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1、TRACK安装调试培训资料张先锋2014.08.06创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越培训内容：一、CLEANER安装调试二、SB/HB/DB安装调试三、DEVELOPER安装调试创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越TRACK线平面图：流片方向流片方向流片方向创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 所有设备SET UP完成之后，我们开始进入TRACK线，各个单元并不是按照流片的先后顺序来调试的，很多时候是几个单元同时作业，而为了培训的方便，我们还是按照流片的顺序依次讲解各个单元。从整条TRACK
2、线来说，分为INDEXER、CLEANER、DB、LC、SB、INTERFACE、EXP、TITLER、DEVELOPER、HB以及AOI，共11个单元，我们需要调试的是其中的5个单元： CLEANER、DB、 SB、DEVELOPER及HB。 本次调试的设备是B5 TRACK 9号线，名称：SK-2200G，编号：750G25076A 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 CLEANER单元包括：入口CV、过渡CV、UV前CV、UV（UV属于其他厂商调试）、RB+AAJET、A/K、NEUTRAL CV以及出口CV。 确认所有供给阀门处于关闭状态； 确认所有控制柜处于OFF状
3、态，开始投入电源（与DNS及客户）； 盖板类、AAJET、追加roller等拆除。 将入口CV和出口CV的整列关闭，中间各个UNIT Guide roller调到最外侧。1、CLEANER调试前准备2、川幅调整（初调）一、CLEANER安装调整1231创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 调整入口CV操作侧第一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为50mm，调整出口CV操作侧最后一个Guide roller，使其到侧板内侧距离为20mm，（这两个距离为经验值，视实际情况而定），用这两个Guideroller拉线作为基准线，再调整操作侧所有Guide roller，操作
4、侧Guide roller与基准线距离为0mm。反操作侧的基准线做法与操作侧相同，反操作侧Guide roller与基准线距离分为两种：a、整列roller与基准线距离为0.5mm；b、 单个Guide roller基准线距离为2mm。所用基板为2500mm*2200mm*0.5mm 此时的川幅调整是初调，目的是传片，为DB、LC、SB、INTERFACE注意2创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越以及HB robot Teaching做准备。最终的川幅调整以COATER基台为基准。 LC robot Teaching完成后（Teaching基准为COATER基台），用robot
5、将基板放入出口CV中，以此基板的两侧边为基准，首先调好两侧整列roller，再由两侧整列roller为基准拉线，最后调整CLEANER所有Guide roller。具体调整做法与川幅调整（初调）的相同。 再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。3、川幅调整（终调）创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越出口CV终调川幅调整基准线创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 用随机携带的扳手将CLEANER所有搬送roller拧紧。 4、搬送ROLLER拧紧确认创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 在Sensor旁边的搬送roller上
6、放置一块厚度为2mm的PVC板，放一直尺于板上，扫动直尺， 调整Sensor固定螺丝直到直尺稍微低于Sensor后锁紧螺丝。 Sensor的高度允许误差为（0，+0.5）， Sensor敏感度为小于05时ON状态， 510时OFF状态。 5、摇摆SENSOR调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 将操作侧及反操作侧所有固定螺钉拧紧。 CLEANER除了入口CV与出口CV有立替部，其他unit都处于倾斜状态，整体平面度需要调整。a、粗调，将两块基板分别放入贴合的两个unit中，观察两块基板的高度差，然后调节unit四个角的双头螺栓，使得两基板趋于同一平面；b、细调，将一块基板置
7、于两个unit交界处，调节C-roller，方法同A/K调整中的C-roller调整。 6、侧板固定螺钉拧紧7、上下流平面度调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 用张力计依次将同步带的张力调整到标准值（标准值参照各部分标准张力表），具体做法：首先用张力计测量同步带当前张力，再与标准值比较，最后用扳手调节涨紧轮的松紧状态，使得同步带的张力在标准范围内。 8、同步带张力调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 将先前拆下来的追加roller重新安装上，然后用0.2mm的塞尺测量上下搬送roller间的距离，允许误差为 0.1mm。 在搬送roller旋转过程中，
8、目测滚轴与中心固定架圆孔的同轴情况，如有偏离，调节固定架高度。 确认ManualSW动作是否正常； 确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音； 调整整列气缸开闭速度，开闭时间相同：2.00.3s；9、追加ROLLER安装与调整10、搬送ROLLER中心变化确认11、入口CV调整213创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 调整立替部气缸升降速度，升降时间相同： 5.00.3s； 确认基板缺口Sensor高度：5.01.0mm。 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。 确认ManualSW动作是否正常； 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。 确认Manual
9、SW动作是否正常； 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。 12、过渡CV调整13、UV前CV调整6542112创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 UV属于其他厂商调试，我们只需要调整Guide roller即可。 共四个RB，分为前后两组，GOT面板上标记为：前上、前下、后上及后下（根据B5的工艺要求，前上RB及后上RB不需要安装）。 首先安装前下RB和后下RB。 前下RB原点复位：用直尺测量操作侧和反操作侧的前下RB到基板的距离，在GOT面板上调整RB的升降，直到所测距离为2mm，允许误差控制在0.5mm内。 14、UV调整15、RB安装与TEACHING12
10、创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越前下RB安装RB电机Sensor创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越RB Teaching GOT面板创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越RB Teaching GOT操作创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 后下RB原点复位方法同前下RB。 调整四个RB电机Sensor。每个RB电机操作侧与反操作侧分别有3个Sensor，最外侧为原点复位Sensor ，中间为退避Sensor，最内侧为压入Sensor。a、原点复位Sensor 挡片为带圆孔的长方形薄片，调整时将圆孔对准Sensor中间，Sen
11、sor指示灯处于常亮状态；b、退避Sensor挡片为长方形，调整挡片使其到Sensor中间距离为8mm，允许误差控制在0.3mm内，Sensor指示灯处于常亮状态；c、压入Sensor挡片为“C”形，调整挡片使其下侧到Sensor中间距离为4 3创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越4mm，允许误差控制在0.3mm内，Sensor指示灯处于常亮状态。 将所有Cover装上； 检查各阀门，将进液阀门打开，排液阀门关闭； 投入纯水，检查Tank、Filter以及各管路是否有漏水。调整直接水洗Tank Sensor位置，RB侧下限：370mm处(46L)， RB侧定量：135mm处(1
12、12L)， RB侧过多：118mm处(115L)；循环侧下限：370mm处(46L)，循环侧定量：110mm处(120L)，循环侧瀑布：90mm处(126L)。 Tank中装水放置8h以上，检查有无漏水。 16、纯水投入4321创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越纯水投入Tank及管路检查创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 安装风切，调整风切，用直尺测量其到基板的距离为10.01.0mm。 安装中间部液切，上、下液刀到基板上下表面的距离相同：10.01.0mm。 安装出口液切，用直尺测量其到基板的距离10.01.0mm。 安装二流体，用直尺测量其到基板上表面的
13、距离为5.00.5mm。 17、风切、液切及二流体安装与调整1432创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 先将filter顶部排气管拆下，使用专用扳手将上盖打开，装入滤芯后将拆除件重新安装，锁紧。 18、FILTER滤芯安装创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 将所有Nozzle接管取下，供给阀门打开； 所有Nozzle接管取下目的：防止Tank或管路里的particle堵塞Nozzle。 打开各个Filter回流阀门，将空气排尽后关闭阀门； 检查常压泵和高压泵的旋向是否与泵体标示一致；（4）在GOT面板上查看各部分流量显示，调整手动阀门，使得GOT面板显示的流
14、量达到标准值。a、RB rinse的所有Nozzle压力0.1MPa； 注意19、流量调整1324创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越手动阀门调整流量显示创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越GOT面板各部分当前流量显示创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越b、两端液切流量69L/min；c、二流体气体流量3208L/min；d、二流体高压液体压力55MPa。（二流体高压液体压力的调整需要同时调节两个手动阀：一个是回流到Tank中的BYPASS，另一个是通向二流体的高压水管上的阀门） 将A/K安装处开口部上、下不锈钢挡板分别调至最上端和最下端，目的是
15、将开口部间距调至最大； 首先将上、下风刀的调整块安装好，再将上、下风刀装上，锁紧 20、A/K安装与调整21创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越螺丝； 从操作侧到反操作侧均匀测量5个点的上下风刀间距，调节调整块，使得上下风刀间距为3.9mm4.15mm，其中中间一点为3.9mm，其他为4.0mm 4.15mm。 用两个直尺测量上下风刀折线处到开口部直板的间距（测量5个点：两侧两个点，中间三个调整块三个点），比较数据分析上下风刀错位情况，对比两侧两个点的数据，选取合适的基准值，最后将五个点的间距都调整成基准值； 先用整张基板调整最两侧的两个C-roller，使基板上表面到风刀下表
16、面距离为1.7mm，如果通过调整这两个C-roller无法达到1.7mm，则需4 35 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越要将上下风刀整体升降； 剩余C-roller的调整，从反操作侧第二个C-roller开始调整，一个接一个交错调整； 若其中一个C-roller调整完毕后，发现临近的搬送roller偏高或偏低，还需要调整辊轴支架。 将整张基板中心置于开口部，测量基板上表面到开口部顶端的距离（均匀分布的三个点），测量基板下表面到开口部底端的距离（均匀分布的三个点），测量基板两侧面到开口部两侧面的距离，总共测量8个点。21、所有开口部尺寸确认76创新进取创新进取 正道经营正道经
17、营 追求卓越追求卓越上下风刀错位测量C-roller调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越辊轴支架调整C-roller调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 在GOT面板上打开阀门； 打开A/K手动阀，流量调至2500L/min； 打开排气阀门，流量调至120L/min. 打开控制箱中的FFU开关； 确认FFU风扇旋转方向与标记方向是否一致。 从入口CV开始依次用转速计测量各unit搬送roller的转速，对照22、A/K流量调整23、FFU确认2 1 3 2 1 24、CLEANER各UNIT转速调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越标准
18、转速表，在GOT面板上调节转速比，直到搬送roller达到标准值。 安装电离器； 调整电离器到基板上表面的距离：1005mm； 调整净化空气压力：0.2MPa。 确认ManualSW动作是否正常； 确认基板检查Sensor高度：10.01.0mm。26、NEUTRAL CV调整25、电离器安装与调整3 2 1 2 1 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越Cleaner搬送roller转速调整GOT操作创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 确认ManualSW动作是否正常； 确认整列气缸动作是否流畅，有无异常声音； 调整整列气缸开闭速度，流向方向和幅度方向的开闭时
19、间相同：2.00.3s； 调整减速Sensor与停止Sensor的距离：120mm； 调整停止缓冲块的位置：基板在到达停止Sensor后停止，将缓冲块轻轻接触到基板，轻微抬起基板，基板与缓冲块没有碰刮。 调整立替部气缸升降速度，升降时间相同：5.00.3s； 确认基板检查Sensor（柱状）到基板两侧边缘距离：5.01.0mm，到 3 2 4 5 6 7 1 27、出口CV调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越基板下表面的高度：10.01.0mm。 在调试过程中，设备不可避免地会发生警报，当警报发生时，首先在GOT面板上查看警报的位置及详细信息，然后到对应的位置进行排查和确认
20、。28、警报的确认与解除创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 SB单元包括：ROBOT、HP、CP、入口CV以及BUFFER； HB单元包括：ROBOT、 HP、BUFFER、IMC、TURN TABLE以及出口CV； DB单元包括：HAP、CP、BUFFER以及ROBOT。 SB、HB以及DB功能大致相同，HP、CP 、ROBOT等都是相同的设备，HP与HAP也只是细微差别，所以这三个单元调试过程也大致相似，这里主要讲解SB单元的调试，而对于HB单元和DB单元，只对与SB单元不同的部分进行讲解。二、 SB/HB/DB安装调试创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越
21、1、ROBOT手臂安装 用T5扳手将上下hand安装到robot本体上，注意区分上下hand，连接气管时防止折弯。 为了节省ABS原点复位的时间，首先需要操作手柄将robot各部分移动到原点附近(包括Z轴、TH角等），然后再进行原点复位，原点复位完成以后，关闭伺服电源后再重启以完成数据保存。2、ABS原点复位（一）SB安装调试创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越3、HAND LEVELING 将上hand（下hand）推进CP3中（CP3高度适中，便于测量），用直尺和L形尺测量4根Folk的8个点到CP3底板距离，如图所示，记录数据，参照评判标准，如果超出标准，在folk根部添
22、减sim（sim按厚度分为：0.05mm、0.1mm、0.2mm及0.3mm），使得测量数据符合要求。 前方部調整/測定後方部調整/測定创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越评判基准：上手臂 1.0mm 下手臂 1.0mm -=A（50.5mm）-=B（50.5mm） -=C（50.5mm）-=（50.5mm）Folk到CP3底板距离测量创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越4、直径度调整 推动arm用L形尺测量如图a、b位置的尺寸，松开hand固定螺丝，调整hand位置，使得a-b=0.5mm，锁紧固定螺丝。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越5、
23、FOLK与手掌垂直度调整 推动arm用卷尺测量靠近Z轴的folk前后两端到Z2轴的距离，松开folk固定螺丝，调整folk使得前后距离相等，锁紧螺丝。abZ軸Z軸创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越6、FOLK间距调整 用卷尺测量folk之间的距离，松开第2、3、4根folk固定螺丝，依次调整这三根folk，如图所示，使得他们之间的距离达到标准值后锁紧螺丝。标准：a=5350.5mm，b=5800.5mm，Total=16501mm。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越7、ROBOT位置DATA设定 参照data设定表上的各POS参数，在robot操作手柄上一一
24、设定。8、ROBOT HAND基板检测SENSOR感应度调整 任意取一小块玻璃基板，依次放置在folk 5个sensor上方，观察hand后侧方sensor显示器的数值（无基板时数值为0，有基板时数值为1000左右），确定中间值500为sensor感知基板的标准值。将500输入sensor显示器中。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越hand后侧方sensor显示器创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越9、ROBOT控制柜通信设定 设定按钮是位于控制柜后侧的三个红色圆柱形按钮，按钮上方对应有标示，需要将Baud Rate按钮调为1，Station 10按钮调为6，
25、No.按钮调为1。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越10、HP顶部出口CV TEACHING 上hand Teaching。先用robot将整张基板放入HP上方的出口CV中，以靠近操作侧和反操作侧的两排搬送roller为基准，轻轻拖动基板，使得基板两侧分别到上述两排搬送roller的距离相等。 将上hand伸进基板下方，处于MID位置，拖动基板使其置于folk前后挡块之间（在后续的调整中，将前后挡块调至离基板边缘2mm处），用油性笔在基板上离边缘274mm处画直线，且尽量靠近第一和第四根folk前后4个PIN，测量这四个PIN到所画直线的距离，估算robot需要旋转的TH角度
26、（一般经验：1/0.016=TH），上hand lower home，操作手柄旋转指定角度，1 2 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越再将上hand伸进基板下方，处于MID位置，同样方法继续测量，反复调整，直到PIN处于所画直线的0.5mm范围内。离边缘274mm处画线创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 调整高度Z。分别测量上hand在TOP位置和BTM位置相应的高度，测量位置如图所示，比较所测高度与基准值，在操作手柄上更改Z值，直到所测高3 上hand TOP位置测量点上hand BTM位置测量点创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 度在允
27、许范围内，并记下数据。 调整前后挡块，使其到基板边缘的距离为2mm。 如果单靠调整前后挡块，达不到要求的位置，则需测量前后挡块到基板边缘的距离，计算差值，在操作手柄上将X1值加减差值的一半。 4 注意11、HP顶部CV整列调整 以前面Teaching基板为基准，首先调好两侧整列roller，手动转动辊轴推动基板后退，调整沿途的Guide roller，一直调节到DP顶部CV，再将Guide roller顶部到基板上表面的距离调整至4mm。具体方法见第一章第3项，各CV上下流平面度调整见第一章第7项。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越12、CP3 TEACHING CP1、CP
28、2 Teaching与CP3完全相同，所以这里只介绍CP3 Teaching。 用上hand将buffer上的基板取出（先前预存在buffer中），测量第一和四根folk到基板边缘距离274mm，在基板上用“”标记第一和四根folk前后各两个PIN的位置，目的是防止在Teaching过程中由于基板的移动而造成重复标记。1 2 手柄操作：check motion界面，motion下拉菜单选择put(放片put，取片get)，station输入12，slot默认为1，选择check start，按住Enter。 抽出CP3 chamber，测量基板边缘到chamber四个拐角处PIN的x、y方向的
29、距离，分析计算所测数据，相应调整TH、X1，直到四个PIN到基板边缘的3 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越CP3 Teachingx方向距离一致，y方向距离一致。保存。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越CP3 Teaching手柄画面创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 调整高度Z。分别测量上hand在TOP位置和BTM位置相应的高度，测量位置如图所示，比较所测高度与基准值，在操作手柄上更改Z值，直到所测高度在允许范围内，并记下数据。4 上hand TOP位置测量点上hand BTM位置测量点创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求
30、卓越13、HP4 TEACHING HP4 Teaching与CP3 Teaching大致相同，唯一不同的是基准值。HP1、HP2、HP3 Teaching与HP4相同，这里不做重复介绍。上hand TOP位置测量点创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越14、BF1、BF14 TEACHING Buffer共14层，slot设置时注意区分114； Teaching步骤同CP3，首先Teaching slot1，然后Teaching slot14；slot2slot13不需要Teaching，只要将基板放进去确认间隙即可。 Teaching slot14时，只用调整Z值。1 2 上
31、hand BTM位置测量点注意创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越15、HP LIFTPIN调整 Manual动作确认； Heater端子增紧； Liftpin调整；HP共有四层，Liftpin调整时逐一打开chamber，一人在chamber腔内用L形尺（此时PIN处于上位置，在下位置时则用游标卡尺）测量PIN高度，另一人在chamber下方调整PIN固定螺丝的松紧。PIN分为上位置和下位置，PIN由外圈到内圈的标准高度也不一样。 a：上位置82.50.5mm、下位置-2.50.5mmmmb：上位置800.5mm、下位置-2.50.5mmmm c：上位置77.50.5mm、下
32、位置-2.50.5mmmm1 2 3 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越4 上over run sensor在PIN的上位置增加7mm； 下over run sensor在PIN的下位置增加7mm； 上机械stopper与上over run sensor位置增加3mm； 下机械stopper与下over run sensor位置减少3mm；创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越HP Liftpin高度分布图HP3 Liftpin上位置高度测量创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越16、HP3 CHAMBER调整 chamber拉出sensor位置调
33、整。 chamber盖板上下动作速度调整。chamber盖板上下动作是由气缸控制，总共8个气缸，用秒表测量上升和下降的时间，调节气缸手柄来缩短或延长气缸伸缩的时间，上升和下降的标准时间相同：20.3s。 chamber盖板上下位置sensor调整。 chamber盖板抽出sensor位置调整。 确认chamber盖板在动作时的平稳度，有无异常声音。 确认chamber间隙，一般目测。 HP1、HP2、HP4 chamber调整方法与HP3相同。 1 2 5 4 3 6 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越chamber盖板上下动作感应sensorchamber 拉出感应Sens
34、or创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越17、HP3 SHUTTER调整 shutter气缸固定螺丝拧紧。 shutter密封圈增紧确认。 shutter开关sensor调整，将sensor放置在常亮范围的中间位置。 shutter开关速度调整。 shutter开关是由气缸控制，用秒表测量开启和关闭的时间，调节气缸手柄来缩短或延长气缸伸缩的时间，开启和关闭的标准时间相同：20.3s。 确认shutter在动作时的平稳度，有无异常声音。 确认shutter关闭时的间隙，一般目测。 HP1、HP2、HP4 shutter调整方法与HP3相同。 1 2 3 4 5 6 创新进取创新进
35、取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越18、HP排气调整 每一个chamber都有主排和BYPASS。当shutter关闭时，向chamber里吹热风，BYPASS开启，主排关闭；当shutter打开后， BYPASS关闭，主排打开。调整时，参照标准参数表，调整BYPASS和主排的阀门大小。19、HP CHAMBER温度设定 Plate温度设定为110，热风温度设定为130。 将HP1HP4的breaker依次打开，确认与GOT画面是否一致。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越20、CP LIFTPIN调整 CP Liftpin调整方法与HP相同；区别：CP共有三层，PIN的标
36、准高度也不同。 a：上位置840.5mm、下位置-2.00.5mmmmb：上位置81.50.5mm、下位置-4.50.5mmmm c：上位置790.5mm、下位置-4.50.5mmmm创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越CP Liftpin高度分布图创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越21、CP冷却水投入 检查各个chamber进出水管是否接错，检查所有接头有无漏水，检查进水和出水是否正常，检查漏液sensor是否正常。 冷却水温度设定为22.4。1 2 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越（二）DB安装调试 DB单元与SB单元基本相同，这里只介
37、绍与SB单元不同的地方： HAP chamber温度设定， Plate温度设定为120 3。 基板在HAP chamber中进行涂胶前的预处理：氮气泵将HMDS打进chamber中，HMDS呈雾状喷到基板上，这样有利于涂胶。 1 2 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越（三）HB安装调试 HB单元的HP与SB单元的相同，这里主要关注HB单元的IMC及Turn Table: IMC PIN调整，标准高度为90mm； 基板感知sensor调整：基板下表面到sensor距离为10mm； 1 2 1、IMC调整2、TURN TABLE调整 Turn Table PIN调整，标准高度为8
38、5mm； 回转sensor位置调整：0和90位置sensor调节在感知范围的中间位置。1 2 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 Turn Table升降速度调整。上升速度为4.00.5s，下降速度为4.00.5s。 Turn Table升降sensor位置调整：将上升和下降sensor调节在感知范围的中间位置。 3 4 3、HB ROBOT TEACHING基准 ROBOT Teaching基准为DEV出口CV。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越三、DEVELOPER安装调整 Developer单元与Cleaner单元设备与调试方法基本相同，下面只列出与C
39、leaner单元不同的地方。 2、显影槽中PUDDLENOZZLE高度调整 PuddleNozzle1（倾斜状）高度为：20.1mm； PuddleNozzle2（垂直状）高度为：40.1mm； 1、显影一至四槽搬送roller调整 显影一至四槽操作侧与反操作侧最边缘搬送roller到基板边缘距离调整为：20.5mm。 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 安装出口风切，调整风切，用直尺测量其到基板的距离为10.00.5mm。 安装出口液切，用直尺测量其到基板的距离5.00.5mm。2 3、显影出口风切、液切安装调整1 1 2 4、直接水洗液切、高压喷嘴安装调整 安装液切，用直
40、尺测量其到基板的距离10.01.0mm； 安装高压喷嘴，用直尺测量其边缘到基板距离24.01.0mm； 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越5、置换/直接水洗立替部sensor调整 上位置OverRun sensor与上位置距离为201mm，机械限位与OverRun sensor距离为51mm； 下位置OverRun sensor与下位置距离为201mm，机械限位与OverRun sensor距离为51mm； 1 2 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 DEV纯水投入与Cleaner的相同；唯一不同的是Tank Sensor位置。 显影Tank1：上限427L
41、，定量：380L，补充停止230L，补充开始212L，下限174L，溢出400L； 显影Tank2：上限427L，定量：380L，补充停止230L，补充开始212L，下限174L，溢出400L； 直接水洗Tank：下限64L，定量：142L，瀑布：147L； 置换水洗Tank：下限75L，定量：146L。 6、纯水投入1 2 3 4 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越7、入口CV至清洗第一槽水平确认与调整 入口CV、显影第一至四槽以及清洗第一槽，每个槽测9个点，测量所用的尺子应放在搬送roller正上方的基板上，水准仪放在升降车上，升降车应放在合适位置，在整个测量过程中确保升
42、降车位置不动。 标准范围：最大值与最小值的差值在2mm范围内。 如超出标准范围很多，则需要协调SET UP厂商来调整。 注意 首先需要在前后两个位置任意测量两个点，比较所测得的高度，选取基准高度。 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越DEV水平确认与调整创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越8、出口CV SENSOR调整 确认基板检查Sensor（柱状）到基板两侧边缘距离：5.01.0mm，到基板下表面的高度：13.01.0mm。创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越9、TMAH投入 TMAH投入前各阀门的确认； TMAH投入后检查Tank及各管路接头是否泄漏； TMAH供给system动作确认； TMAH温度由客户决定，温度的控制精度为1之内。 1 2 3 4 创新进取创新进取 正道经营正道经营 追求卓越追求卓越 谢 谢！ 演讲完毕，谢谢观看！