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1、精选优质文档-倾情为你奉上采购内容及项目要求一、项目概况因教学及科研需要，化学与化工学院需要采购原位X射线光电子能谱仪系统一套。本项目共分为1个包。允许投标人投报原装进口设备，投标人不得对所投货物和服务分解后进行响应。本项目预算为人民币749.735万元（包含外贸相关费用）。 二、采购内容及采购数量山东大学仪器设备采购技术条款一览表采购人要求配置序号配置名称详细技术参数要求数量1X射线光电子能谱仪（1）整套系统中应具备XPS（包含成像）、离子深度刻蚀（氩离子刻蚀枪、团簇刻蚀枪）、ISS离子散射谱、反射电子能量损失谱REELS、反光电子能谱（IPES）（ISS、REELS、IPES三者选配其二）
2、、UPS紫外光电子能谱、超高真空测量装置功能和实现这些功能的部件；（2）可进行有机、无机、金属等各种材料的表面几个原子层（1-10nm厚的表面）的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性的分析与表征；（3）可进行样品原位（低温、高温、高压、反应气氛下）处理后的XPS测试。11.1真空系统分析腔室和进样腔室及其真空系统（1）分析腔室与进样腔室为完全独立的两腔室，有闸板阀隔开。（需提供证明资料）（2）分析室：材质和真空：真空腔为纯金属制造，真空度优于7.010-10 mbar；独立机械泵：极限真空气压1.0 10-4 mbar；独立分子涡轮泵：极限真空气压 600 L/s；配低高温样品台，可低温
3、高温测试，温度范围：-140-800 C。（3）进样及样品处理室：真空度：真空度应优于7.010-8 mbar；泵组：配备独立的涡轮分子泵和机械泵，不可与分析腔共用，防止交叉污染。（需提供证明资料）（4）进样系统为磁浮式无摩擦进样杆，或使用自动进样的机械手臂，设计应避免长期使用后出现的机械劳损和间隙误差。（5）超高真空检测装置：各独立超高真空舱室均配置超高真空离子规一套，可以在各舱各自隔断情况下独立实施监测真空度。（需提供证明资料）1.2样品操控系统平台样品台及移动转移仓（1）样品台：轴向：5轴样品台，即X、Y、Z移动，倾斜及旋转；移动范围应保证系统提供的各项分析有足够空间转移范围完成，并有一
4、定的余量空间保证最佳分析位置，包括对样品位置特别敏感的角分辨XPS，微区XPS全样品范围成像。（2）移动：通过样品台驱动部件，可以对样品位置进行远程自动控制，对位置、角度控制精度达到1 um、0.1 。（3）附带便携式不锈钢传递仓一套，可将合成环境为离线的样品可远程无污染真空传递至XPS制备腔室内进行分析；传递仓连接主机位置：进样室。1.3电子能量分析器采谱与能量分析系统（1）类型：180 双聚焦半球形或扇形分析器， 金属材质。（2）平均半径：= 150mm。（3）通能：5-320 eV可调。（4）操作模式：针对采谱与成像，具有固定分析器传输模式和固定减速比模式。（5）能量分析范围：0-320
5、0 eV。1.4静电透镜和磁透镜配置磁透镜或者静电传输透镜；针对配备磁透镜的仪器，磁透镜可在操作时关闭，可保留静电透镜独立工作模式。1.5Al K单色化XPS（1）射线源类型：单色化Al靶射线源。（2）单色器：石英晶体单色器；单色化光源阳极靶，如使用单一Al K靶源，靶点不少于16个。（3）能量分辨和灵敏度(Ag 3d5/2)：普通模式测试，对Ag 3d5/2峰，半峰宽（FWHM）0.45 eV，能进行点分析、线扫描、面分析、化学态成像、深度剖析、角分辨XPS。1.6双阳极XPS靶源两种方案提供其一。方案一：高能单色Ag L射线源单色器：500 mm罗兰圆，大背板水冷一体式石英晶体单色器；能量
6、分辨和灵敏度(Ag 3d5/2) 300700 m XPS：0.90 eV 6kcps；方案二：Al/Mg双阳极Mg阳极对于Ag 3d5/2 灵敏度1 Mcps 1.40 eV；1.7束斑最小束斑尺寸=20 m，束斑一定范围内连续可调，可应对大面积和微区分析需求。1.8电子检测器（1）采用灵敏电子检测器，通过傅立叶变换或小束斑扫描成像。（2）宽/窄扫描谱：顺序能量扫描。1.9样品观察和调整（1）可变焦显微摄像机显示系统，能清楚观察样品图象，图像可实时显示及储存。分析室需具备方便的观察视窗，并装有防X射线玻璃。（2）在分析室使用多样品停放台：一次可装入并存储多个样品。1.10荷电中和系统（1）结
7、构及操作方式：离轴低能离子/电子枪的同源双束中和；或采用低能准直电子束与低能准直离子束；或采用静电传输透镜同轴的超低能单电子源方式；适用于所有不导电样品及粗糙表面的精准荷电中和。（2）可以在磁透镜关闭的情况下有效测试磁性样品，保证信噪比。（需提供证明资料）（3）可以在做绝缘样品的UPS紫外光电子能谱分析时进行有效的荷电中和。（4）能量分辨率和灵敏度：对PET绝缘样品，在O-C=O结构中C1s峰能量分辨（FWHM）优于0.68 eV时，C-C结构中C 1s峰的灵敏度（正常工作条件下的真实测量值）优于30000 cps。1.11复合团簇离子枪刻蚀套件（1）离子源：Ar+源，单离子与团簇模式。（2）
8、刻蚀模式：单一枪体，包含单离子刻蚀和团簇刻蚀两种模式。（3）单离子模式：刻蚀能量0 eV5 keV连续可调。（4）团簇模式：团簇中离子数目10002000个，每个离子能量最低可达1 eV（离子能量越低越好，确保对有机物等轻柔表面的无损刻蚀）。1.12反射电子能量损失谱（REELS），反光电子谱（IPES），离子散射谱（ISS）（三者提供其二）反射电子能量损失谱：对于干净的银样品，能量分辨率为0.5 eV时，灵敏度不低于1000 kcps；反光电子谱：电子源能量范围1-50 eV；能量分辨率0.5 eV（标准多晶银样品）；离子散射谱：在1 keV He离子作用于清洁的金表面，能量分辨优于15 e
9、V时，灵敏度应优于15,000 cps/nA。1.13紫外光电子能谱UPS（1）光源：He紫外光源。（2）能量分辨率：对Ag费米边，能量分辨率应不大于120 meV。（3）灵敏度：能量分辨率小于120 meV时，灵敏度（Ag 4d）3 Mcps。（4）He II工作时，HeII/HeI 强度比应高于1/2。（5）真空系统：包括机械泵和涡轮分子泵。1.14高温原位催化反应池用于固体材料的高温高压和化学反应的原位处理，样品处理后可直接通过传输系统进入XPS主机进行测量（需提供证明资料，图片或者方案图纸，用户使用反馈等）（1）反应釜：不锈钢外壳，可以作为封闭反应池或流动池，提供控压，控流速和混气的反
10、应供气系统。（2）反应釜温度和压力：涵盖600 4 bar，400 10 bar的反应条件；最高使用温度800 。（3）使用气体：H2，O2，H2O，CO2，CH4和腐蚀性气体如NH3等。（4）控温方式：程序控温，反应釜与不锈钢腔体用水冷封套隔离，保证高温实验时外壳不过热。（5）真空系统：独立的外挂式腔体，有独立的抽空系统。（6）样品装载：石英样品座。（7）安装位置：与XPS的超高真空度最高的分析舱室间有真空度可达710-8mabr的进样室隔离作为过渡；不能直接与分析腔室相连。 （8）整体烘烤温度：最高150 。（9）控温精度优于1摄氏度；采用背压阀控制进气压力，进气压力采用0-3 MPa应力
11、变送器读取，对气体种类无选择性。（10）加热器工作不受反应器引入的腐蚀性气氛和变温环境影响。（11）全不锈钢外壳气体反应池，特殊合金定制，反应池内部表面钝化处理；反应池采用标准的CF接口，可以拆卸和更换，便于今后的维修，反应池内部的容积视用户具体需求定制。（12）全不锈钢耐腐蚀密封的气路，采用Swagelok品牌的管接头及阀门，适用于各类高纯气体。（13）独立的整体数控面板，面板安装耐压3000PSI不锈钢管接件（材质均为316）。（14）不锈钢SS304制作的转接腔体，搭配全金属的不锈钢样品传递杆和停放台，具有样品交接和转接功能。1.15质谱分析仪（RGA）分子量：1100；加配光电倍增器和
12、AC电源模块；分辨率(per AVS std. 2.3)：优于0.5 amu 10 % 峰高；灵敏度 (A/Torr)：210-4(标准模式)， 200 (倍增模式)；最小可检测压力：510-11 mbar (标准模式)，510-14 mbar (倍增模式)；安装在样品分析室，带Swagelok针阀进气接口，可选装差分抽气泵组；带100 mm行程的线性移动装置，0.5 mm定位精度。1.16安全系统具备真空,高压,冷却系统的报错和锁定, 具备温度传感器。11.17谱仪控制和数据处理（1）谱仪控制：谱仪参数设置，系统软件应实现可视化操作；分析部件均可通过系统软件控制；系统软件具备可视化操作界面，
13、实现对真空泵、阀门、真空规、离子枪、中和枪以及加热冷却等的控制；XPS主机分析室与准备室所有进气阀门均可通过软件控制实现自动化开启和关闭；系统软件内置真空安全互锁控制模块，可有效禁止真空设备的误操作；多功能样品台，样品测试点移动可通过鼠标操作实时的光学像而实现，并具有可视化操作界面。1（2）数据处理：随系统计算机一台，预装数据采集和处理软件包；数据处理方法：定性分析、定量分析、曲线拟合等，需具备本底扣除方法；终身免费软件升级。（3）数据库：包括完整的相关采谱功能的数据库；ARXPS角分辨处理软件、超薄多层膜拟合模块；全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库实验数据（原始数据及分析结果）可
14、存为通用格式，并能导入Microsoft Office 软件，软件的数据处理部分，可在其他PC计算机上安装使用。软件介质：以安装光盘形式提供。1.18主控计算机预装数据采集和处理软件包；主控电脑应为当前主流配置，内存不少于16 G，硬盘容量不少于1 T，带120 G固态硬盘作为系统盘，DVD光驱，双显示器（23寸以上液晶显示屏），正版Window操作系统。1.19电子装置及控制柜配备与以上所有系统相关联的电子装置及控制柜。1.20循环冷却水系统品牌循环冷却系统，满足阳极靶、涡轮分子泵和石英单色器冷却的需要。1.21不间断电源系统配备进口隔离变压器的稳压不间断电源一套，保证仪器可持续运行2小时。
15、1.22标准备件包保证用户XPS主机和各附带组件5年以上备件使用（即5年质保，见商务条款要求）、原位催化反应池2年以上备件使用（即2年质保，见商务条款要求）。1.23资料提供系统全部真空系统示意图；提供系统全部机械系统装配图；提供XPS标准谱图手册。2低温全真空型原位红外系统高低温状态下（120 K-1100 K），测试固体表面的分子吸附情况；根据探针分子的吸附振动波数，探测非真空状态下固体表面的元素电子结构，与原位XPS在真空测试获得的信息形成完美补充。2.1红外光谱仪主机（要求全指标满足）（1）测试空腔和主机内部空腔实现真空，完全去除光路中的大气的干扰；（2）永久准直干涉仪，检测器系统集成
16、进24-bit ADC，配合全镀金的光学镜；干涉仪质保10年；（3）光谱范围：8,000350 cm-1；分辨率：优于0.4 cm-1；波数准度：优于0.005 cm-1；（4）液氮制冷MCT检测器，信噪比55,000:1；最高分辨率0.16 cm-1，步进扫描(无需进行任何的硬件改造)可完成2.5 ns 时间分辨及各种调制的试验；（5）自动化：微处理器控制光学台，DSP 控制，自动增益选择，动态分辨率增强；实时在线自动监控；自动附件识别；（6）全集成硬件FT 变换（具备独立的CPU、内存）；模/数转换器：24 位，100 kHz A/D 转换器，适合于各种扫描速度；（7）仪器校验：仪器内置校
17、验单元，带标准物质，自动校验，并出具校验报告；采用TCP/IP 协议的“网卡”进行数据通讯；（8）真空泵：无油型真空泵：真空度优于0.2 mbar，抽速14 m3/h；（9）附带第二套标准红外激光器，波长633 nm，输出功率1 mW，氦氖激光器，部件号Q101/B；（10）软件：附带红外软件包，进行数据采集、处理等、免费升级。2.2变温原位红外样品池（要求全指标满足）（1）与红外主机匹配，实现变温红外的透射模式测试；（2）原位池包含一个低温样品台和钨网夹持装置，样品台冷头可用液氮冷却，采用泵组抽气时冷头位置最低温度小于70 K(PT100温度计)；（3）钨网夹持装置采用电隔离方式，可以实现钨
18、网的通电，该装置用Mo加工而成，钨网加热温度不低于1000 K；（4）透光率准度：优于0.1% T；（5）附带真空系统（无油机械泵+涡轮分子泵）。2.3质谱分析仪（与红外联用）质量数范围：1-200 amu；扫描分辨率：0.5 amu10%peak；检测器：法拉第杯+通道倍增器；真空获得系统：涡轮分子泵+无油膜片泵；分子泵抽速：60 L/S；真空腔体极限真空度：10-8 TORR；气体浓度检测极限：ppblevel；气体定量检测极限：1 ppm；气体采样流量控制：一体式流量控制箱，包含4路进口层流式质量流量控制器，内置30种常用气体供选择。无须气体校准，可直接切换；质谱室真空检测：配置宽量程复
19、合真空计，检测范围10-9-10Torr；可承受采样压力变化范围:0.1-10 atm；（MFC控制模式）；双采样通道：2路独立毛细管采样，加载独立的200 毛细管加热套；毛细管采样管材质：石英玻璃；毛细管加热套控制温度：室温200 ，1 ，可调节温度；最快扫描速度：3 ms/u；气体稀释功能：可将用于气体定量校准用的标气浓度稀释至700/1（GASBLENDER功能模块）；专用质谱仪软件：AUTO-TUN自动调谐功能，DDE动态数据链接功能、自带质谱谱库、数据自动匹配标记等功能；低质量数端高分辨模块：可实现H+&H2+基线分离。2.4主控计算机预装数据采集和处理软件包；主控电脑应为当前主流配
20、置，内存不少于16 G，硬盘容量不少于1 T，带120 G固态硬盘作为系统盘，DVD光驱，双显示器（23寸以上液晶显示屏），正版Window操作系统。3其他配套设施烘烤加热器；压片机：用于压制XPS样品；智能鞋套机；操作办公平台（桌椅）：三套；数据辅助处理计算机（主流配置）4台；激光打印机2台；其它附属设施：提供测试房间个性化装修改造服务，包括具体的气体管路、气瓶、阀件、实验台、通风柜、气体报警器3套（可检测CO、H2、NH3、CH4）等，提供新风系统，提供墙壁和吊顶的特殊涂装和安装；备品备件：满足质保期内的XPS和红外系统的耗材（提供清单）。（需提供证明资料，图片或者方案图纸。用户使用反馈等）专心-专注-专业