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1、目目 录录 第第1章章 传感器技术基础传感器技术基础1.1 传感器的初步认识传感器的初步认识1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号1.6 传感器的特性传感器的特性1.7 传感器的标定传感器的标定目目 录录第第2章章 电阻式传感器电阻式传感器2.1 电阻应变式传感器电阻应变式传感器2.2 压阻式传感器压阻式传感器2.3 热电阻传感器热电阻传感器2.4 电位器式传感器电位器式传感器2.5 电阻式传感器的应用实例电阻式传感器的应用实例目目 录录第第3章章 电容
2、式传感器电容式传感器3.1 电容式传感器的工作原理电容式传感器的工作原理3.2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路3.3 电容式传感器的误差分析电容式传感器的误差分析3.4 电容式传感器的应用电容式传感器的应用第第4章章 电感式传感器电感式传感器4.1 自感式电感传感器自感式电感传感器4.2 互感式电感传感器互感式电感传感器4.3 电涡流式传感器电涡流式传感器目目 录录第第5章章 超声波传感器超声波传感器5.1 超声检测的物理基础超声检测的物理基础5.2 超声波探头超声波探头5.3 超声波检测技术的应用超声波检测技术的应用第第6章章 磁电式传感器磁电式传感器6.1 磁电感应式传感器磁
3、电感应式传感器6.2 霍尔元件霍尔元件6.3 感应同步器感应同步器6.4 磁电式传感器的应用实例磁电式传感器的应用实例目目 录录第第7章章 电势型传感器电势型传感器7.1 热电偶热电偶7.2 光电池光电池7.3 压电石英晶体和压电陶瓷压电石英晶体和压电陶瓷7.4 电势型传感器的应用实例电势型传感器的应用实例第第8章章 光电式传感器光电式传感器8.1 光电效应与光电器件光电效应与光电器件8.2 计量光栅计量光栅8.3 光纤传感器光纤传感器目目 录录8.4 红外线传感器红外线传感器8.5 激光传感器激光传感器8.6 光电式传感器及其应用实例光电式传感器及其应用实例第第9章章 其他传感器简介其他传感
4、器简介9.1 气体传感器气体传感器9.2 湿度传感器湿度传感器9.3 微波传感器微波传感器9.4 图像传感器图像传感器目目 录录9.5 生物传感器生物传感器9.6 机器人传感器机器人传感器第第10章章 传感器接口电路传感器接口电路10.1 传感器输出信号的特点和处理方法传感器输出信号的特点和处理方法10.2 传感器信号检测电路传感器信号检测电路10.3 传感器与微型计算机的连接传感器与微型计算机的连接10.4 传感器接口电路应用实例传感器接口电路应用实例目目 录录第第11章章 传感器实验指导传感器实验指导CSY-998型传感器系统实验仪型传感器系统实验仪实验一实验一 金属应变片：单臂、半桥、全
5、金属应变片：单臂、半桥、全 桥功能比较桥功能比较实验二实验二 差动变压器的特性及应用差动变压器的特性及应用实验三实验三 差动螺线管电感式传感器的特性差动螺线管电感式传感器的特性实验四实验四 差动变面积式电容传感器的特性差动变面积式电容传感器的特性目目 录录实验五实验五 压电加速度传感器的特性及应用压电加速度传感器的特性及应用实验六实验六 磁电式传感器的特性磁电式传感器的特性实验七实验七 霍尔式传感器的特性霍尔式传感器的特性实验八实验八 热敏电阻的测温特性热敏电阻的测温特性实验九实验九 光纤位移传感器的特性及应用光纤位移传感器的特性及应用参考文献参考文献高职高专高职高专“十一五十一五”规划教材规
6、划教材机电类机电类 传感器技术及应用传感器技术及应用 主主 编编 宋宋 健健 副主编林毓梁苏宏艮副主编林毓梁苏宏艮 第第1章章 传感器技术基础传感器技术基础 1.1 传感器的初步认识传感器的初步认识 1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类 1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域 1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势 1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号 1.6 传感器的特性传感器的特性 1.7 传感器的标定传感器的标定 1.1 传感器的初步认识传感器的初步认识 人们为了从外界获取信息，需要依靠人的五种感觉器官人们为了从外界获取信息，需要依靠人的五种感觉器官(视、
7、视、听、嗅、味、触听、嗅、味、触)感受外界信息。感受外界信息。在自动控制系统中，也需要获取外界信息，这些需要依靠传在自动控制系统中，也需要获取外界信息，这些需要依靠传感器来完成。所以，传感器相当于人的五官部分感器来完成。所以，传感器相当于人的五官部分(“电五官电五官”)。两者之间的关系可用两者之间的关系可用图图1-1表示。表示。 另外，对于某些外界信息，人的感觉器官是不可以感受的，另外，对于某些外界信息，人的感觉器官是不可以感受的，如有毒的气体、过热的物体、紫外线、微波等；人的感觉器如有毒的气体、过热的物体、紫外线、微波等；人的感觉器官无法定量地感受外界信息官无法定量地感受外界信息这些都需要依
8、靠传感器来完这些都需要依靠传感器来完成。可以说传感器是人类五官的延伸。成。可以说传感器是人类五官的延伸。实际上传感器对我们来说并不陌生，在我们的生活和生产中实际上传感器对我们来说并不陌生，在我们的生活和生产中都可以看到它们的身影，如声光控节能开关中的光敏电阻、都可以看到它们的身影，如声光控节能开关中的光敏电阻、驻极体话筒、电视机遥控系统的红外接收器件等都是传感器。驻极体话筒、电视机遥控系统的红外接收器件等都是传感器。传感器实际上是一种功能模块，其作用是将来自外界的各种传感器实际上是一种功能模块，其作用是将来自外界的各种信号转换成电信号，然后再利用后续装置或电路对此电信号信号转换成电信号，然后再
9、利用后续装置或电路对此电信号进行处理。进行处理。 返回1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类 1.2.1 传感器的定义传感器的定义根据中华人民共和国国家标准根据中华人民共和国国家标准(GB766587)，传感器是能够，传感器是能够感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。对此定义需要明确以下几点：器件或装置。对此定义需要明确以下几点：传感器是一种能够检测被测量的器件或装置；传感器是一种能够检测被测量的器件或装置；被测量可以是物理量、化学量或生物量等；被测量可以是物理量、化学量或生物量等；输出信号要便于传
10、输、转换、处理、显示等，一般是电参量；输出信号要便于传输、转换、处理、显示等，一般是电参量；输出信号要正确地反映被测量的数值、变化规律等，即两者输出信号要正确地反映被测量的数值、变化规律等，即两者之间要有确定的对应关系，且应具有一定的精确度。之间要有确定的对应关系，且应具有一定的精确度。 下一页返回1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类1.2.2 传感器的组成传感器的组成传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路三部分组成，传感器一般由敏感元件、转换元件、转换电路三部分组成，如如图图1-2所示。所示。 1. 敏感元件敏感元件敏感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的敏
11、感元件是直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的其他物理量的元件。如后续章节要介绍的对力敏感的电阻应其他物理量的元件。如后续章节要介绍的对力敏感的电阻应变片、对光敏感的光敏电阻、对温度敏感的热敏电阻等。变片、对光敏感的光敏电阻、对温度敏感的热敏电阻等。2. 转换元件转换元件转换元件也叫传感元件，是将敏感元件的输出量转换成电参转换元件也叫传感元件，是将敏感元件的输出量转换成电参量量(电阻、电容等电阻、电容等)的元件。有些传感器的敏感元件和转换元的元件。有些传感器的敏感元件和转换元件合二为一，它感受被测量并直接输出电参量，如热电偶等；件合二为一，它感受被测量并直接输出电参量，如热电偶等；有些传感
12、器，转换元件不止一个，要经过若干次转换。有些传感器，转换元件不止一个，要经过若干次转换。上一页 下一页返回1.2 传感器的定义、组成及分类传感器的定义、组成及分类3. 转换电路转换电路转换电路将转换元件输出的电参量转换为电压、电流或电频转换电路将转换元件输出的电参量转换为电压、电流或电频率的电路。如果转换元件的输出已经是电压、电流或电频率，率的电路。如果转换元件的输出已经是电压、电流或电频率，则不需要转换电路。则不需要转换电路。1.2.3 传感器的分类传感器的分类在实际应用中，传感器种类繁多，同一种被测量可以用不同在实际应用中，传感器种类繁多，同一种被测量可以用不同的传感器来测量，而同一原理的
13、传感器又可以测量多种被测的传感器来测量，而同一原理的传感器又可以测量多种被测量，所以，传感器的分类标准比较多。目前常用的分类方法量，所以，传感器的分类标准比较多。目前常用的分类方法有两种：一种是以被测量来分类，如有两种：一种是以被测量来分类，如表表1-1所示；另一种是以所示；另一种是以传感器原理来分类。本书采用后一种分类方法编排，如传感器原理来分类。本书采用后一种分类方法编排，如表表1-2所示。所示。 以被测量来分类时，使用的对象比较明确，适于传感器的选以被测量来分类时，使用的对象比较明确，适于传感器的选用；以工作原理来分类时，传感器采用的原理比较清楚，适用；以工作原理来分类时，传感器采用的原
14、理比较清楚，适于系统学习。于系统学习。 上一页 返回1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域 传感器是获取自然领域中各种信息的主要途径和手段，是构传感器是获取自然领域中各种信息的主要途径和手段，是构成现代信息技术的三大支柱成现代信息技术的三大支柱(传感器技术、通信技术、计算机传感器技术、通信技术、计算机技术技术)之一。之一。目前传感器涉及的领域非常广泛。目前传感器涉及的领域非常广泛。现代家用电器中，大多都应用了传感器技术。电视机、空调、现代家用电器中，大多都应用了传感器技术。电视机、空调、风扇的红外遥控系统中使用的红外接收器件、照相机中的自风扇的红外遥控系统中使用的红外接收器件、照相机中的自动
15、曝光装置、电冰箱和电饭煲使用的温度传感器、抽油烟机动曝光装置、电冰箱和电饭煲使用的温度传感器、抽油烟机上的气敏传感器、全自动洗衣机中的水位和浊度传感器等。上的气敏传感器、全自动洗衣机中的水位和浊度传感器等。在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器在现代工业生产尤其是自动化生产过程中，要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状来监视和控制生产过程中的各个参数，使设备工作在正常状态或是最佳状态，并使产品达到最好的质量。因此可以说，态或是最佳状态，并使产品达到最好的质量。因此可以说，没有众多的优良的传感器，现代生产也就失去了基础。没有众多的优良的传感器，现代生产也
16、就失去了基础。 下一页返回1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域在基础科学研究中，传感器具有突出的地位。例如，对深化在基础科学研究中，传感器具有突出的地位。例如，对深化物质认识、开拓新能源新材料等具有重要作用的各种尖端技物质认识、开拓新能源新材料等具有重要作用的各种尖端技术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、术研究，如超高温、超低温、超高压、超高真空、超强磁场、超弱磁场等等。显然，要获取大量人类感官无法获取的信息，超弱磁场等等。显然，要获取大量人类感官无法获取的信息，没有相应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，没有相应的传感器是不可能的。许多基础科学研究的障碍，首先就
17、在于对研究对象的信息获取存在困难，而一些新机理首先就在于对研究对象的信息获取存在困难，而一些新机理和高灵敏度的检测仪器的出现，往往会导致该领域内的突破。和高灵敏度的检测仪器的出现，往往会导致该领域内的突破。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。一些传感器的发展，往往是一些边缘学科开发的先驱。在航空航天领域，飞行的速度、加速度、位置、姿态、温度、在航空航天领域，飞行的速度、加速度、位置、姿态、温度、气压、磁场、振动都需要测量；气压、磁场、振动都需要测量；“阿波罗阿波罗10号号”飞船需要对飞船需要对3295个参数进行检测，其中，温度传感器个参数进行检测，其中，温度传感器559个，压力传感
18、器个，压力传感器140个，信号传感器个，信号传感器501个，遥控传感器个，遥控传感器142个，专家说：整个个，专家说：整个宇宙飞船就是高性能传感器的集合体。宇宙飞船就是高性能传感器的集合体。 上一页 下一页返回1.3 传感器的应用领域传感器的应用领域楼宇自动化系统是智能建筑的重要组成部分。计算机通过中楼宇自动化系统是智能建筑的重要组成部分。计算机通过中继器继器路由器路由器网络网络显示显示网关控制管理各种设备网关控制管理各种设备(空调制空调制冷、给水排水、变配电系统、照明系统、电梯、安全防护、冷、给水排水、变配电系统、照明系统、电梯、安全防护、自动识别等等自动识别等等)，实现以上功能使用的传感器
19、有温度传感器、，实现以上功能使用的传感器有温度传感器、湿度传感器、液位传感器、流量传感器、压差传感器、空气湿度传感器、液位传感器、流量传感器、压差传感器、空气压力传感器、烟雾传感器、气体传感器、红外传感器、玻璃压力传感器、烟雾传感器、气体传感器、红外传感器、玻璃破碎传感器、图像传感器等。破碎传感器、图像传感器等。国防军事国防军事(雷达探测系统、水声目标定位系统、红外制导系统雷达探测系统、水声目标定位系统、红外制导系统等等)、环境保护、环境保护(空气质量的监控空气质量的监控)、医学诊断、医学诊断(各种生化指标、各种生化指标、影像资料的获取影像资料的获取)、刑事侦查、刑事侦查(声音、指纹识别声音、
20、指纹识别)、交通管理、交通管理(车车流量统计、车速监测、车牌识别流量统计、车速监测、车牌识别)等，这些都离不开传感器。等，这些都离不开传感器。 上一页 返回1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势 传感器的发展趋势包括社会对传感器需求的新动向和传感器传感器的发展趋势包括社会对传感器需求的新动向和传感器新技术的发展趋势这两个方面。新技术的发展趋势这两个方面。1.4.1 传感器需求的新动向传感器需求的新动向社会需求是传感器技术发展的强大动力。随着现代科学技术，社会需求是传感器技术发展的强大动力。随着现代科学技术，特别是微电子技术和信息产业的飞速发展，以及特别是微电子技术和信息产业的飞速发展，以及“
21、电脑电脑”的的普及，传感器在新的技术革命中的地位和作用将更为突出，普及，传感器在新的技术革命中的地位和作用将更为突出，一股竞相开发和应用传感器的热潮已在世界范围内掀起。这一股竞相开发和应用传感器的热潮已在世界范围内掀起。这是因为：是因为：“电五官电五官”落后于落后于“电脑电脑”的现状，已成为微型计算机进一的现状，已成为微型计算机进一步开发和应用的一大障碍；步开发和应用的一大障碍；许多有竞争力的新产品开发和卓有成效的技术改造，都离不许多有竞争力的新产品开发和卓有成效的技术改造，都离不开传感器；开传感器；传感器的应用直接带来了明显的经济效益和社会效益；传感器的应用直接带来了明显的经济效益和社会效益
22、；传感器普及于社会各个领域，将形成良好的销售前景。传感器普及于社会各个领域，将形成良好的销售前景。 下一页返回1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势1.4.2 传感器技术的发展趋势传感器技术的发展趋势当前，传感器技术的主要发展动向，一是开展基础研究，发当前，传感器技术的主要发展动向，一是开展基础研究，发现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器现新现象，开发传感器的新材料和新工艺；二是实现传感器的集成化与智能化。的集成化与智能化。1. 发现新现象，开发新材料发现新现象，开发新材料新现象、新原理、新材料是发展传感器技术、研究新型传感新现象、新原理、新材料是发展传感器技术、研究新型传感
23、器的重要基础，每一种新原理、新材料的发现都会伴随着新器的重要基础，每一种新原理、新材料的发现都会伴随着新的传感器种类诞生。的传感器种类诞生。2. 集成化，多功能化集成化，多功能化向敏感功能装置和集成化发展，将半导体集成电路技术及其向敏感功能装置和集成化发展，将半导体集成电路技术及其开发思想应用于传感器制造。如采用微细加工技术开发思想应用于传感器制造。如采用微细加工技术MEMS制制作微型传感器，采用厚膜和薄膜技术制作传感器等。作微型传感器，采用厚膜和薄膜技术制作传感器等。上一页 下一页返回1.4 传感器的发展趋势传感器的发展趋势3. 向未开发的领域挑战向未开发的领域挑战到目前为止，开发的传感器大
24、多为物理传感器，今后应积极到目前为止，开发的传感器大多为物理传感器，今后应积极开发研究化学传感器和生物传感器，特别是智能机器人技术开发研究化学传感器和生物传感器，特别是智能机器人技术的发展，需要研制各种模拟人的感觉器官的传感器，如已有的发展，需要研制各种模拟人的感觉器官的传感器，如已有的机器人力觉传感器、触觉传感器、味觉传感器等。的机器人力觉传感器、触觉传感器、味觉传感器等。4. 智能传感器，具有判断能力智能传感器，具有判断能力学习能力的智能传感器事实上是一种带微处理器的传感器，学习能力的智能传感器事实上是一种带微处理器的传感器，它具有检测、判断和信息处理功能。它具有检测、判断和信息处理功能。
25、 上一页 返回1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号 在在GB76661987中，国家标准规定了传感器的命名方法和代中，国家标准规定了传感器的命名方法和代号，作为统一传感器命名和代号的依据。它适用于传感器的号，作为统一传感器命名和代号的依据。它适用于传感器的研究、开发、生产、销售、教学等相关领域。研究、开发、生产、销售、教学等相关领域。 1.5.1 传感器的命名传感器的命名1. 命名的构成命名的构成传感器的名称由主题词加四级修饰语构成，包括：传感器的名称由主题词加四级修饰语构成，包括：主题词主题词传感器；传感器；第一级修饰语第一级修饰语被测量，包括修饰被测量的定语；被测量，包括修饰被测量
26、的定语；第二级修饰语第二级修饰语转换原理，一般可后续以转换原理，一般可后续以“式式”字；字；第三级修饰语第三级修饰语特征描述，指必须强调的传感器结构、性特征描述，指必须强调的传感器结构、性能、材料特征、敏感元件及其他必要的性能特征，一般可后能、材料特征、敏感元件及其他必要的性能特征，一般可后续以续以“型型”字；字；第四级修饰语第四级修饰语主要技术指标主要技术指标(量程、精确度、灵敏度等量程、精确度、灵敏度等)。传感器命名构成及各级修饰语如传感器命名构成及各级修饰语如表表1-3所示。所示。 下一页返回1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号2. 命名法的使用命名法的使用(1) 题目中的用法题
27、目中的用法在有关传感器的统计表格、图书索引、检索以及计算机汉字在有关传感器的统计表格、图书索引、检索以及计算机汉字处理等特殊场合，应采用上述顺序，如：传感器，位移，应处理等特殊场合，应采用上述顺序，如：传感器，位移，应变计变计式式，100mm。(2) 正文中的用法正文中的用法在技术文件、产品样本、学术论文、教材及书刊的陈述句子在技术文件、产品样本、学术论文、教材及书刊的陈述句子中，作为产品名称应采用与上述相反的顺序，如中，作为产品名称应采用与上述相反的顺序，如100mm 应变应变计式位移传感器。计式位移传感器。1.5.2 传感器的代号传感器的代号1. 传感器代号的构成传感器代号的构成国家标准中
28、规定，用大写汉语拼音字母和阿拉伯数字构成传国家标准中规定，用大写汉语拼音字母和阿拉伯数字构成传感器完整的代号。包括四个部分：依次为主称感器完整的代号。包括四个部分：依次为主称(传感器传感器) 被测被测量量-转换原理转换原理-序号。序号。 上一页 下一页返回1.5 传感器的命名和代号传感器的命名和代号主称主称传感器，代号传感器，代号C。被测量被测量用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。转换原理转换原理用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。用一个或两个汉语拼音的第一个大写字母标记。序号序号用一个阿拉伯数字标记，厂家自定，用来表征产品用一个阿拉伯数字
29、标记，厂家自定，用来表征产品设计特性、性能参数、产品系列等。若产品性能参数不变，设计特性、性能参数、产品系列等。若产品性能参数不变，仅在局部有改动或变动时，其序号可在原序号后面顺序地加仅在局部有改动或变动时，其序号可在原序号后面顺序地加注大写字母注大写字母A、B、C等等(其中其中I、Q不用不用)，如应变式位移传感，如应变式位移传感器器C WY-YB-20；光纤压力传感器；光纤压力传感器C Y-GQ-2。常用被测量代码如常用被测量代码如表表1-4所示，常用转换原理代码如所示，常用转换原理代码如表表1-5所所示。示。 上一页 返回1.6 传感器的特性传感器的特性 传感器所测量的被测量经常处在变动过
30、程中。例如测量温度传感器所测量的被测量经常处在变动过程中。例如测量温度时，若温度恒定，传感器的输出值可能十分稳定；若遇到温时，若温度恒定，传感器的输出值可能十分稳定；若遇到温度不恒定甚至出现突变时，传感器的输出值可能有缓慢起伏度不恒定甚至出现突变时，传感器的输出值可能有缓慢起伏或者周期性脉动变化，甚至出现突变的尖锋值。传感器能否或者周期性脉动变化，甚至出现突变的尖锋值。传感器能否将这些被测量的变化不失真地变换成相应的电量，就需要考将这些被测量的变化不失真地变换成相应的电量，就需要考虑传感器本身的基本特性，即输出虑传感器本身的基本特性，即输出-输入特性。该基本特性通输入特性。该基本特性通常用传感
31、器的静态特性和动态特性来描述。常用传感器的静态特性和动态特性来描述。1.6.1 传感器的静态特性传感器的静态特性静态特性表示传感器在被测量处于稳定状态静态特性表示传感器在被测量处于稳定状态(输入量为常量，输入量为常量，或变化非常缓慢或变化非常缓慢)时的输出时的输出-输入关系。通常用线性度、灵敏输入关系。通常用线性度、灵敏度、分辨力、重复性、迟滞等技术指标来描述传感器的静态度、分辨力、重复性、迟滞等技术指标来描述传感器的静态特性。特性。 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性1. 线性度线性度传感器的静态特性是在静态标准条件下，利用一定等级的校传感器的静态特性是在静态标准条件下，利用一定等级
32、的校准设备对传感器进行往复循环测试，得出输出准设备对传感器进行往复循环测试，得出输出-输入特性输入特性(列列表或曲线表或曲线)。通常，希望这个特性。通常，希望这个特性(曲线曲线)为线性，这给标定和为线性，这给标定和数据处理带来方便。但实际的输出数据处理带来方便。但实际的输出-输入特性或多或少地都存输入特性或多或少地都存在着非线性问题，只能接近线性，对比理论直线有偏差，如在着非线性问题，只能接近线性，对比理论直线有偏差，如图图1-3所示。所示。 实际曲线与其两个端点连线实际曲线与其两个端点连线(拟合曲线拟合曲线)之间的偏差称为传感之间的偏差称为传感器的非线性误差。取其最大偏差与理论满量程之比作为
33、评价器的非线性误差。取其最大偏差与理论满量程之比作为评价线性度线性度(或非线性误差或非线性误差)的指标。的指标。 式中式中 max输出平均值与拟合直线间的最大偏差；输出平均值与拟合直线间的最大偏差；yFS理论满度值。理论满度值。 L上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性2. 迟滞迟滞传感器在正向行程传感器在正向行程(输入量增大输入量增大)反向行程反向行程(输入量减小输入量减小)中输出中输出输入曲线不重合称为迟滞，如输入曲线不重合称为迟滞，如图图1-4所示。也就是说，对应于所示。也就是说，对应于同一大小的输入信号，传感器的输出信号大小不相等。一般同一大小的输入信号，传感器的输出信号大
34、小不相等。一般用两曲线之间输出量的最大差值与满量程输出的百分比来表用两曲线之间输出量的最大差值与满量程输出的百分比来表示迟滞误差，即示迟滞误差，即 式中式中 Hmax正反行程间输出的最大差值。正反行程间输出的最大差值。yFS理论满度值。理论满度值。 产生迟滞的原因是：传感器的机械部分、结构材料方面存在产生迟滞的原因是：传感器的机械部分、结构材料方面存在不可避免的弱点，如轴承摩擦、间隙等。不可避免的弱点，如轴承摩擦、间隙等。3. 重复性重复性重复性是指传感器的输入量按同一方向变化，作全量程连续重复性是指传感器的输入量按同一方向变化，作全量程连续多次测量时所得到的曲线不一致的程度。多次测量时所得到
35、的曲线不一致的程度。图图1-5所示为校正曲所示为校正曲线的重复特性。线的重复特性。上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性正行程的最大重复性偏差为正行程的最大重复性偏差为Rmax1，反行程的最大重复性偏，反行程的最大重复性偏差为差为Rmax2。重复性偏差取这两个最大偏差中之较大者为。重复性偏差取这两个最大偏差中之较大者为Rmax，再以，再以Rmax与满量程输出与满量程输出yFS的百分比表示，即的百分比表示，即4. 灵敏度灵敏度传感器输出的变化量传感器输出的变化量y与引起该变化量的输入量变化与引起该变化量的输入量变化x之比之比即为其静态灵敏度。表达式为即为其静态灵敏度。表达式为 即传感
36、器的灵敏度就是校准曲线的斜率。即传感器的灵敏度就是校准曲线的斜率。线性传感器特性曲线的斜率处处相同，灵敏度线性传感器特性曲线的斜率处处相同，灵敏度K是常数。以是常数。以拟合直线作为其特性的传感器，也可认为其灵敏度为一常数，拟合直线作为其特性的传感器，也可认为其灵敏度为一常数，与输入量的大小无关。非线性传感器的灵敏度不是常数，应与输入量的大小无关。非线性传感器的灵敏度不是常数，应以以dy/dx表示。表示。上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性5. 分辨力和阈值分辨力和阈值分辨力是指传感器能检测到的最小的输入增量。分辨力可用分辨力是指传感器能检测到的最小的输入增量。分辨力可用绝对值表示
37、，也可用与满量程的百分数表示。绝对值表示，也可用与满量程的百分数表示。当一个传感器的输入从零开始极缓慢地增加，只有达到了某当一个传感器的输入从零开始极缓慢地增加，只有达到了某一最小值后，才能测出输出变化，这个最小值就称为传感器一最小值后，才能测出输出变化，这个最小值就称为传感器的阈值。事实上阈值是传感器在零点附近的分辨力。的阈值。事实上阈值是传感器在零点附近的分辨力。分辨力说明了传感器可测出的最小可测出的输入变量，而阈分辨力说明了传感器可测出的最小可测出的输入变量，而阈值则说明了传感器的可测出的最小输入量。值则说明了传感器的可测出的最小输入量。 6. 稳定性稳定性稳定性有短期稳定性和长期稳定性
38、之分。传感器常用长期稳稳定性有短期稳定性和长期稳定性之分。传感器常用长期稳定性描述其稳定性，它是指在室温条件下，经过相当长的时定性描述其稳定性，它是指在室温条件下，经过相当长的时间间隔，如间间隔，如1天、天、1个月或个月或1年，传感器的输出与起始标定时的年，传感器的输出与起始标定时的输出之间的差异。通常又用其不稳定性来表征其输出的稳定输出之间的差异。通常又用其不稳定性来表征其输出的稳定程度。程度。 上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性7. 漂移漂移漂移指在一定时间间隔内，传感器输出量存在着与被测输入漂移指在一定时间间隔内，传感器输出量存在着与被测输入量无关的、不需要的变化。漂移包
39、括零点漂移与灵敏度漂移。量无关的、不需要的变化。漂移包括零点漂移与灵敏度漂移。零点漂移或灵敏度漂移又可分为时间漂移零点漂移或灵敏度漂移又可分为时间漂移(时漂时漂)和温度漂移和温度漂移(温漂温漂)。时漂是指在规定条件下，零点或灵敏度随时间的缓。时漂是指在规定条件下，零点或灵敏度随时间的缓慢变化；温漂为周围温度变化引起的零点或灵敏度漂移。慢变化；温漂为周围温度变化引起的零点或灵敏度漂移。1.6.2 传感器的动态特性传感器的动态特性 在实际测量中，不仅要求传感器具有良好的静态特性，而且在实际测量中，不仅要求传感器具有良好的静态特性，而且应具有良好的动态特性。动态特性是指传感器测量动态信号应具有良好的
40、动态特性。动态特性是指传感器测量动态信号时，输出输入之间的关系。在动态测量时，由于被测量要随时，输出输入之间的关系。在动态测量时，由于被测量要随时间变化，此时传感器如果不能快速响应并正确地提取信号，时间变化，此时传感器如果不能快速响应并正确地提取信号，测量工作就无法进行。例如，在做人体的心电图检查时，如测量工作就无法进行。例如，在做人体的心电图检查时，如果不能准确地将人体心脏随时间跳动的状况及时检测出来，果不能准确地将人体心脏随时间跳动的状况及时检测出来，并迅速打印，那么就不能为医生进行诊断提供依据。并迅速打印，那么就不能为医生进行诊断提供依据。 上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的
41、特性动态特性好的传感器，其输出随时间的变化规律将高精度地动态特性好的传感器，其输出随时间的变化规律将高精度地反映输入量随时间的变化规律，即它们具有同一个时间函数。反映输入量随时间的变化规律，即它们具有同一个时间函数。但是，除了理想情况外，实际传感器的输出信号与输入信号但是，除了理想情况外，实际传感器的输出信号与输入信号不会具有相同的时间函数，由此将引起动态误差。不会具有相同的时间函数，由此将引起动态误差。动态特性常用阶跃响应和频率响应来描述。动态特性常用阶跃响应和频率响应来描述。1.6.3 改善传感器性能的技术途径改善传感器性能的技术途径1. 传感器噪声及其减小措施传感器噪声及其减小措施传感器
42、噪声是指除了被测信号之外在传感器中出现的一切不传感器噪声是指除了被测信号之外在传感器中出现的一切不需要的信号，它可由传感器内部产生，也可从外部随信号混需要的信号，它可由传感器内部产生，也可从外部随信号混入。一般而言，噪声呈不规则的变化。入。一般而言，噪声呈不规则的变化。传感器内部产生的噪声包括敏感元件、转换元件和转换电路传感器内部产生的噪声包括敏感元件、转换元件和转换电路元件等产生的噪声以及电源产生的噪声。例如，光电真空管元件等产生的噪声以及电源产生的噪声。例如，光电真空管放射不规则电子，半导体载流子扩散等产生的噪声。降低元放射不规则电子，半导体载流子扩散等产生的噪声。降低元件的温度可减小热噪
43、声，对电源变压器采用静电屏蔽可减小件的温度可减小热噪声，对电源变压器采用静电屏蔽可减小交流脉动噪声等。交流脉动噪声等。 上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性从外部混入传感器的噪声，按其产生原因可分为机械噪声从外部混入传感器的噪声，按其产生原因可分为机械噪声(如如振动，冲击振动，冲击)、音响噪声、热噪声、音响噪声、热噪声(如热辐射使元件相对位移如热辐射使元件相对位移或性能变化或性能变化)、电磁噪声和化学噪声等。对振动等机械噪声可、电磁噪声和化学噪声等。对振动等机械噪声可采用防振台或将传感器固定在质量很大的基础台上加以抑制；采用防振台或将传感器固定在质量很大的基础台上加以抑制；而消除
44、音响噪声的有效办法是把传感器用隔音器材围上或放而消除音响噪声的有效办法是把传感器用隔音器材围上或放在真空容器里；消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使在真空容器里；消除电磁噪声的有效办法是屏蔽和接地或使传感器远离电源线、使输出线屏蔽、输出线绞拧在一起等。传感器远离电源线、使输出线屏蔽、输出线绞拧在一起等。2. 改善传感器性能的技术途径改善传感器性能的技术途径我们总是希望传感器的输出与输入成唯一的对应关系，最好我们总是希望传感器的输出与输入成唯一的对应关系，最好是线性关系，但是一般情况下，输出与输入不会符合所要求是线性关系，但是一般情况下，输出与输入不会符合所要求的线性关系，同时由于存在着迟滞、
45、蠕变、摩擦等因素的影的线性关系，同时由于存在着迟滞、蠕变、摩擦等因素的影响，使输出输入对应关系的唯一性也不能实现，因此外界的响，使输出输入对应关系的唯一性也不能实现，因此外界的影响不可忽视。影响程度取决于传感器本身，可通过传感器影响不可忽视。影响程度取决于传感器本身，可通过传感器本身的改善来加以抑制，有时也可以对外界条件加以限制。本身的改善来加以抑制，有时也可以对外界条件加以限制。上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性(1) 结构、材料与参数的合理选择结构、材料与参数的合理选择根据实际的需要和可能，合理选择材料、结构设计传感器，根据实际的需要和可能，合理选择材料、结构设计传感器，确
46、保主要指标，放弃对次要指标的要求，以求得到较高的性确保主要指标，放弃对次要指标的要求，以求得到较高的性价比，同时满足使用要求，即使对于主要的参数也不能盲目价比，同时满足使用要求，即使对于主要的参数也不能盲目追求高指标。追求高指标。(2) 差动技术差动技术差动技术是非常有效的一种方法，如电阻应变式传感器、电差动技术是非常有效的一种方法，如电阻应变式传感器、电感式传感器、电容式传感器中都应用了差动技术，不仅减小感式传感器、电容式传感器中都应用了差动技术，不仅减小了非线性误差，而且灵敏度提高了一倍，抵消了共模误差。了非线性误差，而且灵敏度提高了一倍，抵消了共模误差。(3) 平均技术平均技术常用的平均
47、技术有误差平均和数据平均。常用多点测量方案常用的平均技术有误差平均和数据平均。常用多点测量方案与多次采样平均。与多次采样平均。上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性(4) 稳定性处理稳定性处理造成传感器性能不稳定的原因是：随着时间的推移或环境条造成传感器性能不稳定的原因是：随着时间的推移或环境条件的变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。件的变化，构成传感器的各种材料与元器件性能将发生变化。为了提高传感器性能的稳定性，应该对材料、元器件或传感为了提高传感器性能的稳定性，应该对材料、元器件或传感器整体进行必要的稳定性处理。使用传感器时，如果测量要器整体进行必要的稳定性处理。
48、使用传感器时，如果测量要求较高，必要时也应对附加的调整元件、后接电路的关键元求较高，必要时也应对附加的调整元件、后接电路的关键元器件进行防老化处理。器件进行防老化处理。(5) 屏蔽、隔离与干扰抑制屏蔽、隔离与干扰抑制屏蔽、隔离与干扰抑制可以有效削弱或消除外界影响因素对屏蔽、隔离与干扰抑制可以有效削弱或消除外界影响因素对传感器的作用。如对于电磁干扰，可以采取屏蔽、隔离措施，传感器的作用。如对于电磁干扰，可以采取屏蔽、隔离措施，也可以用滤波等方法抑制。也可以用滤波等方法抑制。上一页 下一页返回1.6 传感器的特性传感器的特性(6) 零位法、微差法与闭环技术零位法、微差法与闭环技术这些技术可供设计或
49、应用传感器时，用以消除或削弱系统误这些技术可供设计或应用传感器时，用以消除或削弱系统误差。差。(7) 补偿与校正补偿与校正补偿与校正可以利用电子技术通过线路补偿与校正可以利用电子技术通过线路(硬件硬件)来解决，也可来解决，也可以采用微型计算机通过软件来实现。以采用微型计算机通过软件来实现。(8) 集成化、智能化与信息融合集成化、智能化与信息融合集成化、智能化与信息融合将大大扩大传感器的功能，改善集成化、智能化与信息融合将大大扩大传感器的功能，改善传感器的性能，提高性价比。传感器的性能，提高性价比。 上一页 返回1.7 传感器的标定传感器的标定 任何一种传感器在装配完后都必须按设计指标进行全面严
50、格任何一种传感器在装配完后都必须按设计指标进行全面严格的性能鉴定。使用一段时间后的性能鉴定。使用一段时间后(中国计量法规定一般为一年中国计量法规定一般为一年)或经过修理，也必须对主要技术指标进行校准试验，以确保或经过修理，也必须对主要技术指标进行校准试验，以确保传感器的各项性能指标达到要求。传感器的各项性能指标达到要求。传感器标定就是利用精度高一级的标准器具对传感器进行定传感器标定就是利用精度高一级的标准器具对传感器进行定度的过程，从而确立传感器输出量和输入量之间的对应关系，度的过程，从而确立传感器输出量和输入量之间的对应关系，同时也确定不同使用条件下的误差关系。同时也确定不同使用条件下的误差