《最新半导体器件物理之半导体接触ppt课件.ppt》由会员分享，可在线阅读，更多相关《最新半导体器件物理之半导体接触ppt课件.ppt（36页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、291011气相）固相）(4(20120024HClSiHSiClC12（固相）干氧）（固相）22(SiOOSi干氧生长132222(2HSiOOHSi（固相）水汽）（固相）水汽氧化1422xCDtC)4exp()(),(22/1DtxDtStxC)2(),(DtxerfcCtxCs)/exp(0kTEDD15161718192021nJ0 xEFxEpJFpp0)(xnqkTnEqxnqDnEqJnnnn)(xnqkTnEqn xEnFn 0 nJ0 )/ln(iiFnnkTEE xEqEi 122)0()()0()( xxqNxxxqNxpAnD pnmxxx pAnDxNxN23sxxx
2、V )(22 nDsxxNqxV022022xxNqxVpAs0)()( xxxqNExxqNxEpsAmspA nsDmsnDxxxqNExxqNxE 0)()( 24)(2121pnmmbixxEWEVspAsnDmxqNxqNE |)2()(2WxxExVm25)(pngbiqVqVEqV)ln()ln(2200iDAipnnNNkTnpnkT20000ippnnnpnpn)ln()ln(0000pnnpbinnqkTppqkTV)exp(00kTqVppbipn)exp(00kTqVnnbinp)ln()ln()ln(002pVnCiVCPNkTnNkTnNNkT2627biDADAs
3、VNNNNqW)(2BbisqNVW2)2(2)/2(2biDBbisVLqNqkTVWBsBsDqNNqkTL2kTq/282930dVdQC/WWqNdWqNdssBB)2/()(22/1)/2(2qkTVVNqbiBs2/1)2(2VVLbiDsdVdQC/)2(2/1222VVLCbisDBssDNqLdVCd22)/1 (2223132xqxnpqxxExVsss)(222Wx2W2)2/()(22xWqaxEssqaE8W2m33sqa12WV3bi3/1biV12Wqas2i2ibi2naWlnqTn)2/aW)(2/aW(lnqTVkk21/3bi2sss32CF/cm)VV(12qaW)/12d(qaW/8)d(qaWdVdQC3435