的生成的生成. . 2. 2.降低合成降低合成GaAsGaAs及拉晶时高温区温度及拉晶时高温区温度 3.3.压缩反应系统与压缩反应系统与GaAsGaAs熔体的体积比熔体的体积比. . 4. 4.往反应系统中添加往反应系统中添加O O2 2,Ga,Ga2 2O O3 3,As
37、,As2 2O O3 3, ,减少硅的沾污减少硅的沾污 5.5.改变改变GaAsGaAs熔体与石英舟接触的状态熔体与石英舟接触的状态, ,减少减少”粘舟粘舟”现象现象6 63 33 3砷化镓单晶中砷化镓单晶中SiSi沾污的抑制沾污的抑制6-4 6-4 GaAsGaAs单晶的完整性单晶的完整性 1.1.点缺陷点缺陷 在制备在制备GaAsGaAs晶体时晶体时, ,很难得到化学比是很难得到化学比是1:11:1的化合物的化合物, ,容易产容易产生生GaGa空位和空位和AsAs空位空位 2.2.位错位错 位错对器件的影响位错对器件的影响: :引起耿氏器件的电击穿引起耿氏器件的电击穿, ,使发光器件发光使
38、发光器件发光不均匀不均匀, ,寿命短寿命短; ;也能与点缺陷作用也能与点缺陷作用, ,减少缺陷减少缺陷- -杂质络合物的杂质络合物的形成形成. . 因此可以因此可以生长低位错生长低位错GaAsGaAs单晶单晶有时也是器件的需求有时也是器件的需求. . GaAsGaAs晶体中引入位错的原因晶体中引入位错的原因: : a:a:由应力引入位错由应力引入位错, ,如如HBHB法生长单晶发生粘舟将产生大法生长单晶发生粘舟将产生大量位错量位错. . b:b:生长时引入位错生长时引入位错, ,如籽晶中位错的延伸如籽晶中位错的延伸 选择合适的籽晶选择合适的籽晶( (如如,等等),),防止粘舟防止粘舟, ,调整
39、单晶炉调整单晶炉热场热场, ,稳定生长条件稳定生长条件, ,以及采取缩颈等工艺措施以及采取缩颈等工艺措施, ,可以生长出可以生长出无位错或者是低位错的无位错或者是低位错的GaAsGaAs单晶单晶. . 3. 3. GaAsGaAs中沉淀中沉淀在在GaAsGaAs单晶中单晶中, ,掺入掺入杂质的浓度足够高时杂质的浓度足够高时就会发现就会发现有有沉淀生成沉淀生成. .例如例如, ,重掺重掺TeTe的的GaAsGaAs中中, ,当掺入的当掺入的TeTe浓度浓度比比GaAsGaAs中载流子浓度大时中载流子浓度大时, ,有一部分有一部分TeTe形成电学非形成电学非活性的沉淀活性的沉淀. . GaAsGa
40、As中的中的微沉淀对器件的性能有很大的影响微沉淀对器件的性能有很大的影响, ,如如TeTe沉淀物使单异质结激光器内量子效率降低沉淀物使单异质结激光器内量子效率降低, ,吸收系吸收系数增大数增大, ,发光不均匀发光不均匀, ,使器件性能退化使器件性能退化. . 4. 4. GaAsGaAs晶体的热处理晶体的热处理 外延法生长的外延法生长的GaAsGaAs材料材料d d/dT/dT 0,0,体单晶材料则体单晶材料则d d/ /dTdT 0 0 原因原因: : GaAsGaAs材料中存在着较高浓度的深能级缺陷材料中存在着较高浓度的深能级缺陷 一般的半导体材料一般的半导体材料, ,室温下杂质已经全部电
41、离室温下杂质已经全部电离, ,升高温度升高温度, ,载流载流子数目增加子数目增加, ,但是由于但是由于GaAsGaAs禁带宽度较宽禁带宽度较宽, ,本征激发提供的载流本征激发提供的载流子浓度很少子浓度很少. .另一方面另一方面, ,升温会使得晶格散射作用增强升温会使得晶格散射作用增强, ,使迁移使迁移率很快下降率很快下降. .所以所以 =1/ =1/ =1/nq =1/nq 会下降会下降. . 所以在掺杂浅能级施主能级杂质的材料中所以在掺杂浅能级施主能级杂质的材料中d d/dT/dT 0 0 当材料中含有深能级电子陷阱时当材料中含有深能级电子陷阱时, ,如果它的密度超过或相当于如果它的密度超过
42、或相当于浅施主的状态密度时浅施主的状态密度时, ,大部分导电电子会被陷阱捕获大部分导电电子会被陷阱捕获, ,使材料呈使材料呈现高阻状态现高阻状态. . 当温度逐渐升高当温度逐渐升高, ,它们将逐渐电离参加导电它们将逐渐电离参加导电, ,使得晶体电阻率使得晶体电阻率下降下降, ,使得使得d d/ /dTdT0.0. 若把若把GaAsGaAs体单晶进行热处理体单晶进行热处理, ,可以消除或降低深能级电子陷阱可以消除或降低深能级电子陷阱, ,使使d d/dT/dT 0.0. 热处理方法热处理方法: :A:A:生长单晶后不打开石英管生长单晶后不打开石英管, ,在原气氛下降温退火在原气氛下降温退火B:B
43、:取出单晶取出单晶, ,在流动的在流动的H2H2下热处理下热处理, ,温度为温度为700700850850，时间，时间12h12h6 65 5 其他其他III-VIII-V族化合物族化合物半导体的制备半导体的制备 6 65 51 1 GaPGaP的合成与晶体生长的合成与晶体生长 GaPGaP单晶的生长方法：单晶的生长方法： 1.1.液态密封法液态密封法在在5.55.5 10106 6PaPa氩气气氛下，用氩气气氛下，用B B2 2O O3 3液封拉晶。液封拉晶。拉制拉制GaPGaP单晶的主要方法。单晶的主要方法。 缺点：液态密封法拉制的缺点：液态密封法拉制的GaPGaP单晶中有很多浅扁平单晶中
44、有很多浅扁平底圆形坑（底圆形坑（S S坑），不能直接用来制器件。但是用坑），不能直接用来制器件。但是用它做衬底再外延后，外延层中的缺陷密度会减少。它做衬底再外延后，外延层中的缺陷密度会减少。所以制作所以制作GaPGaP发光管时，总要用外延生长的材料。发光管时，总要用外延生长的材料。 2.2.合成溶质扩散法合成溶质扩散法 SSD(synthesisSSD(synthesis solute diffusion) solute diffusion) 步骤：坩锅中盛步骤：坩锅中盛GaGa，GaGa表面温度在表面温度在1100110011501150，坩锅，坩锅底部籽晶处在底部籽晶处在100010001
45、0501050，P P源温度在源温度在420420，这时产生约，这时产生约10105 5PaPa的的P P蒸汽，蒸汽， GaPGaP可以稳定生长。开始时，可以稳定生长。开始时，P P蒸气与处于蒸气与处于高温的高温的GaGa液表面反应生成液表面反应生成GaPGaP膜。此膜。此GaPGaP膜将溶解于下面的膜将溶解于下面的GaGa液中，并向坩锅底部扩散，并向坩锅底部扩散，由于坩锅底液中，并向坩锅底部扩散，并向坩锅底部扩散，由于坩锅底部温度较低，最后超过部温度较低，最后超过GaPGaP溶解度时，就会析出晶体。如果溶解度时，就会析出晶体。如果P P源足够，最后将源足够，最后将GaGa液全部转变成液全部转
46、变成GaPGaP晶体。如果有籽晶，则晶体。如果有籽晶，则会沿着籽晶逐渐长大成大晶粒。会沿着籽晶逐渐长大成大晶粒。 SSDSSD法最大有点是生长晶体中的法最大有点是生长晶体中的S S坑少，而且合成与晶体生坑少，而且合成与晶体生长都在常压下进行，并且掺杂的杂质长都在常压下进行，并且掺杂的杂质TeTe，S S的有效分凝系数的有效分凝系数比通常由熔体生长时大比通常由熔体生长时大3 34 4倍，因此所得到的晶体中杂质分倍，因此所得到的晶体中杂质分布比较均匀，但是生长速度比较慢而且多数情况下只得到多布比较均匀，但是生长速度比较慢而且多数情况下只得到多晶。晶。作业六 1.1.什么是直接跃迁型能带什么是直接跃迁型能带, ,什么是间接跃迁什么是间接跃迁型能带型能带? ?硅锗属于什么类型硅锗属于什么类型, ,砷化镓属于什么砷化镓属于什么类型类型? ? 砷化镓单晶的生长方法有哪几种？砷化镓单晶的生长方法有哪几种？