最新去除磷硅玻璃幻灯片.ppt

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去除磷硅玻璃去除磷硅玻璃2v在扩散过程中发生如下反应：vPOCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面， P2O5与Si反应生成SiO2和磷原子：v这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃。什么是磷硅玻璃？PSiOSiOP4552252322524526PClOPOCl9检验标准v当硅片从1号槽氢氟酸中提起时，观察其表面是否脱水，如果脱水，则表明磷硅玻璃已去除干净；如果表面还沾有水珠，则表明磷硅玻璃未被去除干净。v甩干后，抽取两片硅片，在灯光下目测：表面干燥，无水迹及其它污点。10 结束语结束语