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1、精选优质文档-倾情为你奉上 ESD防护 1、目的: 为明确规范公司ESD管制技术标准，以及在整个生产过程中提供ESD防护及控制技术支持，完善公司ESD体系，从而达到提高客户满意度的最终目的。2、范围： 本规范适用于整个制造及运输过程。 3、定义： ESD：Electrostatic Discharge 静电释放。 EPA：静电防护区 ESSD：静电敏感元器件 静电：物体间因为相互摩擦而导致正负离子在接触表面聚集，当离子数量聚集到一定数量时，在表面产生电压，这就是静电。4程序： 4.1 EPA区域的划分： 4.1.1 EPA区必须具备以下基本环境要求：有明确的区域界限和防静电标示，对区域内所有导
2、体和人员可靠接地。 4.1.2 EPA静电敏感度等级： 4.1.2.1静电敏感度等级防范要求为200V，应尽量避免200V以上静电荷源，如无法避免，需采取有效方式消除。 4.1.2.2采用防静电标示与其它区域隔开，未采取有效防静电措施的人员，物料，设备，工具等皆不能进入。 4.1.2.3进入静电防护区域的人员应做好防静电要求，包括防静电工衣，静电鞋，静电帽，手腕带等测试合格后方可进入。 4.2 EPA的ESD控制措施； EPA控制措施按照下表实施：ESD控制措施要求ESD控制措施要求静电电压控制标准小于200V辅助工具防静电要求防静电标示要求静电材料禁止带入EPA要求防静电地板或地垫要求区域封
3、闭性可选防静电桌垫要求出口控制可选防静电腕带要求静电电压表可选防静电手套，指套要求表面电阻测试仪可选防静电工作服要求人体综合测试仪要求防静电工作鞋要求接地系统测试仪可选防静电工作椅要求离子风机要求防静电周转工具要求例子风机测试仪要求防静电包装材料要求防静电资料夹可选防静电烙铁要求防静电液要求防静电吸锡器要求办公区独立区域4.3 EPA标示； 防静电工作区，防静电包装材料，防静电周转工具和设备仪器的接地都应该有防静电标示。防静电标示的作用是警告任何靠近防静电区域的人员，必须按照防静电的标准规范进行操作。 4.3.1任何防静电工作区都必须有明确的区域标示，除非此区域是在防静电安全工作区内。标示上应
4、有注意说明，如“注意，静电安全工作区”或同意语，不可用“注意”，“静电”，“危险”等词。EPA标示所在位置及大小应保证至少在距离EPA区域外1米处可见。4.3.2应该使用黄黑相间的防静电地板胶带将每个防静电区域围起，并在比较显眼的胶带的入口处和中间位置贴上EPA区域边缘标记，其宽度为4-5cm，如下图所示。4.3.4 防静电器材，工具及静电敏感组件都应有明显的标示，如下图所示， 4.3.5有直接接触静电敏感组件的设备需贴上静电敏感设备标示，如下图所示 4.4 EPA的工程环境的防静电规范；4.4.1 EPA环境要求： EPA区的温度应该控制在18-30，湿度应该控制在30%-70%，区域内应配
5、备温湿度计，并在每天开工前进行点检记录，如点检结果不符合要求，应立即通知厂务进行处理，每月的温湿度点检记录应分类保存，保存年限在两年以上。 4.4.2 地面的技术要求； 4.4.2.1地板的防静电要求：为使人体静电能及时有效地通过地板泄漏到大地上，要求地板具有一定的导电性能，如下表为各种地板的泄漏电阻。（单位：）地坪材料名称泄漏电阻地坪材料名称泄漏电阻石104-109沥青1011-1013混凝土105-1010聚氯乙烯1012-1015一般刷漆地面109-1012导电性水磨石105-107橡胶109-1013导电性橡胶104-108木，木胶合板1010-1013导电性聚氯乙烯107-1011
6、4.4.2.2 防静电地板的定期检查与维护保养； 检查测量应在标准温湿度条件下进行，当地面附有绝缘性的油膜，树脂，橡胶或是其它脏污时，应根据实际情况定期清除，清扫防静电地板时候不可使用绝缘性的地板蜡。4.4.3 EPA的防静电接地保护技术要求； 4.4.3.1 接地线：接地主干线的截面积应不小于35mm2 ，支干线的截面积应不小于 16mm2 ,工作台及设备静电接地线应使用截面积不小于1.25mm2的敷塑导线，并以黄绿色为宜。 4.4.3.2 防静电设备的连接端子应确保接触可靠，易拆装，最好使用插头座。 4.4.3.3 接地电阻：指接地体与大地之间的接触电阻，静电保护接地电阻应小于1。 4.4
7、.3.4 地线的埋设：地线的埋设原则是埋设的地点土壤电阻系数越小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。应使用耐腐蚀的接地体金属，接地体与接地线焊接要牢固，引线不要过长。 4.4.3.5 静电接地线的定期检查与维护； 厂务部门为确保静电接地线有效接地，应定期对接地线进行维护，对生锈的接地线要进行更换，对松动接触不良的接地线要重新连接。 4.5 EPA的人员防静电规范； 4.5.1 各类人员的防静电知识培训要求及职责：所有有可能进入EPA及可能接触静电敏感元器件的人员都必须接受ESD相关知识的培训，这既是对每各员工的基本要求，也是减小静电危害最有效的途径。4.5.1.1所有新进
8、直接员工上岗前必须接受两个小时的ESD理论知识培训，并讲解本规范内容，并考试合格者方可上岗。 4.5.1.2 所有在职员工每年必须接受不少于两小时的ESD知识再培训，培训的内容包括ESD新规范，新技术等。 4.5.1.3 工艺人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解电子工业生产过程中的防静电工艺技术，在实际生产过程中知道作业人员落实防静电措施。 4.5.1.4 质量管理人员必须接受较为专业的ESD知识培训，了解各种ESSD的静电敏感性能及防护知识，监督静电防护工程的实施，并评估其效果。 4.5.1.5 采购部人员必须接受基本的ESD知识，熟悉ESSD品种，规格，标示及防护方法，在物料采购及运
9、输过程当中严格遵守ESD防护规范。4.5.1.6 仓储转运人员必须接受ESD 基本知识培训，懂得在储存和转运过程中防护 ESSD 静电器件及相关的存放操作要求。4.5.1.7 检验和试验人员(包括外购件入厂检验试验和产品检验人员)必须接受较为专业的ESD知识培训，熟练掌握ESSD 的检测知识和防静电器件的 检测方法，严格按设计技术档要求和工艺规程进行检验和试验。4.5.1.8 负责防静电接地和布生产线的人员，应接受较为专业的 ESD 知识培训，熟悉防静电接地系统要求，掌握地桩、地线、及其它防静电设施的敷设或安装。4.5.1.9 生产管理人员应了解 ESD 基本知识，严格按静电敏感器件的设计档要
10、求和工艺规程组织生产，并开展对生产员工的静电防护日常教育。4.5.1.10 计量检定人员也应了解ESD基本知识，尤其是关于防静电仪器的校验知识，要定期调校防静电检测器材，保证其安全、有效。4.5.1.11 提高培训是针对ESD工作骨干人员组织的静电防护技术的高级培训，适用于 ESD小组成员、区域ESD责任人、各部门 ESD工作优秀人员和 ESD责任人的预备人选等。提高培训由公司ESD负责人根据需要不定期举行。提高培训的内容主要是 ESD 标准的学习讨论ESD新技术的学习，ESD案例学习和疑难问题讨论等。 4.5.2 人体静电防护系统；4.5.2.1 防静电工作服（帽）：防静电工作服是指为防止静
11、电荷积累，用防静电织物作 为 面料而制成的工作服，样式有连体式、分体式等。防静电工作服主要用来泄放人体高绝缘性能的服装所产生的静电或减少人体静电产生。防静电工作服的主要技术指标如下表。技术指标A级实验方法带电量0.6C/件耐洗涤时间33.0h防静电服使用要求: 应根据所制造或操作的 ESSD 的静电敏感度的不同，选用不同等级的防静电布料和防静电工作服。防静电工作服应在首次穿用前作防静电性能检测，只有测试合格方可投入使用，穿用一定时期后应对其防静电性能进行复测，防静电大褂衣和夹克衣每周应做一次防静电特性复测，对于检测不过关的防静电大褂衣和夹克衣应停止使用，更换新的。4.5.2.2 防静电工作鞋：
12、作业人员必须穿防静电鞋，经过人体综合电阻测试合格后，方可进入静电敏感区域工作。防静电工作鞋每半年应做一次防静电特性检测，对于检测不过关的防静电工作鞋应停止使用，更换新的。4.5.2.3 防静电手套或指套：在 EPA 内，操作员工应戴上防静电手套或指套，防静 电手套或指套兼具防腐蚀的功能。在不便使用有绳防静电腕带的岗位，如流动操作岗位，须使用防静电手套。坐式操作，必须佩戴腕带。防静电手套和指套较脏时应及时清洗干净，手套使用期限为一月，到有效期后，统一以旧换新，有破损统一更换。4.5.2.2 防静电腕带：防静电腕带是通过腕带与皮肤的直接接触和静电线接地的方 式，将人体皮肤表面静电泄放掉，由松紧圈和
13、接地组件构成。松紧圈的要求是体积电阻率100cm接地组件必须串接一定数值的电阻，以确保操作者意外触及高电压时不致发生人身伤害。该电阻的选择原则是，一方面应保证操作者在触及线电压时流过人体的电流不大于5mA，另一方面又要保证人体所带的静电能通过该电阻很快泄放，使皮肤上的静电压小于200V，一般该电阻阻值取为106。进入静电敏感区域应将防静电环连接好，与皮肤完全接触，保证防静电环正常有效的工作。腕带佩带方法：将腕带扎于手腕处，不能松动，手腕感觉四周握紧。保证手腕带内表面与皮肤良好接触，鳄鱼夹夹紧接地线。每班开工前，每位员工都应自检防静电环是否正常，并在静电手环点检表上作好记录，只有测试合格，才可以
14、进入静电敏感区域工作。4.6 静电敏感区域的防静电操作规范； 4.6.1 所有的ESSD及其部件的操作必须在静电安全工作台上进行。贮存和运输ESSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。拒绝接受未包装在防静电容器里的ESSD。运输 ESSD及其部件时，应将其放入防静电包装内进行，必要时，应用离子风机来消除在运输过程中产生的静电。4.6.2 新布置的生产线或工位等都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.3 新投入防静电敏感区域的防静电材料，包括主料，辅料和包装材料都应进行ESD认可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.4 新投入防静电敏感区域的防静电工具等都应进行ESD认
15、可，只有认可合格后，方可给生产线使用。4.6.5 不具备防静电功能的必备工具和用具，应放在防静电桌垫上，并应置于离子风机的作用范围内。4.7 静电敏感区域的工作台、工装、设备以及防静电器材的防静电规范；4.7.1 基本防静电要求：防静电工作区内的各种设备、工具、工装仪器都应实施静电防护措施，如接触元器件的部分应使用防静电材料(体积电阻1011)应采用静电中和或涂抹防静电涂液、涂层等其它防护措施进行有效的接地(硬接地软接地)。4.7.2 防静电工作台的技术要求：防静电工作台是防静电工作区的主要组成部分，下面为标准的防静电工作台技术要求；4.7.2.1 工作台垫和地垫均应采用防静电材料。静电台垫和
16、地垫上任意一点的系统电阻和表面电阻均为：1104 11011静电泄放至 100V 以下的时间小于1S。4.7.2.2 防静电腕带的泄漏电阻为 110610，静电泄放至 100V 以下的时间小于 0.1S。4.7.2.3 防静电工作椅:防静电工作椅上任意一点和人体接触的地方（椅垫，靠背或扶手）到工作椅的任意一个导体脚轮的电阻应该满足1106 1109（不依赖于相对湿度）；工作椅表面的摩擦电压必须小于 100V 或高静电电压泻放到 100V 以下的时间小于 2 秒。4.7.2.4 电离器：在不能有效泄放静电的场合，可采用电离器通过电离空气产生的正负离子，来防止和中和在元器件上及其它物体上的电荷积累
17、。要求电离器对静电电压的消除能力大于 100V/S。电离器的平衡度要求小于15V，静电消散时间要求从 1000 伏下降到 100 伏的时间要求小于 2 秒（中档风量）。4.7.2.5 增湿器：当相对湿度较低时，可恰当的使用增湿器，通过恒定的潮湿气流，防止静电荷积。但此方法不适于非密封电子元器件。操作时要注意因湿度增加而导致的有害影响。4.7.2.6 接地系统：包括限流电阻和连接端子，应连接可靠，并具有一定的载流能力。限流电阻阻值的选择应保证漏泄电流不超过 5mA，下限阻值应为 1M。防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，接地电阻小于 4。防静电地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共享。
18、另外，工作台面、地垫、其它 ESD 保护设施均应通过限流电阻接至公共地线，腕带应通过工作台顶面接地点与地线连接。工作台不能相互串联接地，而应分别接地。 4.7.3 工作台的电气要求；静电源静电电位泄放至 100V 以下的时间小于 1S，静电防护操作系统的电阻上限为 1011 ，防静电操作系统的泄放电流不得超过 5mA，为此防静电操作系统的电阻下限为 104 绝缘体上的静电采用电离器中和加以消除。4.7.4 防静电工作台的接地要求；4.7.4.1 防静电工作台的台垫和地垫，分别串联 1M+-10%的电阻接地(即软接地)。4.7.4.2 防静电工作台垫和地垫上任意一点与地线配置系统间的电阻小于11
19、011。4.7.4.3 接地电缆应采用中间无接头、且具有足够的机械强度。4.7.4.4 多台防静电工作台的接地线不能相互串接。4.7.4.5 防静电工作台上的测试仪器、稳压电源、电动工具、和电离器等所有外部零件表面、屏蔽面均应接地，对地线配置系统电阻值不大于 2，所有接地点应集中接于一点，就近牢固搭接至地线系统上，稳压电源尽可能远离工作台。 4.7.4.6 为带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型， 以使其配接时工具和设备的金属外壳能够自动接地且接地脚要首先接地，断电时接地脚最后断开。4.7.5 落地设备的防静电技术要求；4.7.5.1 落地设备如SMT、清洗机、流水
20、线等等应采用硬接地，即直接或通过一个低阻抗同防静电地线相连设备的接地线应采用截面积不小于1.25mm2的敷塑导线，接地线颜色以黄绿色线为宜。4.7.5.2 具有自动传送带或滚筒式的流水线，线体应统一接入大地网，并使线体上任一点与大地的接地电阻均小于4。4.7.5.3 流水线的自动传送带应使用防静电材料(表面电阻小109)，并通过导线或导体与线体连接。流水线的自动传送带常常通过金属的传送轮接到线体，金属轮应定期清洁而保证皮带有效接地。4.7.5.4 流水线体上的工装板应通过静电导体与线体连接，达到与线体等电位。4.7.5.5 自动线体上按作业岗位需要，设置接地点，以便操作者能随时连接防静电腕带。
21、4.7.6 台式设备的防静电技术要求；台式设备如元器件成型机、半自动或手工插件机等应通过台垫实施软接地，即在放置台式设备的工作台面上铺设防静电台垫，并将台垫有效接地。4.7.7 工具的防静电技术要求；4.7.7.1 带有金属外壳的便携工具及仪器、设备提供的电源插头座，应选用安全型。4.7.7.2 防静电烙铁的金属外壳应接保护地，烙铁头必须具有硬接地通路，烙铁头的接地电阻要求1.0，由于烙铁头的高温氧化问题，日常检查测试时烙铁头接地电阻20可以接受。防静电烙铁手柄的绝缘电阻为11071108. 防静电烙铁应使用万用表每月检查一次。4.7.8 制工具的防静电技术要求；4.7.8.1 橡胶、塑料、化
22、纤、有机玻璃等高分子材料都具有很高的电阻率，极易在使用过程中因接触-分离、摩擦、碰撞等作用而产生、积累起很强的静电，诸如此类在工程中常用的丁基橡胶、ABS塑料、PVC塑料、涤纶等材料都属工装慎用材料，对这些材料必须进行防静电处理或用防静电材料取代。4.7.8.2 如果接触静电敏感元器件的部分使用了金属材料，则注意一定要将工装进行软接地(例如放在防静电垫上接地)。4.7.8.3 如果由于特殊原因，工装上接触静电敏感元器件的部分使用了非防静电材料(表面电阻1011)，则应该采用静电中和或涂抹防静电涂液涂层等其它防护措施。4.7.9 防静电容器及周转设备技术要求；4.7.9.1 防静电包装材料：在静
23、电敏感器件和印制板的包装和储存中，为避免物料与高绝缘包装袋的摩擦而产生静电、受到ESD损害，必须使用防静电包装袋。同时，为避免外界强电磁场的干扰与感应，必要时，应使用具有屏蔽作用的防静电袋。防静电包装袋每6个月检测一次，标准参照测试技术指针，测试仪器是兆欧表。实际操作请参考ESD包装规范。4.7.9.2 防静电容器(包括周转箱、元器件存放盒、印制板架等，周转栈板类器具可参考货架ESD管制规格)：在电子产品生产中，在各工位、各工序间用于传递和储存ESD和单板的各类容器，以及用于产品包装 发货的容器，都应具备防静电性能，而不允许使用金属和普通塑料容器。必要时，存放部件用的周转箱应接地。防静电容器每
24、6个月检测一次，标准参照测试技术指针，测试仪器是兆欧表。4.7.9.3 防静电周转车：转运、暂存ESD或含有ESD的整、部件产品时，应使用有防静电性能的周转车。为保证接地良好，可在车底加装接地金属链使用中，应避免导电车轮脱离地面的情况出现，还应作好标识，定期清洁导电轮，一般每周一次。 4.8 EPA内特殊情况处理；4.8.1 原则上不允许高静电产生材料进入EPA区域，因实际需求必须进入EPA的高静电产 生材料需要进行适当的控制，使静电风险减至最小。EPA内存在高于100V的静电源必须采取正确的防静电处理措施，如显示器、键盘、工具和装备上的静电源、特别是必须进入EPA的高静电生产物料（如不防静电
25、的包装材料）。防静电处理的主要措施有离子化、防静电剂、屏蔽、接地等。工装和装备中、操作测试过程中有静电难以消散的静电源应考虑使用静电消除装置（如离子风机）或防静电剂。对于客观情况造成的 EPA 区内的高静电情况，可以采取分区隔离的方法，保证 EPA 内任何充电的或可充电电压超过 200V 的物体应该保持距离静电敏感器件 30 厘米以上，并使 EPA 外部的高静电源远离 EPA 1 米以上距离。4.8.2 针对我公司的实际情况，在 EPA 区内需要设立专门的静电控制区，如办公区、包装和拆包区、周转工具区等，这些区都有高静电发生材料和设备，如 CRT 显示器、档夹、包装胶带、不防静电泡沫、不防静电托盘等。必须划分明显的区域，且用黄底黑字的地板胶带将该区围起，并设立明显的指示牌标志，告诫高静电产生材料、工具、设备等不得在该区外使用。高静电产生材料、工具、设备和 ESD 生产区至少保持 1 米以上的距离，ESD不得在无包装的情况下带入该区。 5、相关窗体：7.1 ESD防护管制规格表 7.2 ESD总线接地点检表 7.3 静电手环点检表 7.4 静电电压记录表 7.5 静电接地电阻点检表 7.6 表面电阻系数记录表专心-专注-专业