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1、精选优质文档-倾情为你奉上四川永祥多晶硅有限公司四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目安全阀及爆破片技 术 协 议 买方：四川永祥多晶硅有限公司签字：卖方：永一阀门集团有限公司签字：二一四年七月四川永祥多晶硅有限公司（以下简称买方）与华陆工程式科技有限责任公司（以下简称设计方），永一阀门集团有限公司（以下简称卖方），就买方四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目191台安全阀及爆破片的设计、原材料采购、制造、检验验收、包装、运输等达成如下技术协议。本技术协议作为商务合同的附件，与商务合同具有同等法律效力。1 总则1.1本技术附件仅适用于四川永祥多晶硅有限公司四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目191台安全阀及爆破片的
2、订货。1.2安全阀的设计、原材料采购、制造、检验、试验和交货应严格按照买方提供的安全阀安全阀及爆破片数据表、相关标准规范和本技术协议进行。1.3买方及设计方对卖方提供的资料的确认，并不能免除或减轻卖方对合同所有条款应负的责任。1.4 卖方应具有相应的安全阀的设计、制造资质。1.5在合同执行过程中，卖方对买方及设计方提供的技术文件的个别条款存在异议，应事先向买方及设计方提出，由双方协商解决。1.6卖方的技术文件的计量单位除温度和压力外均采用SI制。温度采用摄氏度；压力单位采用MPa。2 制造依据2.1安全阀及爆破片询价文件2.2以本技术协议中所引用的相关规范和标准为主，当上述依据中的条款发生矛盾
3、时, 应按严者执行。3卖方供货范围、备品备件及分包商3.1 供货范围3.1.1安全阀及爆破片的详细供货数量见安全阀清单。3.1.2卖方应提供3.1.1所述设备的设计、原材料采购、制造、组装、检（试）验、包装、运输、铭牌等服务，所有安全阀均应按API规范设计制造。安全阀进出口均为法兰连接，接口法兰标准为HG/T20615-2009，法兰密封面的形式应符合安全阀数据表的要求。安全阀与工艺接管连接的配对法兰(法兰材质入口按阀体材质考虑，出口按碳钢考虑)及附属的垫片、螺母和螺栓由卖方提供。3.1.3具体包括：卖方应提供整套符合要求的安全阀设备。试验报告或检验报告设备涂漆或包装本技术协议规定的卖方应该提
4、供的技术文件其他记录文件及现场服务应包括：计算书、产品合格证、原材料（阀体、波纹管、阀座、弹簧）等材质单、所有检验和试验报告、喷砂和油漆记录、安装操作和维修手册及对买方的现场服务。注：（1）卖方设计的安全阀在合同生效后2周内提供2套详细计算结果及图纸报送买方及设计方确认后，方可进行制造。但买方及设计方的确认与意见并不能减轻卖方所应该承担的责任。（2）卖方提供的安全阀供货范围包括卖方对安全阀的设计、制造、运行、交付及性能负全责。4 执行标准4.1 标准规范下列标准的最新版本作为安全阀的设计、检验、制造的执行标准：API RP 520 炼油厂泄压设备尺寸确定、选型与安装API 526 钢制法兰连接
5、泄压阀API 527 压力泄放阀的金属密封度ASTM A216 可熔焊高温用碳钢铸件ASTM A217 高温承压零件用马氏体不锈钢和合金钢铸件ASTM A182 高温用锻制或轧制合金钢管道法兰及锻造管配件、阀门及零件ASTM A351 承压元件用奥氏体、奥氏体-铁素件（双相）铸件ASTM A320 低温用途合金钢螺栓材料ASTM A193 高温用途合金钢螺栓ASTM A194 高压与高温用途碳钢以及合金钢螺母NACE MR-0103 腐蚀性炼油环境下抗硫化物应力开裂的材料ANSI B16.11 锻制承插焊和螺纹管件API 521 泄压和降压系统指南ASME Sec V 无损检测ASME PTC
6、25 泄压装置性能试验规范ASME 压力容器建造规则TSG ZF001-2006 安全阀安全技术监察规程HG/T20615-2009 管法兰与法兰管件ASME / ANSI B16.34 阀门面至面与端至端尺寸ASME / ANSI B46.1 表面特性（表面粗糙度、波纹度与加工纹理）ASME / ANSI PTC 25.3 性能考核规范：泄压设备术语ASME锅炉与压力容器规范第一卷 动力锅炉规范 4.2 文件优先级在招标与合同执行的过程中，如果安全阀数据表、订单与相关标准等发生矛盾，卖方应在设计和制造之前向买方及设计方提出澄清申请。在正常情况下，文件的优先执行顺序由高到低为:订单技术文件（包
7、括本技术协议、SEI提供的安全阀安全阀数据表）美国国家及行业标准规范其它标准注：1. 执行标准与安全阀技术条件、本技术协议三者互补，如有矛盾时应按较严者执行。2. 以上标准未注版本均应采用最新版本。5材料要求5.1卖方应严格按照华陆工程科技有限责任公司提供的安全阀及爆破片数据表中的相关要求确定安全阀相应零部件的材质，各个零部件的材质不得低于安全阀数据表的要求。5.2全部材料应整体表面清洁，没有缺陷、焊渣、电弧冲击、锈蚀、污垢、夹砂、油漆和其它全部杂质。5.3全部材料应根据安全阀数据表和适用的材料规范检验。阀体、阀盖、法兰及过流部件的材料，应根据使用条件和制造要求选用，满足设计工况，并应符合AS
8、TM A182、ASTM A216、ASTM A217和ASTM A351等的规定。5.4各种材料的安全阀压力温度等级符合API526的规定。5.5如果安全阀安全阀数据表注明的材料不能满足设计压力/温度要求，卖方应及时与买方及设计方协商处理。5.6奥氏体不锈钢材质的安全阀的供货状态为固溶处理状态。5.7填料和垫片阀门内垫片的选择应符合工艺条件的要求(不得使用含石棉、石墨的垫片)。5.8所有阀门材料的化学成分和机械性能均符合ASME标准。6 安全阀的设计6.1一般要求6.1.1 卖方保证所提供的安全阀满足技术安全阀数据表的要求。6.1.2卖方提供所有安全阀的计算书供买方及设计方确认。6.1.3对
9、接焊缝（如有）应100%RT检验。6.1.4法兰密封面，连接件的表面均应100%MT或PT检验。6.1.5法兰、连接件不允许有返修焊缝，安全阀的锻件，至少应为二级。6.1.6卖方提供的最终图纸需设计方及买方确认。6.1.7检验和试验计划应提交给设计方及买方，以供需要时现场见证。6.1.8法兰及法兰密封面的形式应符合规格书的要求。6.2 技术要求6.2.1安全阀应根据ASME第八卷或相当于中国规范的要求进行设计以及制造，并应该符合华陆工程科技有限责任公司提供的安全阀数据表中的有关要求。对于液体用途的阀门,除非安全阀数据表上另有规定，否则ASME规范第八卷也适用。6.2.2法兰面以及尺寸应符合HG
10、/T20615-2009的要求。API 526允许卖方所设计的进口突面高度超出HG/T20615-2009 所规定的公称尺寸。6.2.3法兰连接的普通安全阀、波纹管以及先导式安全阀应符合API 526 的要求。任何与API 526的偏差应征得买方及设计方认可。6.2.4根据ANSI B 46.1, 突面法兰连接阀门端部的垫片接触面的Ra（平均粗糙度）应在125与250 AARH(3.2与6.3微米)之间，而环连接法兰阀门的垫片接触面的Ra（平均粗糙度）应为63 AARH (1.6微米)。6.2.5安全阀上的螺栓及螺母材料应符合ASTM A 193、A194标准。安全阀螺栓、螺母材料的要求应适应
11、安全阀所工作的条件，并且应与阀体材料相配。6.2.6阀盖、阀帽的材质应与阀体的材质相同或相近。6.2.7弹簧材料应适合安全阀数据表所规定的使用条件，并符合安全阀数据表的要求。6.2.8水压试验应符合ASME/ANSI B16.34或相当卖方标准的要求。阀座密封应符合API 527的要求，卖方提供试验报告。6.2.9在制造前，卖方的计算书应征得买方及设计方认可。弹簧冷压差试验压力应包括在计算书中。6.2.10泄压能力以及孔口尺寸应符合ASME第八卷的要求。若ASME不适用，可采取API RP520标准。6.3阀门选型先导式安全阀动作形式要求选用可调节式（Mdulating）。安全阀的选型应严格按
12、照华陆工程科技有限责任公司提供的安全阀数据表中的要求进行选型,如果卖方对个别安全阀的选型存在异议，卖方应与买方及设计方协商解决。7 制造与检、试验7.1所有阀门法兰密封面均不允许用补焊的方法修补缺陷。安全阀出入口法兰应与阀体整体铸造或锻造。7.2阀门材料及制造要求7.2.1 阀体锻件应按ASTM A105、A182进行，同时增加如下要求：A、阀体锻件表面不允许补焊。B、所有锻件按ASME V 做100%UT检验。7.2.2 阀体铸件应符合ASTM A216、ASTM A217、 ASTM A351的要求，在材料复检时候应按ASTM A217、 ASTM A351标准对铸件化学成分、表面质量进行
13、全面复检，对所有安全阀的锻件进行100%内外MT或PT，锻件应进行机械性能的复验。7.2.3 弹簧、导向套、阀瓣、阀座采用耐腐蚀材料制造，导向表面应采用耐磨材料。7.2.4 弹簧进行24小时200恒温强压处理，确保弹簧有稳定的刚度和韧性。7.2.5 安全阀的阀瓣与阀座密封面应堆焊钴基或镍基硬质合金,堆焊时应该焊前预热,焊后热处理,硬质合金在加工后的厚度应符合以下要求:阀门压力等级小于等于300LB(5.0MPa) 厚度:3mm阀门压力等级大于等于600LB(11.MPa) 厚度:4-5mm.碳钢阀体承压部位，考虑腐蚀性介质对阀体的腐蚀作用，阀体的腐蚀余量不低于4mm。7.2.6除规范或当地主管
14、部门所规定的检验外，设备材料、制造与试验还应接受买方检验。买方实施的检验并不能免除卖方自身所应承担的责任。在具备检验条件时，卖方应提前10个工作日通知买方，卖方应为买方检验提供工作便利。7.3卖方必须按照相关的标准规范、工程规定和下述要求进行试验和检验。7.3.1安全阀入口侧应采取规定公称压力1.5倍的试验压力进行试验，以确定铸（锻）件的完整性。7.3.2安全阀的出口侧应采取相当于卖方最大允许背压1.5倍的试验压力（试验压力不低于0.345 MPag）进行试验，以确定铸（锻）件的完整性。7.3.3阀座密封性试验：按API 527进行阀座密封性试验,如果操作压力高于90%整定压力，则按高者进行密
15、封试验。7.3.4整定压力测试：每个安全阀都必须进行试验以验证其起跳和整定压力。7.3.5制造厂在工厂完成安全阀的定压，应该符合ASME PTC25中的有关要求，并完成定压记录资料。7.3.6有奥氏体不锈钢材质的安全阀,强度试验时所用水的氯离子的含量不高于25ppm。7.4所有试验文件应得到买方认可。卖方（包括在所有分包商的订单）应确保买方检验及试验要求。7.5在卖方根据标准程序进行阀门试验的过程中,买方可以对每个阀门试验逐一见证。买方人员也可任意指定阀门进行试验见证,以确保试验符合卖方质控程序的要求。7.6其他要求不得低于相应标准规定的最低要求。7.7当完成上述检验后，应对安全阀所有可调节元
16、件进行铅封。8 监造与验收8.1 产品投料前及生产制造过程中，买方有权（或委托第三方）指派检查人员对产品进行全过程的监督检验。8.2卖方应为监造人员的工作提供方便，包括提供必要的检测仪器、工具等。8.3中间及最终验收内容序号检验内容卖方买方1材料原厂质量报告 V材料检验、复验HH2焊接(如有) 检查零件硬度 V 焊后消除应力处理 V 焊缝探伤 V 液压强度、气密试验 V3总体尺寸检查 V4安全阀试验 出、入口液压强度试验HH 气密试验HH 安全阀起跳试验HH 出厂试验，合格后铅封HH 阀门主要尺寸的检查HH 阀门密封面平行度或垂直度偏差的检查HH5喷漆 V6钉标牌V7标记、标牌的外观检查 V8
17、喷漆的外观检查 V9出厂验收 HH10文件检查 V11产品包装、装箱 V12货运准备的外观检查 V13放行 HH注：V-文件检查 H-现场检查 注：卖方应在中标后两周内向买方交设备制造检验计划，材料复验、性能试验及出厂验收，通知买方参加验收。所有买方参与的检验项目必须提前至少10天以书面通知买方检验的具体时间。检验、试验结果必须经买方同意后才允许进行下一步工作，买方所有的检验验收并不减轻卖方所承担的责任。9 铭牌、标示9.1在阀门法兰上标注：法兰压力等级、规格标记（钢印）。9.2阀体铸件应有炉批号和阀门压力等级。9.3阀体上应注明阀体材料9.4卖方应提供不锈钢材质铭牌。9.5铭牌座应铆接在阀门
18、上。9.6不锈钢铭牌应符合MSS-SP-25标准，并标明以下内容：制造厂名称或标志阀门位号、出厂编号阀门型号设计温度安全阀的整定压力、背压、冷态试验压力额定排量系数10 清理、油漆10.1安全阀制造完毕后，应彻底清理干净，任何铁屑、焊渣、外部物质、锈皮和油污等均应清除。10.2 法兰密封面等机加工面应采用适当的防腐措施，并注明防腐剂的类型。10.3 安全阀内的螺栓和螺母应采取防锈措施。11 包装、运输11.1安全阀应在试验合格后装运。11.2每个包装箱上都应标有永久性的标志，其内容应包括合同号、设备位号及设备名称。11.3在运输过程中，所有裸露的法兰面要用带橡胶或塑料垫片的盖板保护，盖板应由1
19、2mm 厚的木夹板或4mm 厚的钢板制成，并用50%数量（至少4 个）螺栓固定。11.4安全阀应有可靠的装卸、运输的保护措施。安全阀应保证竖直安装、运输，严禁歪斜；安全阀管口应予以封闭。11.5装箱单一式两份，一份装入包装箱，一份提供给买方11.6卖方的交货地点由买方指定，运输方式汽运。12 安装和服务12.1卖方对买方质量反馈在4小时内予以回复，如有需要48小时内到现场。12.2在质保期内，卖方负责免费维修更换零件。12.3卖方向买方免费提供技术支持服务。12.4 卖方应按合同规定派遣专业技术人员到买方现场，指导安装以及调试和运行等技术咨询服务，并应详细介绍产品的性能和操作方法。12.5卖方
20、对所提供阀门的技术服务、工程服务、技术培训、调试、开箱检查、现场验收、安装指导及运行等各个环节负有完全责任。12.6技术服务包括项目服务和现场服务。项目服务包括工厂检验和出厂验收等，现场服务包括到货开箱检查、使用和维护培训、现场安装指导、联调试运、保运等工作。12.7卖方应对装置开工后的售后技术服务、使用和维修技术咨询等提供良好的保证。卖方应保证其指定的技术服务与维修的支持部门在接到买方电话（传真）后4小时内对买方提出的问题予以答复（电话或传真），直到问题解决。必要时应派专业技术人员在48小时内赶到买方所在地解决。12.8在阀门安装前、试运行或质保期内，卖方在接到用户有关阀门需要现场处理问题的
21、正式通知后3天内，派维修服务人员到现场进行指导安装或维修服务。若3天内未能到达，在征得卖方的同意后，买方以根据情况先行对阀门进行处理，若7天内仍未明确答复，买方有权对阀门自行处理，由此产生的后果由卖方承担。13责任及资料交付13.1卖方应在中标后2周内将安全阀的计算说明书、外型尺寸、排放反作用力及安全阀重量提交给买方及设计方。安装详图至少包括安全阀规格、安装尺寸、法兰的规格尺寸。并应在商务合同生效后的2周内提供该项目的制造进度表给买方。13.2卖方提交的所有技术资料包括：所有安全阀的合格证（原材料合格证、配套件等外购件合格证，检验报告）纸版，1份电子版，1套电子版（按工艺位号分，每套：安全阀外
22、型图、安装使用、操作、维护说明书），每套按装置单独装订成册。竣工图应按PDF格式电子版提供给买方1套。13.3卖方对产品因制造、材料质量引起的问题承担责任，并负责无偿服务直至问题解决。13.4卖方应交付的文件清单代码文件名称中间供设计用文件最终交付文件备注份数纸/电子时间份数纸/电子时间A01设备制造进度计划4/1中标后2周内提交买方A02产品质量控制计划（含见证点和停止点表）4/1中标后3周内提交买方A03产品检验计划4/1中标后3周内提交买方A04建议的关键控制点、停止点表4/1中标 2周内提交买方A05安全阀参数及计算书2/1中标后2周内提交设计方B01推荐的运输和保存方案4/1运输前一
23、个月提交买方D01原材料、零配件的原始质量证明书4/1随设备交付提交买方D02受压元件材料复验报告4/1随设备交付提交买方D03热处理报告4/1随设备交付提交买方D04硬度检验结果4/1随设备交付提交买方D05无损检测报告4/1随设备交付提交买方E01产品质量证明书4/1随设备交付提交买方X01设备装配图4/1随设备交付提交买方X02供货清单及设备，安装操作和维修手册4/1随设备交付提交买方X03气密试验报告4/1随设备交付提交买方注：质量证明书至少应包括以下内容：主要零部件材料的化学成分分析报告，碳钢材质的零部件不作要求；无损探伤结果；产品试验结果；产品相对于设计文件和图样的变更或不符合项报
24、告。14 性能保证及性能考核14.1性能保证14.1.1卖方提供的安全阀必须满足安全阀数据表排量、口径、温度、压力、喉径面积等要求。14.1.2安全阀应有良好的机械特性,在排放时保证不出现频跳、颤振和卡涩现象。14.1.3卖方保证设计制造的安全阀尺寸符合买方的现场安装要求。14.1.4卖方保证安全阀不小于四年的连续稳定运行周期。14.1.5安全阀壳体的使用寿命不少于二十年。14.1.6安全阀的开启压力、排放压力满足API标准要求。14.1.7卖方所提供的所有设备均为未使用的原厂产品,且具有ASME 认证或中国国家质量技术监督局的认证，卖方应提供给买方相关资质证明文件。14.1.8安全阀买方保证
25、能实现以下动作性能：整定压力偏差： 3%超压：10%、16%（对多阀）或21%（对火灾工况）启闭压差：7%（对气体）或20%（对液体）密封性能：符合API Std527标准中的规定14.1.9 波纹管的使用寿命应不低于5000次。14.2卖方向买方提供的安全阀的质保期为投用后12个月或到货后18个月，在正常操作条件下设备出现质量问题，卖方应免费维修、更换，并对制造质量负责。14.3卖方保证所提供安全阀的选型、性能和质量的完好，所有技术指标达到产品说明书、供货合同所制定的要求，所有产品必须是全新的、未经使用的和专门为本装置设计制造的。14.4 在保证期内，卖方保证免费更换由产品质量引起发生故障或
26、有缺陷的部件和设备。用来更换的部件和设备应当是新的，更换时间保证在一周内完成。15 备品备件无16分包商清单序号设备/部组件产地厂家名称交货地点备注1铸钢件温州浙江卡达阀门有限公司温州温州浙江时代铸造有限公司温州温州永嘉县金鼎泰铸造有限公司温州温州温州鸿华精密铸造有限公司温州温州温州宝业阀门铸造有限公司温州2锻件温州瑞安市万鑫锻造有限公司温州温州瑞安市汀田利王冲件机械厂温州3弹簧苏州昆山市在市阀门弹簧有限公司温州绍兴浙江英科弹簧有限公司温州4波纹管丹东丹东克隆集团有限公司温州上海上海金波弹性元件有限公司温州沈阳沈阳晨光弗泰波纹管有限公司温州5螺栓、螺母温州温州龙强紧固件厂温州绍兴浙江高强度紧固
27、件有限公司温州17偏离详见附件技术偏离表18其它未尽事宜由买方协商解决，所补充的协议或者往来书面文字材料在双方签字确认后与本技术协议具有同等的法律效力。19附件附件1 安全阀供货清单 附件2 安全阀选型计算书附件3 安全阀技术偏离表附件4 安全阀数据表20 联系方式买 方：四川永祥多晶硅有限公司地 址：联系人：电 话：邮 箱：卖 方：永一阀门集团有限公司地 址：浙江省永嘉县瓯北东瓯工业区永一工业圆邮 编： 联系人： 刘健电 话： 0577- 传 真： 0577- 邮 箱：专心-专注-专业附件1：序号位号公称通径mm法兰标准工作介质工作温度爆破压力Mpa (g)爆破允差%爆破片夹持器套数型号材料
28、数量型号材料数量1PSE-0201a,b50HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF氢气带有少量硅粉400.4+/-5YF50-0.4-60A316L/316L3YOJA50-96304222PSE-0202a,b50HG/T20615-97 DN50 CLASS 300 RF氢气带有少量硅粉403.9+/-5YC50-3.9-60A316L3YOJA50-100304223PSE-0203a,b150HG/T20615-97 DN150 CLASS 900 RF氢气和氯硅烷带有少量硅粉5005303.6+/-5YC150-3.6-400A316L3YOJA150-2123
29、16224PSE-0204a,b50HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF氮气带有少量硅粉1200.4+/-5YF50-0.4-200A316L/316L3YOJA50-96304225PSE-0205a,b50HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF氯硅烷带有少量硅粉1200.8+/-5YF50-0.8-140A316L/316L3YOJA50-96304226PSE0802abcd,PSE0803abcd, PSE0806abcd,PSE0807abcd25HG/T20615-97 DN25 150# RF氯硅烷721.2+/-5YC25-1.2-
30、100A/HC哈氏合金20YOJA25-68316L16167压力表组件（普通压力表）30426增加8PSE902 01ah50HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF氯硅烷550.5+/-5YF50-0.5-104A/HC316L/哈氏合金10YOJA50-96316L88压力表组件（普通压力表）3048序号位 号型 号连接形式口径in*mm*in压力级Lb压力Mpa(g)启闭压差%工作介质进口温度材 料结构长度数量DNdODN进口出口操作设定冷整定背压阀体阀芯弹簧波纹管LL11PSV0801YFWA42C-150C 2J3RF/RF232.531501500.4110.
31、17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3、H2气体80WCB304L50CrVA316L12413612PSV0802abcdYFWA42C-150P3 1-1/2F2RF/RF1-1/215.921501500.91.21.2120.17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3气体140CF3316L50CrVA+PTFE316L12112443PSV0803abcdYFWA42C-150P3 1-1/2F2RF/RF1-1/215.921501500.91.21.2120.17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3气体140CF3316L50CrVA+PTFE316L12112
32、444PSV0804YFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.50.5015%循环水39WCB30450CrVA/969215PSV0805YFWA42C-150C 2J3RF/RF232.531501500.4110.17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3、H2气体80WCB304L50CrVA316L12413616PSV0806abcdYFWA42C-150C 1-1/2F2RF/RF1-1/215.921501500.81.21.2120.17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3气体140WCB304L50CrVA+PTFE316L1
33、2112447PSV0807abcdYFWA42C-150C 1-1/2F2RF/RF1-1/215.921501500.81.21.2120.17%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3气体140WCB304L50CrVA+PTFE316L12112448PSV0808YFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.50.5015%循环水39WCB30450CrVA/969219PSVabYFWA42C-150C 3K4RF/RF338.941501500.150.50.5050.17%氯硅烷气体121WCB304L50CrVA316L162156210PS
34、VabYFWA42C-150P3 3K4RF/RF338.941501500.150.50.50.17%氯硅烷气体95CF3316L50CrVA316L162156211PSVabYFWA42C-150C 3L4RF/RF348.441501500.150.50.5050.17%氯硅烷气体121WCB304L50CrVA316L165156212PSVabYFWA42C-150C 1-1/2H3RF/RF1-1/225.431501500.350.70.70.17%氯硅烷气体85WCB304L50CrVA316L124130213PSVYFWA42C-150C 3L4RF/RF348.4415
35、01500.150.50.5050.17%氯硅烷气体127WCB304L50CrVA316L165156114PSVa/b/cYFWA42C-150C 6R8RF/RF612281501500.150.50.50.157%SiH2Cl2、SiCl4、SiHCl3气体95WCB304L50CrVA316L241240315PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB304L50CrVA/9692116PSVabYFWA42C-150C 6Q8RF/RF695.381501500.280.80.80.157%SiH2Cl
36、2、SiHCl3气体80WCB304L50CrVA316L241240217PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692118PSVabYFWA42C-150C 6R8RF/RF6114.781501500.630.80.80.157%SiH2Cl2、SiHCl3气体115WCB304L50CrVA316L241240219PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692120PSVYFW
37、A42C-150C 1-1/2H3RF/RF1-1/225.431501500.630.80.80.157%SiH2Cl2、SiHCl3气体115WCB304L50CrVA316L124130121PSVabYFWA42C-150R3 6R8RF/RF6114.781501500.150.80.80.157%SiH2Cl2、SiHCl3气体106CF3M316L50CrVA+PTFE316L241240222PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692123PSVabYFWA42C-150
38、R3 6R8RF/RF612281501500.50.80.80.157%SIHCL3气体120CF3M316L50CrVA+PTFE316L241240224PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692125PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692126PSVYFWA42C-150C 1-1/2H3RF/RF1-1/225.431501500.630.80.80.157%SIHC
39、L3气体115WCB304L50CrVA316L124130127PSVabYFWA42C-150C 8T10RF/RF8146.2101501500.50.80.8080.157%SICL4气体150WCB304L50CrVA316L279276228PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692129PSVYFA41C-150C 3/4D1RF/RF3/49.511501500.20.550.55015%循环水39WCB30450CrVA/9692130PSVYFWA42C-150C 1-1/2G3RF/RF1-1/220.331501500.630.80.8080.157%SICL4气体142