《薄膜物理与技术.doc》由会员分享，可在线阅读，更多相关《薄膜物理与技术.doc（5页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、【精品文档】如有侵权，请联系网站删除，仅供学习与交流薄膜物理与技术发布时间：2010-4-28 点击率：191一、课程总述本课程大纲是以2006年电子科学与技术专业人才培养方案为依据编制的。课程名称薄膜物理与技术课程代码17683课程性质选修课先修课程固体物理总学时数48周学时数3开课院系电子学院任课教师编 写 人胡光辉编写时间2006年9月课程负责人余泉茂大纲主审人熊新强使用教材杨邦朝，王文生，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，1994年1月教学参考资料郑传涛，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2004-1；田民波，薄膜技术与薄膜材料，清华大学出版社，2006-8；（美）J.L.沃森著，
2、薄膜加工工艺 1987.3薛址泉著，薄膜物理， 电子工业出版社 1991.9课程教学目的 薄膜材料以其独特的性质，为促进器件微型化、集成化发挥了重要作用。通过本课程的讲授，使学生在薄膜物理基础部分，懂得薄膜形成物理过程及其特征，薄膜的电磁学、光学、力学、化学等性质。在薄膜技术部分初步掌握各种成膜技术的基本内容以及薄膜性能的检测。课程教学要求掌握物理、化学气相沉积法制膜技术，了解其它一些成膜技术。学会对不同需求的薄膜，应选用不同的制膜技术。了解各种薄膜形成的过程及其物理特性。理解并能运用热力学界面能理论及原子聚集理论解释薄膜形成过程中的一些现象，了解薄膜结构及分析方法，理解薄膜材料的一些基本特性
3、，为薄膜的应用打下良好的基础。本课程的重点和难点重点：真空的获得和真空测量的工作原理；物理气相沉积和化学气相沉积的原理及方法；薄膜生长的机理。难点：磁控溅射的机理及控制；MOCVD技术；薄膜形成过程的机理；课程考试 以期末考核成绩为主，平时考核成绩为辅。期末考核成绩占70%。平时考核成绩占30%。期末考核方法为闭卷笔试，考试范围为课程所有内容。平时考核由考勤、平时测验、课堂作业等综合评定。二、教学时数分配章 目教 学 内 容教学时数分配课堂讲授实验（上机）1真空技术基础22真空蒸发镀膜63溅射镀膜84离子镀膜35化学气相沉积46溶液镀膜法37薄膜的形成68薄膜的结构与缺陷89薄膜的性质8合 计
4、48三、单元教学目的、教学重难点和内容设置第一章真空技术基础【教学目的】 真空技术是薄膜制作的基础，【重点难点】真空获得的一些手段及常用的测量方法。【教学内容】真空的基础知识及真空的获得和测量。第二章 真空蒸发镀膜法【教学目的】 蒸发镀膜是最常用的镀膜技术，设备简单，成膜质量高，成膜速率快，是真空镀膜的基础。【重点难点】 蒸发源与基片的配置。掌握根据不同材质镀膜的需求，选择蒸发源的类别及配置。理解金属、合金及化合物蒸发过程中的特点。【教学内容】 真空蒸发原理，蒸发源的蒸发特性及膜厚分布，蒸发源的类型，合金及化合物的蒸发，膜厚和淀积速率的测量与监控。第三章 溅射镀膜【教学目的】 基于高荷能离子轰
5、击靶材时的溅射效应，可适用于任何物质的溅射镀膜技术，由于成膜粒子能量高，是一种制取高质量膜的技术。【重点难点】 理解溅射镀膜的机理，气氛和高压是各种溅射的基础条件，磁控溅射是提高成膜效率和质量的关键。掌握一些基本溅射方法。【教学内容】 介绍溅射镀膜的特点，溅射的基本原理，及各种溅射镀膜类型。第四章 离子镀膜【教学目的】 集真空蒸发和真空溅射技术而发展起来的一种新的镀膜技术，离子镀膜具有独特的优点，近年来在国内得到迅速发展。【重点难点】 理解离子镀的特点和原理、和蒸发及溅射的区别。【教学内容】 介绍离子镀原理，离子镀的特点，及各种离子镀的类型。第五章 化学气相沉积【教学目的】 区别于物理气相沉积
6、法的一种化学相沉积法，可以不在真空条件，利用各种气体反应制成各种成分的薄膜，显示出独特的优点。【重点难点】 理解化学气相沉积的特点并掌握制膜的几个主要阶段。【教学内容】 介绍化学气相沉积的基本原理，化学气相沉积的特点，几种主要的CVD技术。第六章 溶液镀膜法【教学目的】 了解几种主要的湿法制膜技术。 【重点难点】 化学镀，阳极氧化法，LB制膜法。【教学内容】 介绍几种主要的不需要真空环境的湿法制膜技术，如化学镀、电镀、溶胶凝结法，LB膜法。第七章 薄膜的形成【教学目的】 从物理的角度，介绍薄膜形成过程的机理，及与其相关的许多因素的影响。【重点难点】 理解用热力学界面能及原子聚集理论解释成核过程
7、，并掌握其数学的表达式。【教学内容】 凝结，成核长大，薄膜形成与生长过程。第八章 薄膜的结构与缺陷【教学目的】 薄膜的结构与缺陷在一定程度中决定着薄膜的性能，通过多种分析方法了解薄膜的结构与组分，对改进与掌握薄膜制备方法起到辅助作用。【重点难点】 薄膜中存在的几种缺陷，掌握几种常用的薄膜结构的分析手段。【教学内容】 薄膜的组织晶体，表面结构及薄膜的点、线、面缺陷，及几种常用的薄膜结构与组份检查方法，如X射线衍射法、电子衍射法、扫描电子显微镜法、俄歇电子能谱法、X射线光电子能谱法和二次离子质谱法等。第九章 薄膜的性质【教学目的】 不同的薄膜材料，有不同的性质，通过介绍几大类薄膜材料，使学生了解各种薄膜不同的应用领域及前景。【重点难点】 了解薄膜的一些力、电、半导体、磁特性，及这些特性的使用价值【教学内容】 薄膜的力学、电学性质，及半导体、磁性、超导薄膜的特性及薄膜的应用。 .精品文档.薄膜物理与技术课程教学大纲