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1、1L-edit 使用教學2009/03/262L-Edit Operation ScreenLocatorLayout areaLayers paletteMouse bottonsDraw and Edit名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 1 页,共 9 页 - - - - - - - - - 3Menu barFile: Command for creating, opening, saving, and printing files.Edit: Command f
2、or copying, deleting, selecting, finding. View: Command for expanding or shifting the view.Draw: Command for transforming design element.Cell: Command for create, opening cells.Setup: Command for changing setup parameters for application.Tools: The integrated layer tools.4Drawing toolbarSelectiontoo
3、l.RectangularboxPolygon. . .Wire. . .Circle.Torus.ArcRuler. . .Port繪圖方法 :1.選擇適當繪圖工具2.按滑鼠左邊在 Layout area 繪圖3.量測線寬可使用Ruler 工具名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 2 页,共 9 页 - - - - - - - - - 5Layer paletteLayer nameLayer palette不同層光罩對應不同材料或用途在此選取定義之6Mouse bott
4、oms bar選取不同功能時滑鼠各鍵的功能會做改變顯示於此bar上名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 3 页,共 9 页 - - - - - - - - - 7Design setup: GridSetup ?Design ?GridDisplay grid:畫面顯示每個隔點的間距大小Cursor type: Snapping:限制滑鼠移動每單位會走多少距離.Cursor type: Smooth:不限制滑鼠移動每單位會走多少距離.Mouse snap grid:滑鼠移動
5、一單位所走的距離(對應到 snapping type)8Example: Draw beam s layoutBeam 完成後的側視圖:由Coventorware產生的 3D model名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 4 页,共 9 页 - - - - - - - - - 9Example: Draw beam s layout(cont)在Coventerware 中光罩繪製須考慮製程步驟以便產生所欲得到的3D model ,軟體的製程順序定義如下,所以在此例子中需
6、定義三道光罩10Example: Draw beam s layout(cont)也可以使用 Coventerware 來進行光罩的繪製,使用 L-edit 繪製的光罩檔也可在轉檔後於Coventerware 中讀取 此例於 Coventerware 中繪製完成的光罩圖形名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 5 页,共 9 页 - - - - - - - - - 11三道光罩分別為基板部分、anchor 部分、以及beam 的部份 利用 L-edit 繪製出這三部份的光罩此
7、例於 Coventerware 中繪製完成的光罩圖形12Substrate1.選取此層材質 :2.選取慾繪製圖形的形狀3.用尺規確認線寬繪製時按住滑鼠左鍵拖曳基板部分名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 6 页,共 9 页 - - - - - - - - - 13Substrate+anchor基板 +anchor 部分繼續進行 anchor 繪製動作 :Anchor 部分14Substrate+anchor+beambeam 部分基板 +anchor+beam部分名师资料
8、总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 7 页,共 9 页 - - - - - - - - - 15Operation1.Original point transfer (Q)2.Zoom window (z)3.Zoom in (+)4.Zoom out (-)5.Move view ( ?)6.Exchange view (x)7.Array8.Rotation16Save可存成 6.x或7.x版本 L-edit 可開啟之 .tdb 檔名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 -
9、 - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 8 页,共 9 页 - - - - - - - - - 17各繪製光罩軟體支援的檔案格式Coventerware: *.cat、*.sin 、*.dxf 、*.gds 、*.gds2 、*.cifLaker: *.gds 18Importing and Exporting filesImporting files: Files ?Import Mask Data支援格式 : .GDS2 and .CIFExporting files: Files ?Export Mask Data支援格式 :.GDS2 and .CIF名师资料总结 - - -精品资料欢迎下载 - - - - - - - - - - - - - - - - - - 名师精心整理 - - - - - - - 第 9 页,共 9 页 - - - - - - - - -