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1、精选优质文档-倾情为你奉上集成电路制造工艺单元设计2教学单元名称：衬底材料制备授课班级微电141、142课时4授课地点SB304授课教师余建授课时间第1周周四 5-8节 单元教学目标1、 能力目标（1）熟悉西门子工艺、改良西门子工艺、硅烷热分解法制备高纯多晶硅工艺流程；（2）能够根据实际需求，选择合适方式制备满足纯度要求的高纯多晶硅料；（3）掌握单晶炉结构构造；（4）能够编制直拉法制备8英寸大直径单晶硅工艺文件；2、知识目标（1）熟悉几种典型的高纯多晶硅制备方式工艺原理及其优缺点；（2）单晶炉结构构造及各部件功能（3）熟悉直拉法制备8英寸大直径单晶硅工艺流程；（4）熟悉单晶硅质量缺陷类型及晶体
2、完美化处理工艺；3、素质目标（1）培养学生分析问题和解决实际问题的能力。（2）培养了学生初步的工艺分析能力和创新意识在工作过程中培养严谨细致的工作作风。单元教学内容1、明确教学目标2、明确教学考核要求与方式3、教学主要内容3.1IC发展与晶圆直径大小的关系3.2高纯多晶硅制备方式及各自特点3.3单晶炉结构构造3.4直拉法制备大直径单晶硅工艺流程3.5晶体缺陷类型3.6晶体完美化处理3.7教学评价与反馈单元教学重难点教学重点：1、IC发展与晶圆直径的关系；2、直拉法制备大直径单晶硅工艺流程；教学难点：1、金属多层布线与晶圆直径的关系；2、晶体内部缺陷及其消除措施；单元教学方法选取“启发式教学”（
3、注重分析）、“项目分析式教学”（任务驱动、项目导向）“分组讨论”（学生两人协作）教学材料教学工具学生准备1. 1、教学课件2. 2、任务书、评价表3、8英寸单晶硅样品多媒体教学设备；3. 1、课前预习相关任务4. 2、收集直拉法制备单晶硅资料5.教学实施主要步骤教学内容教学方法、手段师生活动计划时间课程内容引入教师讲解单晶硅在集成电路中的重要用途；启发式教学教师提问15min新知识学习 高纯多晶硅制备方式 直拉法制备大直径单晶硅设备及工艺流程教师操作示范教师示范学生观摩15min计划任务布置：4名同学为一组，分工协作，分析讨论大直径单晶硅制备方式方法；启发式教学、小组讨论 教师讲授学生参与内容
4、分析15min决策根据加工场所的实际情况，编制利用直拉法制备8英寸大直径单晶硅工艺文件；启发式教学、小组讨论学生汇报教师点评15min项目实施 原料、掺杂杂质、系统、工具清洗 根据实际需求，选择合适的籽晶； 编制直拉法制备8英寸大直径单晶硅工艺文件； 根据单晶硅内部缺陷，分析其来源，提出问题解决方法；任务驱动法、分工协作学生现场操作，完成整个工作任务，教师指导65min检查评估学生交换工位进行互评，并在评估表格上打分；教师对互评结果进行评价，并进行教师检查评估；学生分组递交检查评估表格，教师按照工位对程序运行结果进行评价学生汇报教师点评15min任务总结课后分析本次工作任务中出现的问题，提出改进措施；自我反馈课后实践15min单元教学考核方案设计本次课教学目标达成情况考核总分10分，占总课程的10%1、过程考核（5分，包括课堂笔记记载情况、考勤情况、上课认真听讲情况、回答问题情况）2、终结考核（5分，考核学生完成本次工作任务的实际情况；在完成本次任务过程中，操作不规范，或任务未能 ，酌情扣分）。课后作业与任务（1） 课后分析本次工作任务中出现的问题，提出改进措施；（2） 预习下一任务内容；（3）布置相关作业；课后体会专心-专注-专业